FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT

ตัวควบคุมการไหลของมวล | TMFC500 Type

ตัวควบคุมการไหลของมวล | TMFC500 Type

ความแม่นยำสูง 1% | ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ | อัตราความต้านทานการกัดกร่อน | สอดคล้องกับข้อกำหนดของเซมิคอนดักเตอร์ | รับประกันหนึ่งปี | รับประกัน 3 ปี

รายละเอียดเพิ่มเติม

ตัวควบคุมการไหลของมวล | TMFC500 Type

ประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์

  • ความแม่นยำสูงที่การไหลต่ำ
  • ตอบสนองอย่างรวดเร็ว≦2.0 วินาที
  • ช่วงแรงดันกว้าง (1000 PSIG)
  • ไม่มีการรั่วไหล
  • ไม่ต้องใช้อุณหภูมิหรือความดัน
  • รองรับการเชื่อมต่อ
  • เซ็นเซอร์แบบเคลื่อนย้ายได้ที่มีความเสถียรสูง
  • ค่าความต้านทานการกัดกร่อน
  • ความเป็นเส้นตรงดีเยี่ยม
  • เสถียรภาพระยะยาวที่ดีเยี่ยม
  • การออกแบบโมดูลาร์
  • ระบบควบคุมการไหลแบบกะทัดรัด
  • ด้วยฟังก์ชัน RS-485
  • ฟังก์ชันตัวเลือก: อินเทอร์เฟซและการแยกประเภท
  • ตัวเลือกการแสดงผลดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™

หลักการของตัวควบคุมการไหลของก๊าซ/ตัวควบคุมการไหลของก๊าซคืออะไร?

ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ

คำอธิบายโครงสร้างหลักการ MFC

เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน / เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล English MFCเป็นเครื่องวัดการไหลหยดแรงดันต่ำที่แม่นยำ ติดตั้งง่าย เหมาะสำหรับการวัดการไหลและการควบคุมการใช้ก๊าซแห้ง ยังสามารถตามประเภทก๊าซลิงค์อ้างอิงใบสมัครขอรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลจะสังเกตผลการระบายความร้อนบนทรานสดิวเซอร์ที่เครื่องทำความร้อนตามหน้าที่ของการไหลของอากาศ ผลลัพธ์ที่ได้มีความแม่นยำสูงด้วยต้นทุนที่ต่ำ เมื่อเทียบกับอุปกรณ์วัดการไหลของก๊าซอื่นๆ

ความสัมพันธ์การไหลของอุณหภูมิ

สูตรการไหลของมวล

การติดตั้งเครื่องวัดการไหลของมวล

วิดีโอสินค้า

ผลประโยชน์:

  • ·ความแม่นยำสูง
  • ช่วงการไหลกว้าง รวมทั้งการไหลต่ำ
  • · โครงสร้างที่เรียบง่ายและทนทาน
  • ·ง่ายต่อการติดตั้งและบำรุงรักษา
  • การเชื่อมต่อที่ยืดหยุ่นของเครื่องวัดการไหลสำหรับการควบคุมการไหล
  • · การเชื่อมต่อกระบวนการต่างๆ
  • ·อัตราส่วนการปรับ 100:1
  • แรงดันตกคร่อมต่ำผ่านมิเตอร์วัดการไหล
  • ·ให้สัญญาณออกที่สะดวก
หลักการของเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน/ชนิดของเครื่องวัดอัตราการไหลของมวล

เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนใช้คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลเพื่อวัดการเคลื่อนที่ของของไหลในท่อหรือท่อ ในเครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อน ความร้อนที่วัดได้จะถูกนำไปใช้กับเครื่องทำความร้อนของเซ็นเซอร์ พลังงานจำนวนหนึ่งจะสูญเสียไประหว่างการไหล และเมื่อการไหลเพิ่มขึ้น พลังงานก็จะสูญเสียมากขึ้น พลังงานที่เซ็นเซอร์สูญเสียไปขึ้นอยู่กับคุณสมบัติทางความร้อนของของไหลและการออกแบบเซ็นเซอร์ สมบัติทางความร้อนของของไหลอาจแตกต่างกันไปตามอุณหภูมิและความดัน แม้ว่าการเปลี่ยนแปลงเหล่านี้มักจะไม่มีนัยสำคัญในการใช้งานส่วนใหญ่ เนื่องจากการวัดการไหลของความร้อนไม่ได้ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิหรือความดันของของเหลว จึงสามารถใช้เครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อนเพื่อประเมินการไหลของมวลของของไหลได้

