FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT
- รายละเอียดเพิ่มเติม
- ข้อมูลเพิ่มเติม
- ข้อกำหนดทางเทคนิค
- ช่องทางการสมัคร
- ช่วงการไหล
- รูปแบบการสั่งซื้อ
- สอบถามตอนนี้
รายละเอียดเพิ่มเติม
ตัวควบคุมการไหลของมวล | TMFC500 Type
ประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์
- ความแม่นยำสูงที่การไหลต่ำ
- ตอบสนองอย่างรวดเร็ว≦2.0 วินาที
- ช่วงแรงดันกว้าง (1000 PSIG)
- ไม่มีการรั่วไหล
- ไม่ต้องใช้อุณหภูมิหรือความดัน
- รองรับการเชื่อมต่อ
- เซ็นเซอร์แบบเคลื่อนย้ายได้ที่มีความเสถียรสูง
- ค่าความต้านทานการกัดกร่อน
- ความเป็นเส้นตรงดีเยี่ยม
- เสถียรภาพระยะยาวที่ดีเยี่ยม
- การออกแบบโมดูลาร์
- ระบบควบคุมการไหลแบบกะทัดรัด
- ด้วยฟังก์ชัน RS-485
- ฟังก์ชันตัวเลือก: อินเทอร์เฟซและการแยกประเภท
- ตัวเลือกการแสดงผลดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™
หลักการของตัวควบคุมการไหลของก๊าซ/ตัวควบคุมการไหลของก๊าซคืออะไร?
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ
คำอธิบายโครงสร้างหลักการ MFC
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน / เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล English MFCเป็นเครื่องวัดการไหลหยดแรงดันต่ำที่แม่นยำ ติดตั้งง่าย เหมาะสำหรับการวัดการไหลและการควบคุมการใช้ก๊าซแห้ง ยังสามารถตามประเภทก๊าซลิงค์อ้างอิงใบสมัครขอรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลจะสังเกตผลการระบายความร้อนบนทรานสดิวเซอร์ที่เครื่องทำความร้อนตามหน้าที่ของการไหลของอากาศ ผลลัพธ์ที่ได้มีความแม่นยำสูงด้วยต้นทุนที่ต่ำ เมื่อเทียบกับอุปกรณ์วัดการไหลของก๊าซอื่นๆ
ความสัมพันธ์การไหลของอุณหภูมิ
สูตรการไหลของมวล
การติดตั้งเครื่องวัดการไหลของมวล
วิดีโอสินค้า
ผลประโยชน์:
- ·ความแม่นยำสูง
- ช่วงการไหลกว้าง รวมทั้งการไหลต่ำ
- · โครงสร้างที่เรียบง่ายและทนทาน
- ·ง่ายต่อการติดตั้งและบำรุงรักษา
- การเชื่อมต่อที่ยืดหยุ่นของเครื่องวัดการไหลสำหรับการควบคุมการไหล
- · การเชื่อมต่อกระบวนการต่างๆ
- ·อัตราส่วนการปรับ 100:1
- แรงดันตกคร่อมต่ำผ่านมิเตอร์วัดการไหล
- ·ให้สัญญาณออกที่สะดวก
หลักการของเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน/ชนิดของเครื่องวัดอัตราการไหลของมวล
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนใช้คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลเพื่อวัดการเคลื่อนที่ของของไหลในท่อหรือท่อ ในเครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อน ความร้อนที่วัดได้จะถูกนำไปใช้กับเครื่องทำความร้อนของเซ็นเซอร์ พลังงานจำนวนหนึ่งจะสูญเสียไประหว่างการไหล และเมื่อการไหลเพิ่มขึ้น พลังงานก็จะสูญเสียมากขึ้น พลังงานที่เซ็นเซอร์สูญเสียไปขึ้นอยู่กับคุณสมบัติทางความร้อนของของไหลและการออกแบบเซ็นเซอร์ สมบัติทางความร้อนของของไหลอาจแตกต่างกันไปตามอุณหภูมิและความดัน แม้ว่าการเปลี่ยนแปลงเหล่านี้มักจะไม่มีนัยสำคัญในการใช้งานส่วนใหญ่ เนื่องจากการวัดการไหลของความร้อนไม่ได้ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิหรือความดันของของเหลว จึงสามารถใช้เครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อนเพื่อประเมินการไหลของมวลของของไหลได้
