Controlador de caudal másico |Tipo TMFC500

Controlador de caudal másico |Tipo TMFC500

1% de alta precisión|Controlador de flujo másico de gas|Clasificación de resistencia a la corrosión|Cumple con las especificaciones de semiconductores|Garantía de un año|Garantía de 3 años

Descripción

Controlador de caudal másico |Tipo TMFC500

Rendimiento del producto

  • Alta precisión a bajo caudal
  • Respuesta rápida≦2.0 segundos
  • Amplio rango de presión (1000 PSIG)
  • Ninguna fuga
  • No requiere temperatura ni presión
  • conexión compatible
  • Sensor móvil altamente estable
  • Valor de resistencia a la corrosión
  • excelente linealidad
  • Excelente estabilidad a largo plazo
  • Diseño modular
  • Sistema de control de flujo compacto
  • Con función RS-485
  • Función de opción: interfaz y tipo de separación
  • Opciones de pantalla digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™

¿Cuál es el principio del controlador de flujo de gas/controlador de flujo?

controladores de flujo másico de gas

Descripción de la estructura del principio MFC

Medidor de flujo másico térmico / Medidor de flujo másico Inglés MFCes un caudalímetro preciso, fácil de instalar y de baja caída de presión. Es adecuado para la medición y el control de flujo de aplicaciones de gas seco. puede tambiénpor tipo de gasLink de referenciaaplicación aObtenga un medidor de flujo másico térmico. Un medidor de flujo másico observa el efecto de enfriamiento en el transductor que calienta en función del flujo de aire. El resultado logra un alto nivel de precisión a bajo costo en comparación con otros dispositivos de medición de flujo de gas.

relación de flujo de temperatura

Fórmula de caudal másico

Instalación de medidor de flujo másico

Vídeos de productos

beneficio:

  • ·Alta precisión
  • Amplio rango de flujo, incluido el flujo bajo
  • · Construcción simple y duradera
  • ·Fácil de instalar y mantener
  • Conexión flexible de caudalímetros para control de caudal
  • · Diversas conexiones de proceso
  • ·Relación de sintonía 100:1
  • Caída de presión baja a través del medidor de flujo
  • ·Proporciona salida de señal conveniente
Principio del caudalímetro másico térmico/Tipo de caudalímetro másico

Medidor de flujo másico térmicoUse las propiedades térmicas del fluido para medir el movimiento del fluido en una tubería o tubo. En un medidor de flujo de energía térmica, el calor medido se aplica al calentador del sensor. Se pierde una cierta cantidad de energía durante el flujo y, a medida que aumenta el flujo, se pierde más energía. La energía perdida por el sensor depende de las propiedades térmicas del fluido y del diseño del sensor. Las propiedades termocompresivas de los fluidos pueden variar con la temperatura y la presión, aunque estos cambios suelen ser insignificantes en la mayoría de las aplicaciones. Dado que la medición del flujo térmico no depende de la temperatura o la presión del fluido, los medidores de flujo de energía térmica se pueden usar para estimar el flujo másico del fluido.

En otras palabras, en la mayoría de las aplicaciones, las propiedades de un fluido pueden depender de su composición. Para estas aplicaciones, las diferentes composiciones del fluido pueden interferir con el tamaño del flujo de calor durante la operación real. Por lo tanto, paraMedidor de flujo másico térmicoEs importante que el proveedor comprenda la composición del fluido para que se puedan procesar los factores de normalización apropiados para determinar con precisión el caudal. Debido a esta limitación,Medidor de flujo másico térmicoUsualmente se usa para medir el flujo de gas puro. Los fabricantes pueden proporcionar información estandarizada apropiada para otras combinaciones de gases, peroMedidor de flujo másico térmicoLa precisión del depende de si la mezcla de gases real es la misma que la mezcla de gases utilizada con fines de normalización.

Información adicional

solicitud

fábrica

Tipos de

electrónico

Metodo de instalacion

boca

método de salida

analógico, digital

Especificaciones técnicas

modelo TMFC500V TMFC500VD TMFC500A TMFC500AD
Rango de flujo (nitrógeno) 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM
velocidad de reacción ≦2.0seg
precisión ±1,0 % FS
Precisión de repetición ±0,25 % FS
Resistencia a la presión 1500 PSIG
tasa de fuga 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos
Temperatura de funcionamiento 0~50℃
Cuerpo principal SUS316
Material de los accesorios Junta del cuerpo Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™)
Estándar: compresión de 1/2″
Método de conexión Opcional: Compresión de 1/4″ o VCR™, Compresión de 3/8″ o VCR™
cableado eléctrico Conector macho Dsub de 15 pines salida única
Entrada de señal de tráfico 0~5Vcc 0~5Vcc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
Salida de señal de caudal 0~5Vcc 0~5Vcc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
Tensión de alimentación +15~28Vcc/350mA
Tipo aplicable ◎Soporte sin ◎Soporte sin
Tipo de tablero Opcional: tipo integrado o tipo separado (cable de interfaz de 1 m o 3 m) solo para la aplicación TMFC500V/A
Panel de visualización opcional mostrar la interfaz de comunicación Comunicación digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™ solo para la aplicación TMFC500V/A
Tensión de alimentación AC110~240 V solo para aplicación TMFC500V/A

 

Campo de aplicación

¿Qué es MFC?