กล่าวอีกนัยหนึ่ง ในการใช้งานส่วนใหญ่ คุณสมบัติของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว สำหรับการใช้งานเหล่านี้ องค์ประกอบของของเหลวที่แตกต่างกันอาจรบกวนขนาดการไหลของความร้อนระหว่างการทำงานจริง ดังนั้น สำหรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้ให้บริการที่จะเข้าใจองค์ประกอบของของไหล เพื่อให้สามารถประมวลผลปัจจัยการทำให้เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมเพื่อกำหนดอัตราการไหลได้อย่างแม่นยำ เนื่องจากข้อจำกัดนี้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนมักใช้ในการวัดการไหลของก๊าซบริสุทธิ์ ผู้ผลิตสามารถให้ข้อมูลที่เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมสำหรับการผสมก๊าซอื่นๆ แต่เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนความถูกต้องแม่นยำขึ้นอยู่กับว่าส่วนผสมของก๊าซจริงนั้นเหมือนกับส่วนผสมของก๊าซที่ใช้สำหรับการทำให้เป็นมาตรฐานหรือไม่

ข้อมูลเพิ่มเติม

แอปพลิเคชัน

โรงงาน

ชนิดของ

อิเล็กทรอนิกส์

วิธีการติดตั้ง

ปาก

วิธีการส่งออก

ดิจิตอล แอนะล็อก

ข้อกำหนดทางเทคนิค

แบบอย่าง TMFC500V TMFC500VD TMFC500A TMFC500AD
ช่วงการไหล (ไนโตรเจน) 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM
ความเร็วปฏิกิริยา ≦2.0วินาที
ความแม่นยำ ±1.0 % FS
ทำซ้ำความถูกต้อง ±0.25 % FS
ความต้านทานแรงดัน 1500PSIG
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
อุณหภูมิในการทำงาน 0~50℃
ตัวเครื่องหลัก SUS316
วัสดุอุปกรณ์ Body Gasket Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™)
มาตรฐาน: การบีบอัด 1/2″
วิธีการเชื่อมต่อ อุปกรณ์เสริม: การบีบอัด 1/4" หรือ VCR™, การบีบอัด 3/8" หรือ VCR™
สายไฟฟ้า ขั้วต่อ Dsub ตัวผู้ 15 พินเต้ารับเดียว
สัญญาณไฟจราจร 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
โฟลว์สัญญาณเอาท์พุต 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
แรงดันไฟจ่าย +15~28Vdc/350mA
ประเภทที่ใช้บังคับ ◎สนับสนุน ปราศจาก ◎สนับสนุน ปราศจาก
ประเภทแดชบอร์ด อุปกรณ์เสริม: ชนิดรวมหรือแบบแยก (สายเชื่อมต่อ 1 ม. หรือ 3 ม.) เฉพาะสำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A
แผงแสดงผลเสริม แสดงอินเทอร์เฟซการสื่อสาร การสื่อสารแบบดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น
แรงดันไฟจ่าย AC110~240 V สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น

 

ช่องทางการสมัคร

MFC .คืออะไร

เครื่องควบคุมการไหลของมวล (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของก๊าซ [1] ตัวควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทภายในช่วงอัตราการไหลเฉพาะ MFC สามารถตั้งค่าได้ตั้งแต่ 0% ถึง 100% ของช่วงสเกลทั้งหมด แต่โดยทั่วไปแล้วจะทำงานภายในช่วง 10% ถึง 90% ของสเกลเต็มเพื่อความแม่นยำสูงสุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลไปยังจุดตั้งค่าที่กำหนด MFC สามารถเป็นได้ทั้งแบบแอนะล็อกหรือดิจิทัล ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิตอลมักจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งประเภท ในขณะที่ตัวควบคุมแบบแอนะล็อกนั้นจำกัดเฉพาะของไหลที่จะสอบเทียบ

ตัวควบคุมการไหลของมวลทั้งหมดมีทางเข้า ทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมตามสัดส่วน MFC มีระบบควบคุมแบบวงปิดซึ่งผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์การไหลของมวลและปรับวาล์วตามสัดส่วนเพื่อให้ได้อัตราการไหลที่ต้องการ โฟลว์ถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และให้ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟ

ตัวควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวที่จ่ายให้ต้องอยู่ในช่วงแรงดันที่กำหนด ความดันต่ำอาจทำให้ MFC ของของเหลวอดอาหารและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้การไหลไม่เสถียร

ใบสมัคร MFC

1. อุปกรณ์ CVD

CVD คืออะไร

Semi-Vapor Deposition (CVD) เป็นวิธีการสะสมแบบสุญญากาศที่ใช้ในการผลิตวัสดุแข็งคุณภาพสูงและมีประสิทธิภาพสูง กระบวนการนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อผลิตฟิล์มบาง

ใน CVD ทั่วไป แผ่นเวเฟอร์ (สารตั้งต้น) สัมผัสกับสารตั้งต้นที่ระเหยง่ายตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปที่ทำปฏิกิริยาและ/หรือสลายตัวบนพื้นผิวของซับสเตรตเพื่อผลิตสิ่งสะสมที่ต้องการ ผลพลอยได้จากการระเหยมักจะถูกผลิตขึ้นเช่นกัน ซึ่งถูกกำจัดออกโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องทำปฏิกิริยา