กล่าวอีกนัยหนึ่ง ในการใช้งานส่วนใหญ่ คุณสมบัติของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว สำหรับการใช้งานเหล่านี้ องค์ประกอบของของเหลวที่แตกต่างกันอาจรบกวนขนาดการไหลของความร้อนระหว่างการทำงานจริง ดังนั้น สำหรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้ให้บริการที่จะเข้าใจองค์ประกอบของของไหล เพื่อให้สามารถประมวลผลปัจจัยการทำให้เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมเพื่อกำหนดอัตราการไหลได้อย่างแม่นยำ เนื่องจากข้อจำกัดนี้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนมักใช้ในการวัดการไหลของก๊าซบริสุทธิ์ ผู้ผลิตสามารถให้ข้อมูลที่เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมสำหรับการผสมก๊าซอื่นๆ แต่เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนความถูกต้องแม่นยำขึ้นอยู่กับว่าส่วนผสมของก๊าซจริงนั้นเหมือนกับส่วนผสมของก๊าซที่ใช้สำหรับการทำให้เป็นมาตรฐานหรือไม่
ข้อมูลเพิ่มเติม
แอปพลิเคชัน | โรงงาน |
---|---|
ชนิดของ | อิเล็กทรอนิกส์ |
วิธีการติดตั้ง | ปาก |
วิธีการส่งออก | ดิจิตอล แอนะล็อก |
ข้อกำหนดทางเทคนิค
แบบอย่าง | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
ช่วงการไหล (ไนโตรเจน) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
ความเร็วปฏิกิริยา | ≦2.0วินาที | ||||
ความแม่นยำ | ±1.0 % FS | ||||
ทำซ้ำความถูกต้อง | ±0.25 % FS | ||||
ความต้านทานแรงดัน | 1500PSIG | ||||
อัตราการรั่วไหล | 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า | ||||
อุณหภูมิในการทำงาน | 0~50℃ | ||||
ตัวเครื่องหลัก SUS316 | |||||
วัสดุอุปกรณ์ | Body Gasket Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™) | ||||
มาตรฐาน: การบีบอัด 1/2″ | |||||
วิธีการเชื่อมต่อ | อุปกรณ์เสริม: การบีบอัด 1/4" หรือ VCR™, การบีบอัด 3/8" หรือ VCR™ | ||||
สายไฟฟ้า | ขั้วต่อ Dsub ตัวผู้ 15 พินเต้ารับเดียว | ||||
สัญญาณไฟจราจร | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
โฟลว์สัญญาณเอาท์พุต | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
แรงดันไฟจ่าย | +15~28Vdc/350mA | ||||
ประเภทที่ใช้บังคับ | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | |
ประเภทแดชบอร์ด | อุปกรณ์เสริม: ชนิดรวมหรือแบบแยก (สายเชื่อมต่อ 1 ม. หรือ 3 ม.) เฉพาะสำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A | ||||
แผงแสดงผลเสริม | แสดงอินเทอร์เฟซการสื่อสาร | การสื่อสารแบบดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น | |||
แรงดันไฟจ่าย | AC110~240 V สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น |
ช่องทางการสมัคร
MFC .คืออะไร