Un controlador de flujo másico (MFC) es un dispositivo que se utiliza para medir y controlar el flujo de gas. [1] Los controladores de flujo másico están diseñados y calibrados para controlar un tipo específico de líquido o gas dentro de un rango de caudal específico. El MFC se puede configurar del 0 % al 100 % de su rango de escala completa, pero generalmente opera dentro del rango de 10 % a 90 % de la escala completa para una mejor precisión. Luego, el dispositivo controlará el caudal hasta el punto de ajuste dado. Los MFC pueden ser analógicos o digitales. Los controladores de flujo digitales a menudo son capaces de controlar más de un tipo de fluido, mientras que los controladores analógicos se limitan al fluido para el que están calibrados.

Todos los controladores de caudal másico tienen una entrada, una salida, un sensor de caudal másico y una válvula de control proporcional. El MFC alberga un sistema de control de circuito cerrado al que el operador (o un circuito externo/computadora) proporciona una señal de entrada que la compara con el valor del sensor de flujo másico y ajusta la válvula proporcional en consecuencia para lograr el flujo deseado. El flujo se especifica como un porcentaje de su flujo de escala completa calibrado y se proporciona al MFC como una señal de voltaje.

Los controladores de flujo másico requieren que el gas o líquido suministrado esté dentro de un rango de presión específico. La presión baja puede privar al MFC de líquido y evitar que alcance el punto de ajuste. La alta presión puede causar un flujo inestable.

aplicación MFC

1. Equipo CVD

¿Qué es el CVD?

La deposición de semivapor (CVD) es un método de deposición al vacío que se utiliza para producir materiales sólidos de alta calidad y alto rendimiento. Este proceso se usa comúnmente en la industria de los semiconductores para producir películas delgadas.

En CVD típico, la oblea (sustrato) se expone a uno o más precursores volátiles que reaccionan y/o se descomponen en la superficie del sustrato para producir los depósitos deseados. Típicamente también se producen subproductos volátiles, que son eliminados por el flujo de gas a través de la cámara de reacción.

Los procesos de microfabricación utilizan ampliamente CVD para depositar diversas formas de materiales, incluidos: monocristalino, policristalino, amorfo y epitaxia. Estos materiales incluyen: silicio (dióxido de carbono, carburos, nitruros, oxinitruros), carbono (fibras, nanofibras, nanotubos, diamante y grafeno), fluorocarbonos, filamentos, tungsteno, nitruro de titanio y varios dieléctricos de alto k.

2. Caja/panel de válvulas (VMB/VMP)

¿Qué es VMB/VMP?

A través de nuestra experiencia en el manejo de gases, hemos adquirido el conocimiento para diseñar y fabricar paneles (cajas de gas) para sistemas EPI, MOCVD, sistemas de suministro de materiales y más.
Entre nuestros logros comerciales, somos capaces de diseñar y fabricar productos que cumplan con los requisitos del cliente (precio y especificaciones). Podemos manejar no solo el suministro de gas normal, sino también el de gas licuado para anillos de cubo. También apoyamos varias aplicaciones legales.

Rango de flujo

modelo TMFC500V TMFC500VD TMFC500A TMFC500AD
Rango de flujo (nitrógeno) 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM
velocidad de reacción ≦2.0seg
precisión ±1,0 % FS
Precisión de repetición ±0,25 % FS
Resistencia a la presión 1500 PSIG
tasa de fuga 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos
Temperatura de funcionamiento 0~50℃
Cuerpo principal SUS316
Material de los accesorios Junta del cuerpo Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™)
Estándar: compresión de 1/2″
Método de conexión Opcional: Compresión de 1/4″ o VCR™, Compresión de 3/8″ o VCR™
cableado eléctrico Conector macho Dsub de 15 pines salida única
Entrada de señal de tráfico 0~5Vcc 0~5Vcc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
Salida de señal de caudal 0~5Vcc 0~5Vcc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
Tensión de alimentación +15~28Vcc/350mA
Tipo aplicable ◎Soporte sin ◎Soporte sin
Tipo de tablero Opcional: tipo integrado o tipo separado (cable de interfaz de 1 m o 3 m) solo para la aplicación TMFC500V/A
Panel de visualización opcional mostrar la interfaz de comunicación Comunicación digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™ solo para la aplicación TMFC500V/A
Tensión de alimentación AC110~240 V solo para aplicación TMFC500V/A

Modelo de pedido

Modelo de pedido
TMFC codificación Rango de flujo
 

125 30~100SLM
300 100~300SLM
500 300~1000SLM
 

codificación señal de entrada/salida
V 0~5Vdc (tipo estándar)
A 4~20mA
enfermedad venérea 0~5Vdc+RS-485 (no se puede usar con panel opcional)
 

ANUNCIO
4~20mA+RS-485 (no se puede usar con panel opcional)
codificación Método de conexión
2 1/8″
4 1/4″
6 3/8″(Tipo estándar: adecuado para TMFC125/300)
8 1/2″(Tipo estándar: adecuado para TMFC500)
 

codificación Tipo de conección
A Compresión SWL
V Videograbadora masculina
 

codificación Junta del cuerpo
V Vitón (tipo estándar)
B Buna
k Kálrez
T teflón
codificación Función de panel de visualización opcional #1
norte Ninguno (tipo estándar)
I Todo en uno
D Tipo separado con cable de 1 metro
mi Tipo separado con cable de 3 m
Código Función de panel de visualización opcional #2
F Digital: RS-485 (tipo estándar)
C DeviceNet™
 

TMFC Modelo de pedido completo
*Nota: Todos los modelos de la serie usan tensión de alimentación (+15~28 Vdc/350mA)
*Nota: La orden de compra anual de la marca personalizada debe ser de más de 100 juegos
Formulario de consulta

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