FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT
TMFC500 ประเภท:ตัวควบคุมการไหลของมวล
คุณสมบัติตัวควบคุมการไหลของมวล TMFC500 | แอปพลิเคชันการควบคุมการไหลของแก๊ส: เครื่องทำความสะอาดพลาสมา | กล่อง/ดิสก์วาล์วเปลี่ยนทิศทางแก๊ส | การควบคุมการไหลของเอาต์พุตของตู้ถังแก๊ส | การควบคุมเอาต์พุตของเครื่องกำเนิดแก๊ส | การควบคุมการเชื่อมเปลวไฟ | การวัดท่อแหล่งก๊าซ
- รายละเอียดเพิ่มเติม
- ข้อมูลเพิ่มเติม
- ข้อกำหนดทางเทคนิค
- แอปพลิเคชัน
- ช่วงการไหล
- ข้อมูลการสั่งซื้อ
- ได้รับการรับรอง
- ความต้องการพิเศษ
- สอบถามตอนนี้
รายละเอียดเพิ่มเติม
คุณสมบัติตัวควบคุมการไหลของมวล TMFC500 | การควบคุมการไหลของก๊าซ
- ความแม่นยำสูงที่การไหลต่ำ
- การตอบสนองอย่างรวดเร็ว (≦1.0)
- มีช่วงแรงดันกว้าง (1300 PSIG)
- ไม่มีการรั่วไหล
- ไม่ต้องใช้อุณหภูมิหรือความดัน
- รองรับการเชื่อมต่อ
- เซ็นเซอร์ที่ถอดออกได้เพื่อความมั่นคงสูง
- ค่าความต้านทานการกัดกร่อน
- ความเป็นเส้นตรงดีเยี่ยม
- เสถียรภาพระยะยาวที่ดีเยี่ยม
- การออกแบบโมดูลาร์
- ระบบควบคุมการไหลแบบกะทัดรัด
วิดีโอสินค้า
ผลประโยชน์:
แอปพลิเคชั่นควบคุมการไหลของมวล
- เครื่องล้างพลาสมา
- กล่อง/แผงวาล์วเปลี่ยนทิศทางแก๊ส
- การควบคุมการไหลของตู้ถังแก๊ส
- การควบคุมเอาต์พุตของเครื่องกำเนิดแก๊ส
- การควบคุมการเชื่อมด้วยเปลวไฟ
มีตัวควบคุมการไหลของมวลประเภทใดบ้างในซีรีส์ TMFM/TMFC
ตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนใช้เทคนิคการตรวจจับมวลความร้อนของก๊าซเพื่อควบคุมการไหลของมวล ในกลุ่มผลิตภัณฑ์ TMFC เรามีตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนหลายตัว โดยแต่ละตัวมีเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ของตัวเอง:
ตัวควบคุมการไหลของมวลโดยใช้เซ็นเซอร์บายพาส อุปกรณ์เหล่านี้ เช่น TMFCs และ TMFMs เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานก๊าซที่สะอาดและแห้ง ซึ่งต้องการความแม่นยำและการทำซ้ำที่มากขึ้น
เครื่องควบคุมการไหลของมวลโดยใช้หลักการออนไลน์ ซีรี่ส์ เช่น ซีรี่ส์ TMFC และ TMFM นั้นสมบูรณ์แบบหากการใช้งานของคุณมีก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.9% หรือเมื่อความสามารถในการทำซ้ำสูงและความทนทานมีความสำคัญมากกว่าความแม่นยำ
เครื่องควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมท่อ ซีรี่ส์เหล่านี้โดดเด่นเพราะสามารถวัดการไหลของก๊าซและควบคุมได้
เมื่อใดก็ตามที่คุณต้องแสดงการไหลของมวลและในช่วงการไหลที่กว้าง ชุดก๊าซที่ใช้เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ชิป MEMS เช่น TMFM6000 นั้นสมบูรณ์แบบ
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีอินไลน์ (CMOS)
หลักการของ Mass Flow Controller (MFC) / หลักการของ Flow Controller
Mass Flow Controller (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของของเหลวและก๊าซ [1] เครื่องควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทในช่วงการไหลเฉพาะ MFC สามารถมีจุดตั้งค่าระหว่าง 0% และ 100% ของช่วงสเกลเต็ม แต่โดยทั่วไปจะทำงานภายในช่วงสเกลเต็ม 10% ถึง 90% เพื่อความแม่นยำที่ดีที่สุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ MFCs สามารถเป็นแบบแอนะล็อกหรือดิจิทัลได้ โดยปกติแล้ว ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิทัลจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งชนิด
ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลทั้งหมดมีพอร์ตทางเข้า พอร์ตทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมสัดส่วน MFC ติดตั้งระบบควบคุมวงปิดที่ผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์มวลไหลและปรับวาล์วสัดส่วนตามเพื่อให้ได้การไหลที่ต้องการ การไหลถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และป้อนให้กับ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟฟ้า
