Kofloc 브랜드 5100 시리즈 질량유량 컨트롤러/계기는 무용접 구조, 금속 밀봉, 정확도 ≤±1%, 응답 ≤±1초 등 반도체 공정 제어에 필요한 기본 성능 조건을 갖추고 있으며 상당한 가격 인하를 달성했습니다.

특징

・온도 추종 전류차 검출 기능이 있는 유량 센서로 고정밀도, 고응답성을 실현.
・Normal Closed 전자 밸브를 사용합니다.
・무용접 구조와 메탈 씰로 누설률이 낮습니다.
・ 다이어프램 시트 밸브에 의해 Dead Volume이 감소합니다.
・ 대면 및 본체 치수 및 배선 연결 지점은 타사 장비의 교체를 용이하게 하도록 설계되었습니다.

표준 사양

! ! 주목! !
유량 범위와 관련된 사양(예: 유량 범위, 정확도 및 응답)은 N2 또는 이에 상응하는 공기로 표시됩니다. 1차측 압력 300kPa 이하, 2차측 대기 개방으로 제품을 제작합니다. 압력 요구 사항에 대한 자세한 내용은 당사에 문의하십시오.

애플리케이션

・에어 샘플링
・분석기 부품
·생물반응기
・생명공학 공정
・연소 제어
・CCFL제
・실압 조절
・화학 공정
・환경 모니터링
・전자기기 제조
·식품 생산
・연료전지 시험
・발효과정
・가스 혼합
・가스 분배
・기류 모니터링
·가스 발생
·공업로
·누수 탐지
·제약 공정
·오염 모니터링
·공정 제어
·R&D
·태양전지 제조
· 2차 교정 기준
・반도체 공정
・표면 처리 공정
・열 화염 살포
・필름 제조
・증착

어떤 유형의 질량 흐름 컨트롤러가 있습니까?

열 질량 흐름 컨트롤러는 가스의 열 질량 감지 기술을 사용하여 질량 흐름을 제어합니다. TMFC 포트폴리오에는 각각 자체 센서 기술이 있는 여러 열식 질량 유량 컨트롤러가 있습니다.

바이패스 센서를 사용하는 질량 유량 컨트롤러. TMFC 및 TMFM과 같은 이러한 장치는 더 높은 정밀도와 반복성이 요구되는 청정 및 건조 가스 응용 분야에 이상적입니다.
온라인 원리를 사용하는 질량 유량 컨트롤러. TMFC 및 TMFM 시리즈와 같은 시리즈는 애플리케이션에 99.9% 이상의 고순도 가스가 있거나 높은 반복성과 견고성이 정확도보다 더 중요한 경우에 적합합니다.
배관 제어 기술을 사용하는 가스 질량 유량 컨트롤러. 이 시리즈는 가스 흐름과 제어를 측정할 수 있기 때문에 눈에 띕니다.
넓은 유량 범위에 걸쳐 질량 유량을 표시해야 할 때마다 TMFM6000과 같은 MEMS 칩 센서 기술을 사용하는 가스 시리즈는 완벽합니다.
인라인(CMOS) 기술을 사용하는 가스 질량 흐름 컨트롤러.

질량 흐름 컨트롤러( MFC ) 원리 / 흐름 컨트롤러 원리

질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 액체와 기체의 흐름을 측정하고 제어하는 데 사용되는 장치입니다. [1] 질량 유량 컨트롤러는 특정 유량 범위에서 특정 유형의 액체 또는 가스를 제어하도록 설계되고 보정됩니다. MFC는 풀 스케일 범위의 0%와 100% 사이의 설정점을 가질 수 있지만 일반적으로 최상의 정확도를 위해 10%~90%의 풀 스케일 범위 내에서 작동합니다. 그런 다음 장치는 주어진 설정 지점으로 유량을 제어합니다. MFC는 아날로그 또는 디지털일 수 있습니다.디지털 유량 컨트롤러는 일반적으로 둘 이상의 유체를 제어할 수 있는 반면 아날로그 컨트롤러는 교정 대상 유체로 제한됩니다.

모든 질량 유량 컨트롤러에는 입구 포트, 출구 포트, 질량 유량 센서 및 비례 제어 밸브가 있습니다. MFC에는 작업자(또는 외부 회로/컴퓨터)가 질량 유량 센서의 값과 비교되는 입력 신호를 제공하고 그에 따라 비례 밸브를 조정하여 원하는 유량을 달성하는 폐쇄 루프 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 유량은 보정된 풀 스케일 유량의 백분율로 지정되며 MFC에 전압 신호로 제공됩니다.

질량 유량 컨트롤러는 공급 가스 또는 액체가 특정 압력 범위 내에 있어야 합니다. 낮은 압력은 유체의 MFC를 고갈시키고 설정점에 도달하지 못하게 합니다. 높은 압력은 불규칙한 유량을 유발할 수 있습니다. 유체의 흐름을 측정하고 궁극적으로 흐름을 제어하는 데 도움이 되는 다양한 기술이 있습니다. 이러한 기술은 질량 유량 컨트롤러의 유형을 정의하며 여기에는 차압(ΔP), 차동 온도(ΔT), 코리올리 힘, 초음파, 전자기, 터빈 등이 포함됩니다.

질량 유량계 설치

이제 질량 유량계의 응용이 점점 더 많아지고 있으며 처음으로 질량 유량계를 설치하는 경우에 질량 유량계의 설치 방법, 역 설치, 잘못된 설치 등에 대해 명확하지 않아 정상적인 사용에 영향을 미칩니다. 이 기사에서는 이 문제에 대해 설명하고 질량 유량계를 설치하는 방법을 자세히 설명합니다.

센서 설치 중 과도한 기계적 응력은 질량 유량계의 영점에 영향을 미치며 이러한 응력이 지속적으로 변하면 유량계의 영점 드리프트가 부정확한 측정을 유발하고 정상적으로 작동하지 않습니다. 따라서 질량 유량계의 올바른 설치는 장비의 정상 작동을 보장하는 중요한 부분입니다.

1. 설치 방법 선택

센서의 설치 방법은 주로 유체의 위상차와 공정 조건에 따라 결정되며 세 가지 설치 방법이 있습니다.

1. 측정 유체가 액체인 경우 센서는 일반적으로 센서의 진동 튜브에 공기가 축적되는 것을 방지하기 위해 쉘이 아래를 향하도록 설치되어 질량 유량을 정확하게 측정하는 목적을 달성합니다.

2. 측정 유체가 가스인 경우 센서 진동관에 응축수가 축적되는 것을 방지하기 위해 일반적으로 쉘이 위를 향하도록 센서를 설치합니다.

3. 측정 유체가 액체와 고체의 혼합 슬러리인 경우 센서의 코리올리 힘 측정 튜브에 입자가 쌓이는 것을 방지할 수 있는 수직 공식 도로에 센서를 설치하십시오. 또한 공정 파이프라인을 가스와 증기로 청소해야 하는 경우 이 설치 방법도 청소를 용이하게 할 수 있지만 이 설치 방법은 이전 두 가지 방법보다 수정하기 어렵고 압력 손실이 더 큽니다.

 

 

 

 

 

가스 흐름 컨트롤러

가스 질량 유량 컨트롤러

질량 흐름 공식

질량 유량계의 종류

질량 유량계 영어

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