ตัวควบคุม/เครื่องมือควบคุมการไหลของมวลยี่ห้อ kofloc ซีรีส์ 5100 มีเงื่อนไขประสิทธิภาพพื้นฐานที่จำเป็นสำหรับการควบคุมกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เช่น โครงสร้างไร้การเชื่อม ซีลโลหะ ความแม่นยำ ≤±1% การตอบสนอง ≤±1 วินาที และได้ลดราคาลงอย่างมาก

คุณสมบัติ

・เซ็นเซอร์ตรวจจับการไหลพร้อมการตรวจจับความแตกต่างของกระแสตามอุณหภูมิทำให้ได้ความแม่นยำสูงและการตอบสนองสูง
・ใช้โซลินอยด์วาล์วแบบปิดตามปกติ
・โครงสร้างแบบไร้รอยเชื่อมและซีลโลหะมีอัตราการรั่วซึมต่ำ
・ ปริมาณการตายลดลงเนื่องจากวาล์วบ่าไดอะแฟรม
・ ขนาดตัวต่อตัวและตัวและจุดต่อสายไฟออกแบบมาเพื่ออำนวยความสะดวกในการเปลี่ยนอุปกรณ์ที่ผลิตโดยบริษัทอื่น

ข้อกำหนดมาตรฐาน

! ! สังเกต! !
ข้อมูลจำเพาะที่เกี่ยวข้องกับช่วงการไหล (เช่น ช่วงการไหล ความแม่นยำ และการตอบสนอง) แสดงเป็น N2 หรือเทียบเท่าของอากาศ ผลิตภัณฑ์จะถูกสร้างขึ้นด้วยแรงดันหลัก 300 kPa หรือน้อยกว่า และด้านรองจะเปิดออกสู่บรรยากาศ โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเกี่ยวกับข้อกำหนดด้านแรงดัน

แอปพลิเคชั่น

・การเก็บตัวอย่างอากาศ
・ชิ้นส่วนเครื่องวิเคราะห์
·เครื่องปฏิกรณ์ชีวภาพ
・กระบวนการทางเทคโนโลยีชีวภาพ
・การควบคุมการเผาไหม้
・ผลิตใน CCFL
・การควบคุมความดันในห้อง
・กระบวนการทางเคมี
・การตรวจสอบสิ่งแวดล้อม
・การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
·การผลิตอาหาร
・การทดสอบเซลล์เชื้อเพลิง
・กระบวนการหมัก
・การผสมแก๊ส
・จำหน่ายแก๊ส
・การตรวจสอบการไหลของอากาศ
·การผลิตก๊าซ
·เตาอุตสาหกรรม
·การตรวจจับการรั่วไหล
·กระบวนการทางเภสัชกรรม
·การตรวจสอบมลพิษ
·การควบคุมกระบวนการ
· R&D
·การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์
· การอ้างอิงการสอบเทียบรอง
・กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
・ขั้นตอนการรักษาพื้นผิว
・การพ่นไฟด้วยความร้อน
・การผลิตฟิล์ม
・การสะสมของไอ

มีตัวควบคุมการไหลของมวลประเภทใดบ้าง?

ตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนใช้เทคนิคการตรวจจับมวลความร้อนของก๊าซเพื่อควบคุมการไหลของมวล ในกลุ่มผลิตภัณฑ์ TMFC เรามีตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนหลายตัว โดยแต่ละตัวมีเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ของตัวเอง:

ตัวควบคุมการไหลของมวลโดยใช้เซ็นเซอร์บายพาส อุปกรณ์เหล่านี้ เช่น TMFCs และ TMFMs เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานก๊าซที่สะอาดและแห้ง ซึ่งต้องการความแม่นยำและการทำซ้ำที่มากขึ้น
เครื่องควบคุมการไหลของมวลโดยใช้หลักการออนไลน์ ซีรี่ส์ เช่น ซีรี่ส์ TMFC และ TMFM นั้นสมบูรณ์แบบหากการใช้งานของคุณมีก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.9% หรือเมื่อความสามารถในการทำซ้ำสูงและความทนทานมีความสำคัญมากกว่าความแม่นยำ
เครื่องควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมท่อ ซีรี่ส์เหล่านี้โดดเด่นเพราะสามารถวัดการไหลของก๊าซและควบคุมได้
เมื่อใดก็ตามที่คุณต้องแสดงการไหลของมวลและในช่วงการไหลที่กว้าง ชุดก๊าซที่ใช้เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ชิป MEMS เช่น TMFM6000 นั้นสมบูรณ์แบบ
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีอินไลน์ (CMOS)

หลักการของ Mass Flow Controller (MFC) / หลักการของ Flow Controller

Mass Flow Controller (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของของเหลวและก๊าซ [1] เครื่องควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทในช่วงการไหลเฉพาะ MFC สามารถมีจุดตั้งค่าระหว่าง 0% และ 100% ของช่วงสเกลเต็ม แต่โดยทั่วไปจะทำงานภายในช่วงสเกลเต็ม 10% ถึง 90% เพื่อความแม่นยำที่ดีที่สุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ MFCs สามารถเป็นแบบแอนะล็อกหรือดิจิทัลได้ โดยปกติแล้ว ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิทัลจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งชนิด

ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลทั้งหมดมีพอร์ตทางเข้า พอร์ตทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมสัดส่วน MFC ติดตั้งระบบควบคุมวงปิดที่ผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์มวลไหลและปรับวาล์วสัดส่วนตามเพื่อให้ได้การไหลที่ต้องการ การไหลถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และป้อนให้กับ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟฟ้า

เครื่องควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวจ่ายให้อยู่ในช่วงความดันเฉพาะ ความดันต่ำจะทำให้ MFC ของไหลหมดลงและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้อัตราการไหลไม่แน่นอน มีเทคโนโลยีต่างๆ มากมายที่ช่วยวัดการไหลของของไหลและช่วยควบคุมการไหลในที่สุด เทคโนโลยีเหล่านี้กำหนดประเภทของตัวควบคุมการไหลของมวลและรวมถึงความดันแตกต่าง (ΔP) อุณหภูมิที่แตกต่างกัน (ΔT) แรงโคริโอลิส อัลตราโซนิก แม่เหล็กไฟฟ้า กังหัน ฯลฯ

การติดตั้งเครื่องวัดการไหลของมวล

ขณะนี้มีการใช้งานมาตรวัดมวลมากขึ้นเรื่อยๆ และบางครั้งที่มีการติดตั้งมาตรวัดมวลเป็นครั้งแรกก็ไม่ชัดเจนเกี่ยวกับวิธีการติดตั้งมาตรวัดมวล การติดตั้งย้อนกลับ การติดตั้งที่ไม่ถูกต้อง ฯลฯ ซึ่งส่งผลต่อการใช้งานตามปกติของ อุปกรณ์ บทความนี้กล่าวถึงปัญหานี้อธิบายรายละเอียดวิธีการติดตั้งเครื่องวัดอัตราการไหล

ความเค้นทางกลที่มากเกินไประหว่างการติดตั้งเซ็นเซอร์จะส่งผลต่อจุดศูนย์ของ Mass Flowmeter หากความเค้นเหล่านี้มีการเปลี่ยนแปลงอยู่ตลอดเวลา การเลื่อนจุดศูนย์ของมาตรจะทำให้การวัดไม่แม่นยำและไม่สามารถทำงานได้ตามปกติ ดังนั้นการติดตั้ง Mass Flowmeter ที่ถูกต้องจึงเป็นส่วนสำคัญในการรับประกันการทำงานปกติของอุปกรณ์

1. เลือกวิธีการติดตั้ง

วิธีการติดตั้งเซ็นเซอร์ส่วนใหญ่จะพิจารณาจากความแตกต่างของเฟสของของไหลและสภาวะของกระบวนการ มีวิธีการติดตั้ง 3 วิธี

1. หากของไหลที่วัดได้เป็นของเหลว โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกคว่ำลงเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของอากาศในท่อสั่นของเซ็นเซอร์ เพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการวัดอัตราการไหลของมวลได้อย่างแม่นยำ

2. หากของไหลที่วัดได้เป็นก๊าซ โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกหันขึ้นด้านบนเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของคอนเดนเสทในท่อสั่นสะเทือนของเซ็นเซอร์

3. หากของไหลที่วัดได้เป็นสารละลายผสมระหว่างของเหลวและของแข็ง ให้ติดตั้งเซ็นเซอร์บนถนนอย่างเป็นทางการในแนวตั้ง ซึ่งสามารถป้องกันไม่ให้อนุภาคสะสมในท่อวัดแรงโคริโอลิสของเซ็นเซอร์ นอกจากนี้ หากจำเป็นต้องทำความสะอาดท่อกระบวนการด้วยแก๊สและไอน้ำ วิธีการติดตั้งนี้ยังช่วยอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาด แต่วิธีการติดตั้งนี้แก้ไขได้ยากกว่าสองวิธีก่อนหน้า และการสูญเสียแรงดันจะมากกว่า

 

 

 

 

 

ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ

ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ

สูตรการไหลของมวล

ประเภทของเครื่องวัดการไหลของมวล

เครื่องวัดการไหลของมวลภาษาอังกฤษ

ตามเว็บไซต์จีนสามองศา. การตีความหลาย ๆ เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์คอมพิวเตอร์อิเล็กทรอนิกส์】เครื่องวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมเครื่องกล】เซ็นเซอร์เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์วิทยาศาสตร์ทางทะเล-วิศวกรรมใต้น้ำ】การไหลของมวลความร้อน【วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์】การวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมไฟฟ้า】

การใช้เครื่องวัดการไหลแม่เหล็กไฟฟ้าคืออะไร? | ผลงานของเรา

เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลใช้ทำอะไร? | ผลงานของเรา

การใช้เครื่องวัดการไหลวนคืออะไร? | ผลงานของเรา

การใช้เครื่องวัดการไหลล้ำคืออะไร? | ผลงานของเรา

เครื่องวัดอัตราการไหลของเกียร์ใช้ทำอะไร? | ผลงานของเรา

เครื่องวัดการไหลแบบลอยตัวใช้ทำอะไร? | ผลงานของเรา