เครื่องควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวจ่ายให้อยู่ในช่วงความดันเฉพาะ ความดันต่ำจะทำให้ MFC ของไหลหมดลงและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้อัตราการไหลไม่แน่นอน มีเทคโนโลยีต่างๆ มากมายที่ช่วยวัดการไหลของของไหลและช่วยควบคุมการไหลในที่สุด เทคโนโลยีเหล่านี้กำหนดประเภทของตัวควบคุมการไหลของมวลและรวมถึงความดันแตกต่าง (ΔP) อุณหภูมิที่แตกต่างกัน (ΔT) แรงโคริโอลิส อัลตราโซนิก แม่เหล็กไฟฟ้า กังหัน ฯลฯ

การติดตั้งเครื่องวัดการไหลของมวล
ขณะนี้มีการใช้งานมาตรวัดมวลมากขึ้นเรื่อยๆ และบางครั้งที่มีการติดตั้งมาตรวัดมวลเป็นครั้งแรกก็ไม่ชัดเจนเกี่ยวกับวิธีการติดตั้งมาตรวัดมวล การติดตั้งย้อนกลับ การติดตั้งที่ไม่ถูกต้อง ฯลฯ ซึ่งส่งผลต่อการใช้งานตามปกติของ อุปกรณ์ บทความนี้กล่าวถึงปัญหานี้อธิบายรายละเอียดวิธีการติดตั้งเครื่องวัดอัตราการไหล
ความเค้นทางกลที่มากเกินไประหว่างการติดตั้งเซ็นเซอร์จะส่งผลต่อจุดศูนย์ของ Mass Flowmeter หากความเค้นเหล่านี้มีการเปลี่ยนแปลงอยู่ตลอดเวลา การเลื่อนจุดศูนย์ของมาตรจะทำให้การวัดไม่แม่นยำและไม่สามารถทำงานได้ตามปกติ ดังนั้นการติดตั้ง Mass Flowmeter ที่ถูกต้องจึงเป็นส่วนสำคัญในการรับประกันการทำงานปกติของอุปกรณ์
1. เลือกวิธีการติดตั้ง
วิธีการติดตั้งเซ็นเซอร์ส่วนใหญ่จะพิจารณาจากความแตกต่างของเฟสของของไหลและสภาวะของกระบวนการ มีวิธีการติดตั้ง 3 วิธี
1. หากของไหลที่วัดได้เป็นของเหลว โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกคว่ำลงเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของอากาศในท่อสั่นของเซ็นเซอร์ เพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการวัดอัตราการไหลของมวลได้อย่างแม่นยำ
2. หากของไหลที่วัดได้เป็นก๊าซ โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกหันขึ้นด้านบนเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของคอนเดนเสทในท่อสั่นสะเทือนของเซ็นเซอร์
3. หากของไหลที่วัดได้เป็นสารละลายผสมระหว่างของเหลวและของแข็ง ให้ติดตั้งเซ็นเซอร์บนถนนอย่างเป็นทางการในแนวตั้ง ซึ่งสามารถป้องกันไม่ให้อนุภาคสะสมในท่อวัดแรงโคริโอลิสของเซ็นเซอร์ นอกจากนี้ หากจำเป็นต้องทำความสะอาดท่อกระบวนการด้วยแก๊สและไอน้ำ วิธีการติดตั้งนี้ยังช่วยอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาด แต่วิธีการติดตั้งนี้แก้ไขได้ยากกว่าสองวิธีก่อนหน้า และการสูญเสียแรงดันจะมากกว่า

ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ
สูตรการไหลของมวล
ประเภทของเครื่องวัดการไหลของมวล
เครื่องวัดการไหลของมวลภาษาอังกฤษ
ตามเว็บไซต์จีนสามองศา. การตีความหลาย ๆ เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์คอมพิวเตอร์อิเล็กทรอนิกส์】เครื่องวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมเครื่องกล】เซ็นเซอร์เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์วิทยาศาสตร์ทางทะเล-วิศวกรรมใต้น้ำ】การไหลของมวลความร้อน【วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์】การวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมไฟฟ้า】
ข้อมูลเพิ่มเติม
แอปพลิเคชัน | โรงงาน |
---|---|
ชนิดของ | อิเล็กทรอนิกส์ |
วิธีการติดตั้ง | ปาก |
วิธีการส่งออก | ดิจิตอล แอนะล็อก |
ข้อกำหนดทางเทคนิค
แบบอย่าง | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
ช่วงการไหล (ไนโตรเจน) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
ความเร็วปฏิกิริยา | ≦2.0วินาที | ||||
ความแม่นยำ | ±1.0 % FS | ||||
ทำซ้ำความถูกต้อง | ±0.25 % FS | ||||
