FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT

TMFC50 ประเภท: Mass Flow Controller

TMFC50 ประเภท: Mass Flow Controller

TMFC50質量流量控制器特性|氣體流量控制應用:電漿清洗機|氣體分流閥箱/盤|氣瓶櫃輸出流量控制|氣體產生機輸出控制|火焰焊接控制|氣體源頭配管計量

รายละเอียดเพิ่มเติม

TMFC50質量流量控制器特性|氣體流量控制

  • ความแม่นยำสูงที่การไหลต่ำ
  • การตอบสนองอย่างรวดเร็ว (≦1.0)
  • มีช่วงแรงดันกว้าง (1300 PSIG)
  • ไม่มีการรั่วไหล
  • ไม่ต้องใช้อุณหภูมิหรือความดัน
  • รองรับการเชื่อมต่อ
  • เซ็นเซอร์ที่ถอดออกได้เพื่อความมั่นคงสูง
  • ค่าความต้านทานการกัดกร่อน
  • ความเป็นเส้นตรงดีเยี่ยม
  • เสถียรภาพระยะยาวที่ดีเยี่ยม
  • การออกแบบโมดูลาร์
  • ระบบควบคุมการไหลแบบกะทัดรัด

วิดีโอสินค้า

ผลประโยชน์:

แอปพลิเคชั่นควบคุมการไหลของมวล

  • เครื่องล้างพลาสมา
  • กล่อง/แผงวาล์วเปลี่ยนทิศทางแก๊ส
  • การควบคุมการไหลของตู้ถังแก๊ส
  • การควบคุมเอาต์พุตของเครื่องกำเนิดแก๊ส
  • การควบคุมการเชื่อมด้วยเปลวไฟ

มีตัวควบคุมการไหลของมวลประเภทใดบ้างในซีรีส์ TMFM/TMFC

ตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนใช้เทคนิคการตรวจจับมวลความร้อนของก๊าซเพื่อควบคุมการไหลของมวล ในกลุ่มผลิตภัณฑ์ TMFC เรามีตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนหลายตัว โดยแต่ละตัวมีเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ของตัวเอง:

ตัวควบคุมการไหลของมวลโดยใช้เซ็นเซอร์บายพาส อุปกรณ์เหล่านี้ เช่น TMFCs และ TMFMs เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานก๊าซที่สะอาดและแห้ง ซึ่งต้องการความแม่นยำและการทำซ้ำที่มากขึ้น
เครื่องควบคุมการไหลของมวลโดยใช้หลักการออนไลน์ ซีรี่ส์ เช่น ซีรี่ส์ TMFC และ TMFM นั้นสมบูรณ์แบบหากการใช้งานของคุณมีก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.9% หรือเมื่อความสามารถในการทำซ้ำสูงและความทนทานมีความสำคัญมากกว่าความแม่นยำ
เครื่องควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมท่อ ซีรี่ส์เหล่านี้โดดเด่นเพราะสามารถวัดการไหลของก๊าซและควบคุมได้
เมื่อใดก็ตามที่คุณต้องแสดงการไหลของมวลและในช่วงการไหลที่กว้าง ชุดก๊าซที่ใช้เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ชิป MEMS เช่น TMFM6000 นั้นสมบูรณ์แบบ
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีอินไลน์ (CMOS)

หลักการของ Mass Flow Controller (MFC) / หลักการของ Flow Controller

Mass Flow Controller (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของของเหลวและก๊าซ [1] เครื่องควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทในช่วงการไหลเฉพาะ MFC สามารถมีจุดตั้งค่าระหว่าง 0% และ 100% ของช่วงสเกลเต็ม แต่โดยทั่วไปจะทำงานภายในช่วงสเกลเต็ม 10% ถึง 90% เพื่อความแม่นยำที่ดีที่สุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ MFCs สามารถเป็นแบบแอนะล็อกหรือดิจิทัลได้ โดยปกติแล้ว ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิทัลจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งชนิด

ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลทั้งหมดมีพอร์ตทางเข้า พอร์ตทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมสัดส่วน MFC ติดตั้งระบบควบคุมวงปิดที่ผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์มวลไหลและปรับวาล์วสัดส่วนตามเพื่อให้ได้การไหลที่ต้องการ การไหลถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และป้อนให้กับ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟฟ้า

