질량 유량 컨트롤러 | TMFC500 유형

질량 유량 컨트롤러 | TMFC500 유형

고정밀 1%|가스 질량 유량 컨트롤러|내식성 등급|반도체 사양 준수|1년 보증|3년 보증

설명

질량 유량 컨트롤러 | TMFC500 유형

제품 성능

  • 저유량에서 높은 정확도
  • 빠른 응답 ≤ 2.0 초
  • 넓은 압력 범위(1000 PSIG)
  • 누출 없음
  • 온도나 압력이 필요하지 않음
  • 연결 호환
  • 매우 안정적인 가동 센서
  • 내식성 값
  • 우수한 선형성
  • 우수한 장기 안정성
  • 모듈식 설계
  • 컴팩트한 유량 제어 시스템
  • RS-485 기능으로
  • 옵션 기능: 인터페이스 및 분리 유형
  • 디지털 디스플레이 옵션: RS485(기본값) / DeviceNet™

가스 유량 조절기/유량 조절기의 원리는 무엇입니까?

가스 질량 유량 컨트롤러

MFC 원리 구조 설명

열 질량 유량계 / 질량 유량계 English MFC정확하고 설치가 쉬운 저압 강하 유량계입니다. 유량 측정 및 건조 가스 응용 분야의 제어에 적합합니다. 할 수도 있다가스 종류별참조 링크신청열 질량 유량계를 얻습니다. 질량 유량계는 기류의 함수로 가열하는 변환기에 대한 냉각 효과를 관찰합니다. 그 결과 다른 가스 유량 측정 장치에 비해 저렴한 비용으로 높은 수준의 정확도를 달성합니다.

온도 흐름 관계

질량 흐름 공식

질량 유량계 설치

제품 비디오

혜택:

  • ·높은 정밀도
  • 낮은 유량을 포함한 넓은 유량 범위
  • · 단순하고 내구성 있는 구조
  • ·설치 및 유지보수가 용이
  • 유량 제어를 위한 유량계의 유연한 연결
  • · 다양한 공정 연결
  • ·조정 비율 100:1
  • 유량계 전반에 걸친 낮은 압력 강하
  • · 편리한 신호 출력 제공
열식 질량 유량계의 원리/질량 유량계의 종류

열 질량 유량계유체의 열적 특성을 사용하여 파이프 또는 튜브에서 유체의 움직임을 측정합니다. 열에너지 유량계에서 측정된 열은 센서의 히터에 가해집니다. 흐름 중에는 일정량의 에너지가 손실되고 흐름이 증가할수록 손실되는 에너지가 늘어납니다. 센서에서 손실되는 에너지는 유체의 열 속성과 센서 설계에 따라 다릅니다. 유체의 열압축 특성은 온도와 압력에 따라 달라질 수 있지만 이러한 변화는 대부분의 응용 분야에서 일반적으로 중요하지 않습니다. 열 흐름 측정은 유체의 온도나 압력에 의존하지 않기 때문에 열 에너지 유량계를 사용하여 유체의 질량 흐름을 추정할 수 있습니다.

즉, 대부분의 응용 분야에서 유체의 특성은 구성에 따라 달라질 수 있습니다. 이러한 응용 분야의 경우 유체의 다른 구성이 실제 작동 중에 열 흐름 크기를 방해할 수 있습니다. 따라서열 질량 유량계적절한 정규화 인자가 처리되어 유량을 정확하게 결정할 수 있도록 공급자가 유체의 구성을 이해하는 것이 중요합니다. 이러한 제한으로 인해,열 질량 유량계일반적으로 순수 가스의 흐름을 측정하는 데 사용됩니다. 제조업체는 다른 가스 조합에 대해 적절한 표준화된 정보를 제공할 수 있지만열 질량 유량계의 정확도는 실제 가스 혼합물이 정규화 목적으로 사용된 가스 혼합물과 동일한지 여부에 따라 다릅니다.

추가 정보

애플리케이션

공장

유형

전자

설치 방법

출력 방법

디지털, 아날로그

기술 사양

모델 TMFC500V TMFC500VD TMFC500A TMFC500AD
유량 범위(질소) 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM
반응 속도 ≤2.0초
정도 ±1.0 % FS
반복 정확도 ±0.25 % FS
압력 저항 1500PSIG
누출율 1 x 10-9 atm.cc/sec 이하
작동 온도 0~50℃
본체 SUS316
액세서리 소재 Body Gasket Vition™(Bura™ 또는 Kalrez™ 또는 Teflon™ 옵션)
표준: 1/2″ 압축
연결 방법 옵션: 1/4″ 압축 또는 VCR™, 3/8″ 압축 또는 VCR™
전기 배선 Dsub 15핀 수 커넥터 단일 콘센트
교통 신호 입력 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
흐름 신호 출력 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
전원 전압 +15~28Vdc/350mA
적용 유형 ◎지원 없음 ◎지원 없음
대시보드 유형 Option : TMFC500V/A 전용 일체형 또는 분리형(인터페이스 케이블 1m or 3m)
옵션 디스플레이 패널 통신 인터페이스 표시 디지털 통신: RS485(기본값) / TMFC500V/A 애플리케이션 전용 DeviceNet™
전원 전압 AC110~240V TMFC500V/A 적용 전용

 

신청분야

MFC 란 무엇입니까?