ความต้านทานแรงดัน | 1500PSIG | ||||
อัตราการรั่วไหล | 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า | ||||
อุณหภูมิในการทำงาน | 0~50℃ | ||||
ตัวเครื่องหลัก SUS316 | |||||
วัสดุอุปกรณ์ | Body Gasket Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™) | ||||
มาตรฐาน: การบีบอัด 1/2″ | |||||
วิธีการเชื่อมต่อ | อุปกรณ์เสริม: การบีบอัด 1/4" หรือ VCR™, การบีบอัด 3/8" หรือ VCR™ | ||||
สายไฟฟ้า | ขั้วต่อ Dsub ตัวผู้ 15 พินเต้ารับเดียว | ||||
สัญญาณไฟจราจร | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
โฟลว์สัญญาณเอาท์พุต | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
แรงดันไฟจ่าย | +15~28Vdc/350mA | ||||
ประเภทที่ใช้บังคับ | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | |
ประเภทแดชบอร์ด | อุปกรณ์เสริม: ชนิดรวมหรือแบบแยก (สายเชื่อมต่อ 1 ม. หรือ 3 ม.) เฉพาะสำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A | ||||
แผงแสดงผลเสริม | แสดงอินเทอร์เฟซการสื่อสาร | การสื่อสารแบบดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น | |||
แรงดันไฟจ่าย | AC110~240 V สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น |
แอปพลิเคชัน
MFC .คืออะไร
เครื่องควบคุมการไหลของมวล (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของก๊าซ [1] ตัวควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทภายในช่วงอัตราการไหลเฉพาะ MFC สามารถตั้งค่าได้ตั้งแต่ 0% ถึง 100% ของช่วงสเกลทั้งหมด แต่โดยทั่วไปแล้วจะทำงานภายในช่วง 10% ถึง 90% ของสเกลเต็มเพื่อความแม่นยำสูงสุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลไปยังจุดตั้งค่าที่กำหนด MFC สามารถเป็นได้ทั้งแบบแอนะล็อกหรือดิจิทัล ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิตอลมักจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งประเภท ในขณะที่ตัวควบคุมแบบแอนะล็อกนั้นจำกัดเฉพาะของไหลที่จะสอบเทียบ
ตัวควบคุมการไหลของมวลทั้งหมดมีทางเข้า ทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมตามสัดส่วน MFC มีระบบควบคุมแบบวงปิดซึ่งผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์การไหลของมวลและปรับวาล์วตามสัดส่วนเพื่อให้ได้อัตราการไหลที่ต้องการ โฟลว์ถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และให้ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟ
ตัวควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวที่จ่ายให้ต้องอยู่ในช่วงแรงดันที่กำหนด ความดันต่ำอาจทำให้ MFC ของของเหลวอดอาหารและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้การไหลไม่เสถียร
ใบสมัคร MFC
1. อุปกรณ์ CVD
CVD คืออะไร
Semi-Vapor Deposition (CVD) เป็นวิธีการสะสมแบบสุญญากาศที่ใช้ในการผลิตวัสดุแข็งคุณภาพสูงและมีประสิทธิภาพสูง กระบวนการนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อผลิตฟิล์มบาง
ใน CVD ทั่วไป แผ่นเวเฟอร์ (สารตั้งต้น) สัมผัสกับสารตั้งต้นที่ระเหยง่ายตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปที่ทำปฏิกิริยาและ/หรือสลายตัวบนพื้นผิวของซับสเตรตเพื่อผลิตสิ่งสะสมที่ต้องการ ผลพลอยได้จากการระเหยมักจะถูกผลิตขึ้นเช่นกัน ซึ่งถูกกำจัดออกโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องทำปฏิกิริยา
กระบวนการไมโครแฟบริเคชั่นใช้ CVD อย่างกว้างขวางในการฝากวัสดุรูปแบบต่างๆ รวมถึง: ผลึกเดี่ยว คริสตัลไลน์ อสัณฐาน และอีพิแทกซี วัสดุเหล่านี้ได้แก่: ซิลิกอน (คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ ออกซีไนไตรด์) คาร์บอน (เส้นใย นาโนไฟเบอร์ ท่อนาโน เพชร และกราฟีน) ฟลูออโรคาร์บอน ฟิลาเมนต์ ทังสเตน ไททาเนียมไนไตรด์ และไดอิเล็กทริกสูงแบบต่างๆ