เครื่องควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวจ่ายให้อยู่ในช่วงความดันเฉพาะ ความดันต่ำจะทำให้ MFC ของไหลหมดลงและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้อัตราการไหลไม่แน่นอน มีเทคโนโลยีต่างๆ มากมายที่ช่วยวัดการไหลของของไหลและช่วยควบคุมการไหลในที่สุด เทคโนโลยีเหล่านี้กำหนดประเภทของตัวควบคุมการไหลของมวลและรวมถึงความดันแตกต่าง (ΔP) อุณหภูมิที่แตกต่างกัน (ΔT) แรงโคริโอลิส อัลตราโซนิก แม่เหล็กไฟฟ้า กังหัน ฯลฯ

เครื่องควบคุมการไหลของมวล, เครื่องควบคุมการไหลของมวล
ตัวควบคุมการไหลของมวล, ตัวควบคุมการไหลของมวล, คำอธิบายโครงสร้างหลักการ mfc

การติดตั้งเครื่องวัดการไหลของมวล

ขณะนี้มีการใช้งานมาตรวัดมวลมากขึ้นเรื่อยๆ และบางครั้งที่มีการติดตั้งมาตรวัดมวลเป็นครั้งแรกก็ไม่ชัดเจนเกี่ยวกับวิธีการติดตั้งมาตรวัดมวล การติดตั้งย้อนกลับ การติดตั้งที่ไม่ถูกต้อง ฯลฯ ซึ่งส่งผลต่อการใช้งานตามปกติของ อุปกรณ์ บทความนี้กล่าวถึงปัญหานี้อธิบายรายละเอียดวิธีการติดตั้งเครื่องวัดอัตราการไหล

ความเค้นทางกลที่มากเกินไประหว่างการติดตั้งเซ็นเซอร์จะส่งผลต่อจุดศูนย์ของ Mass Flowmeter หากความเค้นเหล่านี้มีการเปลี่ยนแปลงอยู่ตลอดเวลา การเลื่อนจุดศูนย์ของมาตรจะทำให้การวัดไม่แม่นยำและไม่สามารถทำงานได้ตามปกติ ดังนั้นการติดตั้ง Mass Flowmeter ที่ถูกต้องจึงเป็นส่วนสำคัญในการรับประกันการทำงานปกติของอุปกรณ์

1. เลือกวิธีการติดตั้ง

วิธีการติดตั้งเซ็นเซอร์ส่วนใหญ่จะพิจารณาจากความแตกต่างของเฟสของของไหลและสภาวะของกระบวนการ มีวิธีการติดตั้ง 3 วิธี

1. หากของไหลที่วัดได้เป็นของเหลว โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกคว่ำลงเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของอากาศในท่อสั่นของเซ็นเซอร์ เพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการวัดอัตราการไหลของมวลได้อย่างแม่นยำ

2. หากของไหลที่วัดได้เป็นก๊าซ โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกหันขึ้นด้านบนเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของคอนเดนเสทในท่อสั่นสะเทือนของเซ็นเซอร์

3. หากของไหลที่วัดได้เป็นสารละลายผสมระหว่างของเหลวและของแข็ง ให้ติดตั้งเซ็นเซอร์บนถนนอย่างเป็นทางการในแนวตั้ง ซึ่งสามารถป้องกันไม่ให้อนุภาคสะสมในท่อวัดแรงโคริโอลิสของเซ็นเซอร์ นอกจากนี้ หากจำเป็นต้องทำความสะอาดท่อกระบวนการด้วยแก๊สและไอน้ำ วิธีการติดตั้งนี้ยังช่วยอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาด แต่วิธีการติดตั้งนี้แก้ไขได้ยากกว่าสองวิธีก่อนหน้า และการสูญเสียแรงดันจะมากกว่า

วิธีการติดตั้ง Mass Flow Meter
แนวคิดการติดตั้ง Mass Flow Meter

 

 

 

 

 

ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ

ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ

สูตรการไหลของมวล

ประเภทของเครื่องวัดการไหลของมวล

เครื่องวัดการไหลของมวลภาษาอังกฤษ

ตามเว็บไซต์จีนสามองศา. การตีความหลาย ๆ เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์คอมพิวเตอร์อิเล็กทรอนิกส์】เครื่องวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมเครื่องกล】เซ็นเซอร์เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์วิทยาศาสตร์ทางทะเล-วิศวกรรมใต้น้ำ】การไหลของมวลความร้อน【วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์】การวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมไฟฟ้า】

ข้อมูลเพิ่มเติม

ควบคุม

IoT, MCU, PLC

แอปพลิเคชัน

เครื่องวัดการไหล

ชนิดของ

อิเล็กทรอนิกส์

วิธีการติดตั้ง

ปาก

วิธีการส่งออก

ดิจิตอล แอนะล็อก

ข้อกำหนดทางเทคนิค

แบบอย่าง TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
ช่วงการไหล(N2) 10sccm~30SLM 10sccm~30SLM 10scc~50SLM 10scc~50SLM
เวลาตอบสนอง ≦1.0วินาที
ความแม่นยำ ±1.0 % FS
ความสามารถในการทำซ้ำ ±0.25 % FS
พิสูจน์ความดัน 1300PSIG
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน 0~50℃
วัสดุของชิ้นส่วนที่สัมผัสกับก๊าซ ตัวเครื่อง: SUS316
บ่าวาล์ว: Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™)
ข้อต่อ มาตรฐาน: 1/4 การบีบอัด
ตัวเลือก: การบีบอัด 1/8, 1/4 VCR™, การบีบอัด 3/8, VCR™
การเชื่อมต่อไฟฟ้า ขั้วต่อ Dsub 15 พินตัวผู้ต่อมาตรฐาน
สัญญาณอินพุตอัตราการไหล 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
สัญญาณเอาท์พุตอัตราการไหล 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
แหล่งจ่ายไฟที่จำเป็น +15~28Vdc/350mA

 

แอปพลิเคชัน

MFC .คืออะไร

Mass Flow Controller (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของก๊าซ [1] เครื่องควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทในช่วงการไหลเฉพาะ MFC สามารถมีจุดตั้งค่าระหว่าง 0% และ 100% ของช่วงสเกลเต็ม แต่โดยทั่วไปจะทำงานภายในช่วงสเกลเต็ม 10% ถึง 90% เพื่อความแม่นยำที่ดีที่สุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ MFC สามารถเป็นแบบอะนาล็อกหรือดิจิตอล ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิทัลมักจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งชนิด ในขณะที่ตัวควบคุมแบบอะนาล็อกจะจำกัดเฉพาะของไหลที่ปรับเทียบเท่านั้น

ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลทั้งหมดมีพอร์ตทางเข้า พอร์ตทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมสัดส่วน MFC ติดตั้งระบบควบคุมวงปิดที่ผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์วัดการไหลของมวลและปรับวาล์วสัดส่วนตามเพื่อให้ได้การไหลที่ต้องการ การไหลถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และป้อนให้กับ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟฟ้า

เครื่องควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวจ่ายให้อยู่ในช่วงความดันเฉพาะ ความดันต่ำจะทำให้ MFC ของไหลหมดลงและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้อัตราการไหลไม่แน่นอน

แอพพลิเคชั่นเอ็มเอฟซี
1. เครื่องซีวีดี

การสะสมไอของสารเคมีคืออะไร

Chemical Vapor Deposition (CVD) เป็นวิธีการสะสมตัวแบบสุญญากาศที่ใช้เพื่อผลิตวัสดุของแข็งคุณภาพสูงและประสิทธิภาพสูง กระบวนการนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อผลิตฟิล์มบาง

ใน CVD ทั่วไป เวเฟอร์ (สารตั้งต้น) จะสัมผัสกับสารตั้งต้นที่ระเหยได้อย่างน้อยหนึ่งชนิดที่ทำปฏิกิริยาและ/หรือสลายตัวบนพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อผลิตสารสะสมที่ต้องการ บ่อยครั้งที่มีการผลิตผลพลอยได้จากการระเหยซึ่งถูกกำจัดออกโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องปฏิกิริยา