MFC(Mass Flow Controller)는 가스의 흐름을 측정하고 제어하는 데 사용되는 장치입니다. [1] 질량 유량 컨트롤러는 특정 유량 범위 내에서 특정 유형의 액체 또는 가스를 제어하도록 설계 및 보정됩니다. MFC는 전체 스케일 범위의 0%에서 100%까지 설정할 수 있지만 일반적으로 최상의 정확도를 위해 전체 스케일의 10%에서 90% 범위 내에서 작동합니다. 그런 다음 장치는 주어진 설정값에 대한 유량을 제어합니다. MFC는 아날로그 또는 디지털일 수 있습니다. 디지털 유량 컨트롤러는 종종 하나 이상의 유형의 유체를 제어할 수 있는 반면 아날로그 컨트롤러는 보정되는 유체로 제한됩니다.

모든 질량 유량 컨트롤러에는 입구, 출구, 질량 유량 센서 및 비례 제어 밸브가 있습니다. MFC에는 운영자(또는 외부 회로/컴퓨터)가 입력 신호를 제공하는 폐쇄 루프 제어 시스템이 있어 이를 질량 유량 센서의 값과 비교하고 그에 따라 비례 밸브를 조정하여 원하는 유량을 달성합니다. 유량은 교정된 전체 유량의 백분율로 지정되며 MFC에 전압 신호로 제공됩니다.

질량 유량 컨트롤러는 공급되는 가스 또는 액체가 특정 압력 범위 내에 있어야 합니다. 낮은 압력은 액체의 MFC를 고갈시키고 설정점에 도달하는 것을 방지할 수 있습니다. 고압은 불안정한 흐름을 유발할 수 있습니다.

MFC 애플리케이션

1. CVD 장비

CVD 란 무엇입니까?

반증기 증착(CVD)은 고품질, 고성능 고체 재료를 생산하는 데 사용되는 진공 증착 방법입니다. 이 공정은 일반적으로 반도체 산업에서 박막을 생산하는 데 사용됩니다.

일반적인 CVD에서 웨이퍼(기판)는 원하는 증착물을 생성하기 위해 기판 표면에서 반응 및/또는 분해하는 하나 이상의 휘발성 전구체에 노출됩니다. 휘발성 부산물도 일반적으로 생성되며, 이는 반응 챔버를 통한 가스 흐름에 의해 제거됩니다.

미세 가공 공정은 단결정, 다결정, 비정질 및 에피택시를 비롯한 다양한 형태의 재료를 증착하기 위해 CVD를 널리 사용합니다. 이러한 재료에는 실리콘(이산화탄소, 탄화물, 질화물, 산질화물), 탄소(섬유, 나노섬유, 나노튜브, 다이아몬드 및 그래핀), 탄화불소, 필라멘트, 텅스텐, 질화티타늄 및 다양한 고유전율 유전체가 포함됩니다.

2. 밸브 박스/패널(VMB/VMP)

VMB/VMP란?

가스 취급 경험을 통해 EPI 시스템, MOCVD, 재료 공급 시스템 등을 위한 패널(가스 상자)을 설계 및 제조하는 지식을 얻었습니다.
우리의 사업 성과 중 우리는 고객 요구 사항(가격 및 사양)에 맞는 제품을 설계 및 제조할 수 있습니다. 일반 가스뿐만 아니라 허브 링용 액화 가스 공급도 처리할 수 있습니다. 다양한 법률 지원도 하고 있습니다.

유량 범위

모델 TMFC500V TMFC500VD TMFC500A TMFC500AD
유량 범위(질소) 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM 300~1000SLM
반응 속도 ≤2.0초
정도 ±1.0 % FS
반복 정확도 ±0.25 % FS
압력 저항 1500PSIG
누출율 1 x 10-9 atm.cc/sec 이하
작동 온도 0~50℃
본체 SUS316
액세서리 소재 Body Gasket Vition™(Bura™ 또는 Kalrez™ 또는 Teflon™ 옵션)
표준: 1/2″ 압축
연결 방법 옵션: 1/4″ 압축 또는 VCR™, 3/8″ 압축 또는 VCR™
전기 배선 Dsub 15핀 수 커넥터 단일 콘센트
교통 신호 입력 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
흐름 신호 출력 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
전원 전압 +15~28Vdc/350mA
적용 유형 ◎지원 없음 ◎지원 없음
대시보드 유형 Option : TMFC500V/A 전용 일체형 또는 분리형(인터페이스 케이블 1m or 3m)
옵션 디스플레이 패널 통신 인터페이스 표시 디지털 통신: RS485(기본값) / TMFC500V/A 애플리케이션 전용 DeviceNet™
전원 전압 AC110~240V TMFC500V/A 적용 전용

주문 모델

주문 모델
TMFC 코딩 유량 범위
 

125 30~100SLM
300 100~300SLM
500 300~1000SLM
 

코딩 입출력 신호
V 0~5Vdc(표준형)
4~20mA
VD 0~5Vdc+RS-485 (옵션 패널과 함께 사용 불가)
 

기원 후
4~20mA+RS-485 (옵션 패널과 함께 사용 불가)
코딩 연결 방법
2 1/8″
4 1/4″
6 3/8″(표준 유형: TMFC125/300에 적합)
8 1/2″(표준형: TMFC500에 적합)
 

코딩 연결 타입
압축 SWL
V 남성용 VCR
 

코딩 바디 가스켓
V 바이톤(표준형)
부나
케이 칼레즈
테프론
코딩 옵션 디스플레이 패널 기능 #1
N 없음(표준형)
올인원
1m 케이블로 분리형
이자형 3m 케이블로 분리형
암호 옵션 디스플레이 패널 기능 #2
에프 디지털: Rs-485(표준형)
디바이스넷™
 

TMFC 완전한 주문 모델
*참고: 모든 시리즈 모델은 공급 전압(+15~28 Vdc/350mA)을 사용합니다.
*참고: 맞춤형 브랜드의 연간 구매 주문량은 100세트 이상이어야 합니다.
문의 양식

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