เครื่องควบคุมการไหลของมวล (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของก๊าซ [1] ตัวควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทภายในช่วงอัตราการไหลเฉพาะ MFC สามารถตั้งค่าได้ตั้งแต่ 0% ถึง 100% ของช่วงสเกลทั้งหมด แต่โดยทั่วไปแล้วจะทำงานภายในช่วง 10% ถึง 90% ของสเกลเต็มเพื่อความแม่นยำสูงสุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลไปยังจุดตั้งค่าที่กำหนด MFC สามารถเป็นได้ทั้งแบบแอนะล็อกหรือดิจิทัล ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิตอลมักจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งประเภท ในขณะที่ตัวควบคุมแบบแอนะล็อกนั้นจำกัดเฉพาะของไหลที่จะสอบเทียบ
ตัวควบคุมการไหลของมวลทั้งหมดมีทางเข้า ทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมตามสัดส่วน MFC มีระบบควบคุมแบบวงปิดซึ่งผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์การไหลของมวลและปรับวาล์วตามสัดส่วนเพื่อให้ได้อัตราการไหลที่ต้องการ โฟลว์ถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และให้ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟ
ตัวควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวที่จ่ายให้ต้องอยู่ในช่วงแรงดันที่กำหนด ความดันต่ำอาจทำให้ MFC ของของเหลวอดอาหารและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้การไหลไม่เสถียร
ใบสมัคร MFC
1. อุปกรณ์ CVD
CVD คืออะไร
Semi-Vapor Deposition (CVD) เป็นวิธีการสะสมแบบสุญญากาศที่ใช้ในการผลิตวัสดุแข็งคุณภาพสูงและมีประสิทธิภาพสูง กระบวนการนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อผลิตฟิล์มบาง
ใน CVD ทั่วไป แผ่นเวเฟอร์ (สารตั้งต้น) สัมผัสกับสารตั้งต้นที่ระเหยง่ายตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปที่ทำปฏิกิริยาและ/หรือสลายตัวบนพื้นผิวของซับสเตรตเพื่อผลิตสิ่งสะสมที่ต้องการ ผลพลอยได้จากการระเหยมักจะถูกผลิตขึ้นเช่นกัน ซึ่งถูกกำจัดออกโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องทำปฏิกิริยา
กระบวนการไมโครแฟบริเคชั่นใช้ CVD อย่างกว้างขวางในการฝากวัสดุรูปแบบต่างๆ รวมถึง: ผลึกเดี่ยว คริสตัลไลน์ อสัณฐาน และอีพิแทกซี วัสดุเหล่านี้ได้แก่: ซิลิกอน (คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ ออกซีไนไตรด์) คาร์บอน (เส้นใย นาโนไฟเบอร์ ท่อนาโน เพชร และกราฟีน) ฟลูออโรคาร์บอน ฟิลาเมนต์ ทังสเตน ไททาเนียมไนไตรด์ และไดอิเล็กทริกสูงแบบต่างๆ
2. กล่องวาล์ว/แผง (VMB/VMP)
VMB/VMP . คืออะไร
จากประสบการณ์ของเราในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผง (กล่องแก๊ส) สำหรับระบบ EPI, MOCVD, ระบบการจัดหาวัสดุและอื่น ๆ
ท่ามกลางความสำเร็จทางธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามความต้องการของลูกค้า (ราคาและข้อมูลจำเพาะ) เราสามารถจัดการไม่เพียงแต่ก๊าซธรรมดาแต่ยังรวมถึงก๊าซเหลวสำหรับแหวนดุมล้อด้วย เรายังสนับสนุนการสมัครทางกฎหมายต่างๆ
ช่วงการไหล
แบบอย่าง | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
ช่วงการไหล (ไนโตรเจน) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
