FGT piensa en su mejor opción de futuro
Diseñadores de Integración de Sistemas en FGT
- Descripción
- Información adicional
- Especificaciones técnicas
- Campo de aplicación
- Rango de flujo
- Modelo de pedido
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Descripción
Controlador de caudal másico |Tipo TMFC500
Rendimiento del producto
- Alta precisión a bajo caudal
- Respuesta rápida≦2.0 segundos
- Amplio rango de presión (1000 PSIG)
- Ninguna fuga
- No requiere temperatura ni presión
- conexión compatible
- Sensor móvil altamente estable
- Valor de resistencia a la corrosión
- excelente linealidad
- Excelente estabilidad a largo plazo
- Diseño modular
- Sistema de control de flujo compacto
- Con función RS-485
- Función de opción: interfaz y tipo de separación
- Opciones de pantalla digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™
¿Cuál es el principio del controlador de flujo de gas/controlador de flujo?
controladores de flujo másico de gas
Descripción de la estructura del principio MFC
Medidor de flujo másico térmico / Medidor de flujo másico Inglés MFCes un caudalímetro preciso, fácil de instalar y de baja caída de presión. Es adecuado para la medición y el control de flujo de aplicaciones de gas seco. puede tambiénpor tipo de gasLink de referenciaaplicación aObtenga un medidor de flujo másico térmico. Un medidor de flujo másico observa el efecto de enfriamiento en el transductor que calienta en función del flujo de aire. El resultado logra un alto nivel de precisión a bajo costo en comparación con otros dispositivos de medición de flujo de gas.
relación de flujo de temperatura
Fórmula de caudal másico
Instalación de medidor de flujo másico
Vídeos de productos
beneficio:
- ·Alta precisión
- Amplio rango de flujo, incluido el flujo bajo
- · Construcción simple y duradera
- ·Fácil de instalar y mantener
- Conexión flexible de caudalímetros para control de caudal
- · Diversas conexiones de proceso
- ·Relación de sintonía 100:1
- Caída de presión baja a través del medidor de flujo
- ·Proporciona salida de señal conveniente
Principio del caudalímetro másico térmico/Tipo de caudalímetro másico
Medidor de flujo másico térmicoUse las propiedades térmicas del fluido para medir el movimiento del fluido en una tubería o tubo. En un medidor de flujo de energía térmica, el calor medido se aplica al calentador del sensor. Se pierde una cierta cantidad de energía durante el flujo y, a medida que aumenta el flujo, se pierde más energía. La energía perdida por el sensor depende de las propiedades térmicas del fluido y del diseño del sensor. Las propiedades termocompresivas de los fluidos pueden variar con la temperatura y la presión, aunque estos cambios suelen ser insignificantes en la mayoría de las aplicaciones. Dado que la medición del flujo térmico no depende de la temperatura o la presión del fluido, los medidores de flujo de energía térmica se pueden usar para estimar el flujo másico del fluido.
En otras palabras, en la mayoría de las aplicaciones, las propiedades de un fluido pueden depender de su composición. Para estas aplicaciones, las diferentes composiciones del fluido pueden interferir con el tamaño del flujo de calor durante la operación real. Por lo tanto, paraMedidor de flujo másico térmicoEs importante que el proveedor comprenda la composición del fluido para que se puedan procesar los factores de normalización apropiados para determinar con precisión el caudal. Debido a esta limitación,Medidor de flujo másico térmicoUsualmente se usa para medir el flujo de gas puro. Los fabricantes pueden proporcionar información estandarizada apropiada para otras combinaciones de gases, peroMedidor de flujo másico térmicoLa precisión del depende de si la mezcla de gases real es la misma que la mezcla de gases utilizada con fines de normalización.