กระบวนการตัดเฉือนขนาดเล็กใช้ CVD กันอย่างแพร่หลายในการสะสมวัสดุในรูปแบบต่างๆ รวมถึง: ผลึกเดี่ยว, ผลึกหลายผลึก, อสัณฐานและอีพิทาซี วัสดุเหล่านี้ประกอบด้วย: ซิลิกอน (ซิลิกอนไดออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ ออกซีไนไตรด์) คาร์บอน (เส้นใย เส้นใยนาโน ท่อนาโน เพชร และกราฟีน) ฟลูออโรคาร์บอน เส้นใย ทังสเตน ไททาเนียมไนไตรด์ และอิเล็กทริก High-k ต่างๆ

2. บล็อก/แผงวาล์ว (VMB/VMP)

VMB/VMP คืออะไร

จากประสบการณ์ในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผงก๊าซ (กล่องก๊าซ) ระบบจ่ายวัสดุ ฯลฯ สำหรับระบบ EPI และ MOCVD
ท่ามกลางความสำเร็จทางธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้า (ราคาและข้อกำหนด) ไม่เพียงแต่จัดการก๊าซธรรมดาเท่านั้น แต่ยังรองรับการจ่ายอากาศวงแหวนฮับสำหรับก๊าซเหลวได้ด้วย เรายังรองรับการใช้งานทางกฎหมายต่างๆ

ช่วงการไหล

แบบอย่าง TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
ช่วงการไหล(N2) 10sccm~30SLM 10sccm~30SLM 10scc~50SLM 10scc~50SLM
เวลาตอบสนอง ≦1.0วินาที
ความแม่นยำ ±1.0 % FS
ความซ้ำซ้อน ±0.25 % FS
พิสูจน์ความดัน 1300PSIG
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน 0~50℃
วัสดุของชิ้นส่วนที่สัมผัสกับก๊าซ ตัวเครื่อง: SUS316
บ่าวาล์ว: Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™)
ข้อต่อ มาตรฐาน: 1/4 การบีบอัด
ตัวเลือก: การบีบอัด 1/8, 1/4 VCR™, การบีบอัด 3/8, VCR™
การเชื่อมต่อไฟฟ้า ขั้วต่อ Dsub 15 พินตัวผู้ต่อมาตรฐาน
สัญญาณอินพุตอัตราการไหล 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
สัญญาณเอาท์พุตอัตราการไหล 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
แหล่งจ่ายไฟที่จำเป็น +15~28Vdc/350mA

ข้อมูลการสั่งซื้อ

ข้อมูลการสั่งซื้อ
TMFC รหัส ช่วงการไหล
 

30 0~30SLM
50 0~50SLM
 

รหัส สัญญาณเข้า/ออก
วี 0 ~ 5Vdc (ชนิดมาตรฐาน)
 

อา
4~20mA
รหัส ขนาดที่เหมาะสม
2 1/8″
4 1/4″ (แบบมาตรฐาน)
6 3/8″
 

รหัส ประเภทข้อต่อ
อา การบีบอัด SWL
วี VCR Maleชาย
 

รหัส ผนึก
วี ไวตัน(แบบมาตรฐาน)
บี บุนนา
K คาลเรซ
ตู่ เทฟลอน
รหัส โลโก้
F โลโก้ FGT (แบบมาตรฐาน)
โลโก้ลูกค้า
 

TMFC กรอกรหัสการสั่งซื้อ
*หมายเหตุ: ทุกรุ่นมาพร้อมกับพาวเวอร์ซัพพลาย (+15~28 Vdc/350mA)
*หมายเหตุ: ใช้โลโก้ลูกค้าเปิดตัวให้ครบ 100 กว่าตัวต่อปี

ได้รับการรับรอง

โซเชียลกึ่งแบรนด์ใบรับรองความสอดคล้องของยุโรป - วิกิพีเดีย สารานุกรมเสรี

ความต้องการพิเศษ

ข้อกำหนดของเครื่องวัดการไหล

ข้อกำหนดของเครื่องวัดการไหล

ประเภทของเหลว
หน่วยการไหล
หน่วยท่อ
โหมดการติดตั้ง
แบบฟอร์มติดต่อสอบถาม

คุณอาจจะชื่นชอบ…