ความเร็วปฏิกิริยา | ≦2.0วินาที | ||||
ความแม่นยำ | ±1.0 % FS | ||||
ทำซ้ำความถูกต้อง | ±0.25 % FS | ||||
ความต้านทานแรงดัน | 1500PSIG | ||||
อัตราการรั่วไหล | 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า | ||||
อุณหภูมิในการทำงาน | 0~50℃ | ||||
ตัวเครื่องหลัก SUS316 | |||||
วัสดุอุปกรณ์ | Body Gasket Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™) | ||||
มาตรฐาน: การบีบอัด 1/2″ | |||||
วิธีการเชื่อมต่อ | อุปกรณ์เสริม: การบีบอัด 1/4" หรือ VCR™, การบีบอัด 3/8" หรือ VCR™ | ||||
สายไฟฟ้า | ขั้วต่อ Dsub ตัวผู้ 15 พินเต้ารับเดียว | ||||
สัญญาณไฟจราจร | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
โฟลว์สัญญาณเอาท์พุต | 0~5Vdc | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
แรงดันไฟจ่าย | +15~28Vdc/350mA | ||||
ประเภทที่ใช้บังคับ | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | ◎สนับสนุน | ปราศจาก | |
ประเภทแดชบอร์ด | อุปกรณ์เสริม: ชนิดรวมหรือแบบแยก (สายเชื่อมต่อ 1 ม. หรือ 3 ม.) เฉพาะสำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A | ||||
แผงแสดงผลเสริม | แสดงอินเทอร์เฟซการสื่อสาร | การสื่อสารแบบดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น | |||
แรงดันไฟจ่าย | AC110~240 V สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น |
รูปแบบการสั่งซื้อ
รูปแบบการสั่งซื้อ | ||||||||||
TMFC | การเข้ารหัส | ช่วงการไหล | ||||||||
|
125 | 30~100SLM | ||||||||
300 | 100~300SLM | |||||||||
500 | 300~1000SLM | |||||||||
|
การเข้ารหัส | อินพุต/เอาต์พุตสัญญาณ | ||||||||
วี | 0~5Vdc (ชนิดมาตรฐาน) | |||||||||
อา | 4~20mA | |||||||||
VD | 0~5Vdc+RS-485 (ไม่สามารถใช้กับแผงเสริม) | |||||||||
|
4~20mA+RS-485 (ไม่สามารถใช้กับแผงเสริม) | |||||||||
การเข้ารหัส | วิธีการเชื่อมต่อ | |||||||||
2 | 1/8″ | |||||||||
4 | 1/4″ | |||||||||
6 | 3/8" (แบบมาตรฐาน: เหมาะสำหรับ TMFC125/300) | |||||||||
8 | 1/2" (แบบมาตรฐาน: เหมาะสำหรับ TMFC500) | |||||||||
|
การเข้ารหัส | ประเภทการเชื่อมต่อ | ||||||||
อา | การบีบอัด SWL | |||||||||
วี | VCR Maleชาย | |||||||||
|
การเข้ารหัส | ปะเก็นร่างกาย | ||||||||
วี | ไวตัน (แบบมาตรฐาน) | |||||||||
บี | บุนนา | |||||||||
K | คาลเรซ | |||||||||
ตู่ | เทฟลอน | |||||||||
การเข้ารหัส | ฟังก์ชั่นหน้าจอแสดงผลเสริม #1 | |||||||||
นู๋ | ไม่มี (แบบมาตรฐาน) | |||||||||
ฉัน | ทั้งหมดในอย่างเดียว | |||||||||
ดี | แยกประเภทพร้อมสายยาว 1 เมตร | |||||||||
อี | แยกประเภทพร้อมสายยาว 3 ม. | |||||||||
รหัส | ฟังก์ชั่นแผงหน้าจอแสดงผลเสริม #2 | |||||||||
F | ดิจิตอล: Rs-485 (ชนิดมาตรฐาน) | |||||||||
ค | DeviceNet™ | |||||||||
|
||||||||||
TMFC | รูปแบบการสั่งซื้อที่สมบูรณ์ | |||||||||
*หมายเหตุ: ทุกรุ่นในซีรีส์ใช้แรงดันไฟฟ้า (+15~28 Vdc/350mA) | ||||||||||
*หมายเหตุ: ใบสั่งซื้อประจำปีของแบรนด์ที่กำหนดเองต้องมีมากกว่า 100 ชุด |