Información adicional
| solicitud | fábrica |
|---|---|
| Tipos de | electrónico |
| Metodo de instalacion | boca |
| método de salida | analógico, digital |
Especificaciones técnicas
| modelo | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
| Rango de flujo (nitrógeno) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
| velocidad de reacción | ≦2.0seg | ||||
| precisión | ±1,0 % FS | ||||
| Precisión de repetición | ±0,25 % FS | ||||
| Resistencia a la presión | 1500 PSIG | ||||
| tasa de fuga | 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos | ||||
| Temperatura de funcionamiento | 0~50℃ | ||||
| Cuerpo principal SUS316 | |||||
| Material de los accesorios | Junta del cuerpo Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™) | ||||
| Estándar: compresión de 1/2″ | |||||
| Método de conexión | Opcional: Compresión de 1/4″ o VCR™, Compresión de 3/8″ o VCR™ | ||||
| cableado eléctrico | Conector macho Dsub de 15 pines salida única | ||||
| Entrada de señal de tráfico | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
| Salida de señal de caudal | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
| Tensión de alimentación | +15~28Vcc/350mA | ||||
| Tipo aplicable | ◎Soporte | sin | ◎Soporte | sin | |
| Tipo de tablero | Opcional: tipo integrado o tipo separado (cable de interfaz de 1 m o 3 m) solo para la aplicación TMFC500V/A | ||||
| Panel de visualización opcional | mostrar la interfaz de comunicación | Comunicación digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™ solo para la aplicación TMFC500V/A | |||
| Tensión de alimentación | AC110~240 V solo para aplicación TMFC500V/A | ||||
Campo de aplicación
¿Qué es MFC?
Un controlador de flujo másico (MFC) es un dispositivo que se utiliza para medir y controlar el flujo de gas. [1] Los controladores de flujo másico están diseñados y calibrados para controlar un tipo específico de líquido o gas dentro de un rango de caudal específico. El MFC se puede configurar del 0 % al 100 % de su rango de escala completa, pero generalmente opera dentro del rango de 10 % a 90 % de la escala completa para una mejor precisión. Luego, el dispositivo controlará el caudal hasta el punto de ajuste dado. Los MFC pueden ser analógicos o digitales. Los controladores de flujo digitales a menudo son capaces de controlar más de un tipo de fluido, mientras que los controladores analógicos se limitan al fluido para el que están calibrados.
Todos los controladores de caudal másico tienen una entrada, una salida, un sensor de caudal másico y una válvula de control proporcional. El MFC alberga un sistema de control de circuito cerrado al que el operador (o un circuito externo/computadora) proporciona una señal de entrada que la compara con el valor del sensor de flujo másico y ajusta la válvula proporcional en consecuencia para lograr el flujo deseado. El flujo se especifica como un porcentaje de su flujo de escala completa calibrado y se proporciona al MFC como una señal de voltaje.
Los controladores de flujo másico requieren que el gas o líquido suministrado esté dentro de un rango de presión específico. La presión baja puede privar al MFC de líquido y evitar que alcance el punto de ajuste. La alta presión puede causar un flujo inestable.
aplicación MFC
1. Equipo CVD
¿Qué es el CVD?
La deposición de semivapor (CVD) es un método de deposición al vacío que se utiliza para producir materiales sólidos de alta calidad y alto rendimiento. Este proceso se usa comúnmente en la industria de los semiconductores para producir películas delgadas.
En CVD típico, la oblea (sustrato) se expone a uno o más precursores volátiles que reaccionan y/o se descomponen en la superficie del sustrato para producir los depósitos deseados. Típicamente también se producen subproductos volátiles, que son eliminados por el flujo de gas a través de la cámara de reacción.
Los procesos de microfabricación utilizan ampliamente CVD para depositar diversas formas de materiales, incluidos: monocristalino, policristalino, amorfo y epitaxia. Estos materiales incluyen: silicio (dióxido de carbono, carburos, nitruros, oxinitruros), carbono (fibras, nanofibras, nanotubos, diamante y grafeno), fluorocarbonos, filamentos, tungsteno, nitruro de titanio y varios dieléctricos de alto k.
2. Caja/panel de válvulas (VMB/VMP)
¿Qué es VMB/VMP?