2. กล่องวาล์ว/แผง (VMB/VMP)
VMB/VMP . คืออะไร
จากประสบการณ์ของเราในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผง (กล่องแก๊ส) สำหรับระบบ EPI, MOCVD, ระบบการจัดหาวัสดุและอื่น ๆ
ท่ามกลางความสำเร็จทางธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามความต้องการของลูกค้า (ราคาและข้อมูลจำเพาะ) เราสามารถจัดการไม่เพียงแต่ก๊าซธรรมดาแต่ยังรวมถึงก๊าซเหลวสำหรับแหวนดุมล้อด้วย เรายังสนับสนุนการสมัครทางกฎหมายต่างๆ
ช่วงการไหล
แบบอย่าง | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
ช่วงการไหล (ไนโตรเจน) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
ความเร็วปฏิกิริยา | ≦2.0วินาที | ||||
ความแม่นยำ | ±1.0 % FS | ||||
ทำซ้ำความถูกต้อง | ±0.25 % FS | ||||
ความต้านทานแรงดัน | 1500PSIG | ||||
อัตราการรั่วไหล | 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า | ||||
อุณหภูมิในการทำงาน | 0~50℃ | ||||
ตัวเครื่องหลัก SUS316 | |||||
วัสดุอุปกรณ์ | Body Gasket Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™) | ||||
มาตรฐาน: การบีบอัด 1/2″ | |||||
วิธีการเชื่อมต่อ | อุปกรณ์เสริม: การบีบอัด 1/4" หรือ VCR™, การบีบอัด 3/8" หรือ VCR™ | ||||
สายไฟฟ้า | ขั้วต่อ Dsub ตัวผู้ 15 พินเต้ารับเดียว | ||||
สัญญาณไฟจราจร | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
โฟลว์สัญญาณเอาท์พุต | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
แรงดันไฟจ่าย | +15~28Vdc/350mA | ||||
ประเภทที่ใช้บังคับ | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | |
ประเภทแดชบอร์ด | อุปกรณ์เสริม: ชนิดรวมหรือแบบแยก (สายเชื่อมต่อ 1 ม. หรือ 3 ม.) เฉพาะสำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A | ||||
แผงแสดงผลเสริม | แสดงอินเทอร์เฟซการสื่อสาร | การสื่อสารแบบดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น | |||
แรงดันไฟจ่าย | AC110~240 V สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น |
ข้อมูลการสั่งซื้อ
รูปแบบการสั่งซื้อ | ||||||||||
TMFC | การเข้ารหัส | ช่วงการไหล | ||||||||
|
125 | 30~100SLM | ||||||||
300 | 100~300SLM | |||||||||
500 | 300~1000SLM | |||||||||
|
การเข้ารหัส | อินพุต/เอาต์พุตสัญญาณ | ||||||||
วี | 0~5Vdc (ชนิดมาตรฐาน) | |||||||||
อา | 4~20mA | |||||||||
VD | 0~5Vdc+RS-485 (ไม่สามารถใช้กับแผงเสริม) | |||||||||
|
4~20mA+RS-485 (ไม่สามารถใช้กับแผงเสริม) | |||||||||
การเข้ารหัส | วิธีการเชื่อมต่อ | |||||||||
2 | 1/8″ | |||||||||
4 | 1/4″ | |||||||||
6 | 3/8" (แบบมาตรฐาน: เหมาะสำหรับ TMFC125/300) | |||||||||
8 | 1/2" (แบบมาตรฐาน: เหมาะสำหรับ TMFC500) | |||||||||
|
การเข้ารหัส | ประเภทการเชื่อมต่อ | ||||||||
อา | การบีบอัด SWL | |||||||||
วี | VCR Maleชาย | |||||||||
|
การเข้ารหัส | ปะเก็นร่างกาย | ||||||||
วี | ไวตัน (แบบมาตรฐาน) | |||||||||
บี | บุนนา | |||||||||
K | คาลเรซ | |||||||||
ตู่ | เทฟลอน | |||||||||
การเข้ารหัส | ฟังก์ชั่นหน้าจอแสดงผลเสริม #1 | |||||||||
นู๋ | ไม่มี (แบบมาตรฐาน) | |||||||||
ฉัน | ทั้งหมดในอย่างเดียว | |||||||||
ดี | แยกประเภทพร้อมสายยาว 1 เมตร | |||||||||
อี | แยกประเภทพร้อมสายยาว 3 ม. | |||||||||
รหัส | ฟังก์ชั่นแผงหน้าจอแสดงผลเสริม #2 | |||||||||
F | ดิจิตอล: Rs-485 (ชนิดมาตรฐาน) | |||||||||
ค | DeviceNet™ | |||||||||
|
||||||||||
TMFC | รูปแบบการสั่งซื้อที่สมบูรณ์ | |||||||||
*หมายเหตุ: ทุกรุ่นในซีรีส์ใช้แรงดันไฟฟ้า (+15~28 Vdc/350mA) | ||||||||||
*หมายเหตุ: ใบสั่งซื้อประจำปีของแบรนด์ที่กำหนดเองต้องมีมากกว่า 100 ชุด |