Tipo TMFC50: controlador de caudal másico

Tipo TMFC50: controlador de caudal másico

  • Alta precisión a bajo caudal
  • Respuesta Rápida (≦1.0)
  • Amplio rango de presión disponible (1300 PSIG)
  • Ninguna fuga
  • No se requiere temperatura ni presión
  • Conexión compatible
  • Sensor extraíble de alta estabilidad
  • Valor de resistencia a la corrosión
  • Excelente linealidad
  • Excelente estabilidad a largo plazo
  • Diseño modular
  • Sistema de control de flujo compacto

Descripción

  • Alta precisión a bajo caudal
  • Respuesta rápida (≦1.0)
  • Amplio rango de presión disponible (1300 PSIG)
  • Ninguna fuga
  • No requiere temperatura ni presión
  • conexión compatible
  • Sensor desmontable para una alta estabilidad
  • Valor de resistencia a la corrosión
  • excelente linealidad
  • Excelente estabilidad a largo plazo
  • Diseño modular
  • Sistema de control de flujo compacto

Información adicional

control

Internet de las Cosas, MCU, PLC

solicitud

Caudalimetro para

Tipos de

electrónico

Metodo de instalacion

boca

método de salida

analogía

Especificaciones técnicas

Modelo TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
Rango de flujo (N2) 10sccm~30SLM 10sccm~30SLM 10scc~50SLM 10scc~50SLM
Tiempo de respuesta ≦1.0seg
Exactitud ±1,0 % FS
Repetibilidad ±0,25 % FS
Presión de prueba 1300 PSIG
tasa de fuga 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos
Rango de temperatura de trabajo 0~50℃
Materiales de las piezas en contacto con gases Cuerpo: SUS316
Asiento de válvula: Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™)
Junta Estándar: 1/4 de compresión
Opción: compresión 1/8, 1/4 VCR™, compresión 3/8, VCR™
Conexiones eléctricas Conector macho Dsub de 15 pines según estándares
Señales de entrada de caudal 0~5Vcc 4~20mA 0~5Vcc 4~20mA
Señales de salida de caudal 0~5Vcc 4~20mA 0~5Vcc 4~20mA
fuente de alimentación requerida +15~28Vcc/350mA

 

Solicitud

¿Qué es MFC?

controlador de flujo másico (CMF) es un dispositivo utilizado para medir y controlar el flujo de gases.[1] Un controlador de flujo másico está diseñado y calibrado para controlar un tipo específico de líquido o gas en un rango particular de tasas de flujo. Al MFC se le puede dar un punto de ajuste de 0 a 100% de su rango de escala completa, pero generalmente se opera en el rango de 10 a 90%. de escala completa donde se logra la mejor precisión. El dispositivo luego controlará la tasa de flujo al punto de ajuste dado. Los MFC pueden ser cosa análoga o digitalUn controlador de flujo digital generalmente puede controlar más de un tipo de fluido, mientras que un controlador analógico está limitado al fluido para el que fue calibrado.

Todos los controladores de flujo másico tienen un puerto de entrada, un puerto de salida, un sensor de flujo másico y una válvula de control proporcional. El MFC está equipado con un sistema de control de circuito cerrado al que el operador (o un circuito/computadora) externo le da una señal de entrada. que se compara con el valor de la sensor de flujo másico y ajusta la válvula proporcional en consecuencia para lograr el flujo requerido.La tasa de flujo se especifica como un porcentaje de su flujo de escala completa calibrado y se suministra a la MFC como una señal de voltaje.

Los controladores de flujo másico requieren que el suministro de gas o líquido esté dentro de un rango de presión específico. La baja presión privará al MFC de fluido y hará que no alcance su punto de ajuste. La alta presión puede causar tasas de flujo erráticas.

aplicación MFC

1. máquina CVD

¿Qué es el CVD?

deposición de vapor químico (ECV) es un deposición al vacío método utilizado para producir materiales sólidos de alta calidad y alto rendimiento. El proceso se utiliza a menudo en la la industria de semiconductores para producir Peliculas delgadas.

En la ECV típica, la oblea (sustrato) está expuesto a uno o más volátil precursores, cual reaccionar y/o descomponer sobre la superficie del sustrato para producir el depósito deseado. subproductos también se producen, que son eliminados por el flujo de gas a través de la cámara de reacción.

Microfabricación Los procesos utilizan ampliamente CVD para depositar materiales en diversas formas, que incluyen: monocristalinopolicristalinoamorfo, y epitaxial.Estos materiales incluyen: silicio de silicio (dióxidocarburonitrurooxinitruro), carbono (fibrananofibrasnanotubosdiamante y grafeno), fluorocarbonosfilamentostungstenonitruro de titanio Y varios dieléctricos de alta k.

2. Caja/panel del colector de válvulas (VMB/VMP)

¿Qué es VMB/VMP?

A través de nuestra experiencia en el manejo de gases, hemos adquirido el conocimiento para diseñar y fabricar paneles de gas (caja de gas) del sistema EPI y MOCVD, sistema de suministro de material, etc.
Logros en nuestro negocio, podemos diseñar y fabricar para cumplir con la solicitud del cliente (precio y especificación). Podemos manejar el suministro de aire del anillo central de gases licuados, no solo gases normales. También apoyamos con varios tipos de aplicaciones legales. .

Rango de flujo

Modelo TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
Rango de flujo (N2) 10sccm~30SLM 10sccm~30SLM 10scc~50SLM 10scc~50SLM
Tiempo de respuesta ≦1.0seg
Exactitud ±1,0 % FS
repetibilidad ±0,25 % FS
Presión de prueba 1300 PSIG
tasa de fuga 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos
Rango de temperatura de trabajo 0~50℃
Materiales de las piezas en contacto con gases Cuerpo: SUS316
Asiento de válvula: Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™)
Junta Estándar: 1/4 de compresión
Opción: compresión 1/8, 1/4 VCR™, compresión 3/8, VCR™
Conexiones eléctricas Conector macho Dsub de 15 pines según estándares
Señales de entrada de caudal 0~5Vcc 4~20mA 0~5Vcc 4~20mA
Señales de salida de caudal 0~5Vcc 4~20mA 0~5Vcc 4~20mA
fuente de alimentación requerida +15~28Vcc/350mA

información del pedido

información del pedido
TMFC Código Rango de flujo
 

30 0~30SLM
50 0~50SLM
 

Código Señal de entrada/salida
V 0~5Vdc (Tipo estándar)
 

A
4~20mA
Código Tamaño de montaje
2 1/8″
4 1/4″(Tipo estándar)
6 3/8″
 

Código Tipo de montaje
A Compresión SWL
V Videograbadora masculina
 

Código Sello
V Vitón (tipo estándar)
B Buna
k Kálrez
T teflón
Código Logo
F Logotipo FGT (tipo estándar)
C Logotipo del cliente
 

TMFC Código de pedido completo
*Nota: Todos los modelos vienen con fuente de alimentación (+15~28 Vdc/350mA)
*Nota: Uso del lanzamiento del logotipo del cliente a más de 100 unidos durante un año
Formulario de consulta

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