A través de nuestra experiencia en el manejo de gases, hemos adquirido el conocimiento para diseñar y fabricar paneles (cajas de gas) para sistemas EPI, MOCVD, sistemas de suministro de materiales y más.
Entre nuestros logros comerciales, somos capaces de diseñar y fabricar productos que cumplan con los requisitos del cliente (precio y especificaciones). Podemos manejar no solo el suministro de gas normal, sino también el de gas licuado para anillos de cubo. También apoyamos varias aplicaciones legales.
Rango de flujo
| modelo | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
| Rango de flujo (nitrógeno) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
| velocidad de reacción | ≦2.0seg | ||||
| precisión | ±1,0 % FS | ||||
| Precisión de repetición | ±0,25 % FS | ||||
| Resistencia a la presión | 1500 PSIG | ||||
| tasa de fuga | 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos | ||||
| Temperatura de funcionamiento | 0~50℃ | ||||
| Cuerpo principal SUS316 | |||||
| Material de los accesorios | Junta del cuerpo Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™) | ||||
| Estándar: compresión de 1/2″ | |||||
| Método de conexión | Opcional: Compresión de 1/4″ o VCR™, Compresión de 3/8″ o VCR™ | ||||
| cableado eléctrico | Conector macho Dsub de 15 pines salida única | ||||
| Entrada de señal de tráfico | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
| Salida de señal de caudal | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
| Tensión de alimentación | +15~28Vcc/350mA | ||||
| Tipo aplicable | ◎Soporte | sin | ◎Soporte | sin | |
| Tipo de tablero | Opcional: tipo integrado o tipo separado (cable de interfaz de 1 m o 3 m) solo para la aplicación TMFC500V/A | ||||
| Panel de visualización opcional | mostrar la interfaz de comunicación | Comunicación digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™ solo para la aplicación TMFC500V/A | |||
| Tensión de alimentación | AC110~240 V solo para aplicación TMFC500V/A | ||||
Modelo de pedido
| Modelo de pedido | ||||||||||
| TMFC | codificación | Rango de flujo | ||||||||
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125 | 30~100SLM | ||||||||
| 300 | 100~300SLM | |||||||||
| 500 | 300~1000SLM | |||||||||
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codificación | señal de entrada/salida | ||||||||
| V | 0~5Vdc (tipo estándar) | |||||||||
| A | 4~20mA | |||||||||
| enfermedad venérea | 0~5Vdc+RS-485 (no se puede usar con panel opcional) | |||||||||
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4~20mA+RS-485 (no se puede usar con panel opcional) | |||||||||
| codificación | Método de conexión | |||||||||
| 2 | 1/8″ | |||||||||
| 4 | 1/4″ | |||||||||
| 6 | 3/8″(Tipo estándar: adecuado para TMFC125/300) | |||||||||
| 8 | 1/2″(Tipo estándar: adecuado para TMFC500) | |||||||||
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codificación | Tipo de conección | ||||||||
| A | Compresión SWL | |||||||||
| V | Videograbadora masculina | |||||||||
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codificación | Junta del cuerpo | ||||||||
| V | Vitón (tipo estándar) | |||||||||
| B | Buna | |||||||||
| k | Kálrez | |||||||||
| T | teflón | |||||||||
| codificación | Función de panel de visualización opcional #1 | |||||||||
| norte | Ninguno (tipo estándar) | |||||||||
| I | Todo en uno | |||||||||
| D | Tipo separado con cable de 1 metro | |||||||||
| mi | Tipo separado con cable de 3 m | |||||||||
| Código | Función de panel de visualización opcional #2 | |||||||||
| F | Digital: RS-485 (tipo estándar) | |||||||||
| C | DeviceNet™ | |||||||||
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| TMFC | Modelo de pedido completo | |||||||||
| *Nota: Todos los modelos de la serie usan tensión de alimentación (+15~28 Vdc/350mA) | ||||||||||
| ＊Nota: La orden de compra anual de la marca personalizada debe ser de más de 100 juegos | ||||||||||