กระบวนการไมโครแฟบริเคชั่นใช้ CVD อย่างกว้างขวางในการฝากวัสดุรูปแบบต่างๆ รวมถึง: ผลึกเดี่ยว คริสตัลไลน์ อสัณฐาน และอีพิแทกซี วัสดุเหล่านี้ได้แก่: ซิลิกอน (คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ ออกซีไนไตรด์) คาร์บอน (เส้นใย นาโนไฟเบอร์ ท่อนาโน เพชร และกราฟีน) ฟลูออโรคาร์บอน ฟิลาเมนต์ ทังสเตน ไททาเนียมไนไตรด์ และไดอิเล็กทริกสูงแบบต่างๆ

2. กล่องวาล์ว/แผง (VMB/VMP)

VMB/VMP . คืออะไร

จากประสบการณ์ของเราในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผง (กล่องแก๊ส) สำหรับระบบ EPI, MOCVD, ระบบการจัดหาวัสดุและอื่น ๆ
ท่ามกลางความสำเร็จทางธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามความต้องการของลูกค้า (ราคาและข้อมูลจำเพาะ) เราสามารถจัดการไม่เพียงแต่ก๊าซธรรมดาแต่ยังรวมถึงก๊าซเหลวสำหรับแหวนดุมล้อด้วย เรายังสนับสนุนการสมัครทางกฎหมายต่างๆ

ช่วงการไหล

แบบอย่าง TMFC500V TMFC500VD TMFC500A TMFC500AD
ช่วงการไหล (ไนโตรเจน) 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM
ความเร็วปฏิกิริยา ≦2.0วินาที
ความแม่นยำ ±1.0 % FS
ทำซ้ำความถูกต้อง ±0.25 % FS
ความต้านทานแรงดัน 1500PSIG
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
อุณหภูมิในการทำงาน 0~50℃
ตัวเครื่องหลัก SUS316
วัสดุอุปกรณ์ Body Gasket Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™)
มาตรฐาน: การบีบอัด 1/2″
วิธีการเชื่อมต่อ อุปกรณ์เสริม: การบีบอัด 1/4" หรือ VCR™, การบีบอัด 3/8" หรือ VCR™
สายไฟฟ้า ขั้วต่อ Dsub ตัวผู้ 15 พินเต้ารับเดียว
สัญญาณไฟจราจร 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
โฟลว์สัญญาณเอาท์พุต 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
แรงดันไฟจ่าย +15~28Vdc/350mA
ประเภทที่ใช้บังคับ ◎สนับสนุน ปราศจาก ◎สนับสนุน ปราศจาก
ประเภทแดชบอร์ด อุปกรณ์เสริม: ชนิดรวมหรือแบบแยก (สายเชื่อมต่อ 1 ม. หรือ 3 ม.) เฉพาะสำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A
แผงแสดงผลเสริม แสดงอินเทอร์เฟซการสื่อสาร การสื่อสารแบบดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น
แรงดันไฟจ่าย AC110~240 V สำหรับแอปพลิเคชัน TMFC500V/A เท่านั้น

รูปแบบการสั่งซื้อ

รูปแบบการสั่งซื้อ
TMFC การเข้ารหัส ช่วงการไหล
 

125 30~100SLM
300 100~300SLM
500 300~1000SLM
 

การเข้ารหัส อินพุต/เอาต์พุตสัญญาณ
วี 0~5Vdc (ชนิดมาตรฐาน)
อา 4~20mA
VD 0~5Vdc+RS-485 (ไม่สามารถใช้กับแผงเสริม)
 

AD
4~20mA+RS-485 (ไม่สามารถใช้กับแผงเสริม)
การเข้ารหัส วิธีการเชื่อมต่อ
2 1/8″
4 1/4″
6 3/8" (แบบมาตรฐาน: เหมาะสำหรับ TMFC125/300)
8 1/2" (แบบมาตรฐาน: เหมาะสำหรับ TMFC500)
 

การเข้ารหัส ประเภทการเชื่อมต่อ
อา การบีบอัด SWL
วี VCR Maleชาย
 

การเข้ารหัส ปะเก็นร่างกาย
วี ไวตัน (แบบมาตรฐาน)
บี บุนนา
K คาลเรซ
ตู่ เทฟลอน
การเข้ารหัส ฟังก์ชั่นหน้าจอแสดงผลเสริม #1
นู๋ ไม่มี (แบบมาตรฐาน)
ฉัน ทั้งหมดในอย่างเดียว
ดี แยกประเภทพร้อมสายยาว 1 เมตร
อี แยกประเภทพร้อมสายยาว 3 ม.
รหัส ฟังก์ชั่นแผงหน้าจอแสดงผลเสริม #2
F ดิจิตอล: Rs-485 (ชนิดมาตรฐาน)
DeviceNet™
 

TMFC รูปแบบการสั่งซื้อที่สมบูรณ์
*หมายเหตุ: ทุกรุ่นในซีรีส์ใช้แรงดันไฟฟ้า (+15~28 Vdc/350mA)
*หมายเหตุ: ใบสั่งซื้อประจำปีของแบรนด์ที่กำหนดเองต้องมีมากกว่า 100 ชุด
แบบฟอร์มติดต่อสอบถาม

คุณอาจจะชื่นชอบ…