TMFC50 유형: 질량 유량 컨트롤러

TMFC50 유형: 질량 유량 컨트롤러

  • 저유량에서 높은 정확도
  • 빠른 응답(≤1.0)
  • 넓은 압력 범위 사용 가능(1300 PSIG)
  • 누출 없음
  • 온도나 압력이 필요하지 않음
  • 연결 호환
  • 높은 안정성의 탈착식 센서
  • 내식성 값
  • 우수한 선형성
  • 우수한 장기 안정성
  • 모듈식 디자인
  • 컴팩트한 유량 제어 시스템

설명

  • 저유량에서 높은 정확도
  • 빠른 응답(≤1.0)
  • 넓은 압력 범위 사용 가능(1300 PSIG)
  • 누출 없음
  • 온도나 압력이 필요하지 않음
  • 연결 호환
  • 높은 안정성을 위한 분리형 센서
  • 내식성 값
  • 우수한 선형성
  • 우수한 장기 안정성
  • 모듈식 설계
  • 컴팩트한 유량 제어 시스템

추가 정보

제어

사물인터넷, MCU, PLC

애플리케이션

유량계

유형

전자

설치 방법

출력 방법

유추

기술 사양

모델 TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
유량 범위(N2) 10sccm~30SLM 10sccm~30SLM 10scc~50SLM 10scc~50SLM
응답 시간 ≤1.0초
정확성 ±1.0 % FS
반복성 ±0.25 % FS
증거 압력 1300PSIG
누출율 1 x 10-9 atm.cc/sec 이하
작동 온도 범위 0~50℃
기체와 접촉하는 부품의 재질 본체: SUS316
밸브 시트: Vition™(Bura™ 또는 Kalrez™ 또는 Teflon™ 옵션)
관절 표준:1/4 압축
옵션: 1/8 압축, 1/4 VCR™, 3/8 압축, VCR™
전기 연결 표준에 따른 Dsub 15핀 수 커넥터
유량 입력 신호 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
유량 출력 신호 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
필요한 전원 공급 장치 +15~28Vdc/350mA

 

애플리케이션

MFC 란 무엇입니까?

ㅏ 질량 유량 컨트롤러 (MFC)의 흐름을 측정하고 제어하는 데 사용되는 장치입니다. 가스.[1] 질량 유량 컨트롤러는 특정 유형의 액체 또는 가스를 특정 유속 범위에서 제어하도록 설계 및 보정되었습니다. MFC는 전체 범위의 0에서 100%까지 설정값을 지정할 수 있지만 일반적으로 10에서 90%에서 작동합니다. 최고의 정확도가 달성되는 전체 규모의 경우 장치는 주어진 설정점에 대한 유량을 제어합니다. MFC는 다음 중 하나일 수 있습니다. 비슷한 물건 또는 디지털디지털 유량 컨트롤러는 일반적으로 하나 이상의 유형의 유체를 제어할 수 있는 반면 아날로그 컨트롤러는 보정된 유체로 제한됩니다.

모든 질량 유량 컨트롤러에는 입구 포트, 출구 포트, 질량 유량 센서 및 비례 제어 밸브가 있습니다. MFC에는 작업자(또는 외부 회로/컴퓨터)에 의해 입력 신호가 제공되는 폐쇄 루프 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 의 값과 비교합니다. 질량 유량 센서 필요한 유량을 달성하기 위해 그에 따라 비례 밸브를 조정합니다. 유량은 보정된 전체 규모 유량의 백분율로 지정되며 MFC에 전압 신호로 공급됩니다.

질량 유량 컨트롤러는 공급 가스 또는 액체가 특정 압력 범위 내에 있어야 합니다. 낮은 압력은 유체의 MFC를 고갈시키고 설정값을 달성하지 못하게 합니다. 높은 압력은 불규칙한 유량을 유발할 수 있습니다.

MFC 애플리케이션

1. CVD 기계

CVD 란 무엇입니까?

화학 기상 증착 (CVD)는 진공 증착 고품질, 고성능, 고체 재료를 생산하는 데 사용되는 방법. 이 공정은 종종 반도체 산업 생산하는 박막.

일반적인 CVD에서는 웨이퍼 (기질) 하나 또는 그 이상에 노출 휘발성 물질 전구체, 어느 반응하다 및/또는 분해하다 원하는 증착물을 생성하기 위해 기판 표면에 부산물 반응 챔버를 통한 가스 흐름에 의해 제거되는 것도 생성됩니다.

미세 가공 공정은 다음을 포함하여 다양한 형태로 재료를 증착하기 위해 CVD를 널리 사용합니다. 단결정다결정무정형, 그리고 에피택셜.이 자료에는 다음이 포함됩니다. 실리콘 실리콘 (이산화물카바이드질화물산질화물), 탄소(섬유나노섬유나노튜브다이아몬드 그리고 그래핀), 탄화불소필라멘트텅스텐질화티타늄 그리고 다양한 고유전율 유전체.

2.밸브 매니폴드 박스/패널(VMB/VMP)

VMB/VMP란?

가스 취급 경험을 통해 EPI 시스템 및 MOCVD, 재료 공급 시스템 등의 가스 패널(가스 박스)을 설계 및 제조하는 지식을 습득했습니다.
당사 사업의 성과는 고객의 요구(가격 및 사양)에 맞는 설계 및 제작이 가능하며, 일반 가스뿐만 아니라 액화 가스의 허브 링 에어 공급도 처리할 수 있으며, 다양한 법적 적용도 지원하고 있습니다. .

플로우 랑

모델 TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
유량 범위(N2) 10sccm~30SLM 10sccm~30SLM 10scc~50SLM 10scc~50SLM
응답 시간 ≤1.0초
정확성 ±1.0 % FS
반복성 ±0.25 % FS
증거 압력 1300PSIG
누출율 1 x 10-9 atm.cc/sec 이하
작동 온도 범위 0~50℃
기체와 접촉하는 부품의 재질 본체: SUS316
밸브 시트: Vition™(Bura™ 또는 Kalrez™ 또는 Teflon™ 옵션)
관절 표준:1/4 압축
옵션: 1/8 압축, 1/4 VCR™, 3/8 압축, VCR™
전기 연결 표준에 따른 Dsub 15핀 수 커넥터
유량 입력 신호 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
유량 출력 신호 0~5Vdc 4~20mA 0~5Vdc 4~20mA
필요한 전원 공급 장치 +15~28Vdc/350mA

주문 정보

주문 정보
TMFC 암호 유량 범위
 

30 0~30SLM
50 0~50SLM
 

암호 입출력 신호
V 0~5Vdc(표준형)
 

4~20mA
암호 피팅 사이즈
2 1/8″
4 1/4″(표준형)
6 3/8″
 

암호 피팅 유형
압축 SWL
V 남성용 VCR
 

암호 밀봉하다
V 바이톤(표준형)
부나
케이 칼레즈
테프론
암호 심벌 마크
에프 FGT 로고(표준형)
고객 로고
 

TMFC 완전한 주문 코드
*참고: 모든 모델은 전원 공급 장치(+15~28 Vdc/350mA)와 함께 제공됩니다.
*참고: 고객 로고를 사용하여 1년 동안 100개 이상 통합
문의 양식

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