FGT pikirkan pilihan terbaik Anda di masa depan
Desainer Integrasi Sistem di FGT
Tipe TMFC500: Pengontrol Aliran Massa
Karakteristik pengontrol aliran massa TMFC500 | aplikasi kontrol aliran gas: mesin pembersih plasma | kotak/panci katup pengalih gas | kontrol aliran keluaran kabinet tabung gas | kontrol keluaran generator gas | kontrol pengelasan api | pengukuran perpipaan sumber gas
- Deskripsi
- Informasi Tambahan
- Spesifikasi teknis
- aplikasi
- Rentang aliran
- Meminta informasi
- Sertifikasi
- Kebutuhan khusus
- Tanyakan sekarang
Karakteristik pengontrol aliran massa TMFC500 | Kontrol aliran gas
- Akurasi tinggi pada laju aliran rendah
- Respon cepat (≦1.0)
- Tersedia dalam rentang tekanan luas (1300 PSIG)
- Tidak ada kebocoran
- Tidak diperlukan suhu atau tekanan
- Kompatibel dengan konektivitas
- Sensor yang dapat dilepas dengan stabilitas tinggi
- Nilai ketahanan korosi
- Linearitas yang luar biasa
- Stabilitas jangka panjang yang sangat baik
- Desain modular
- Sistem kontrol aliran kompak
video produk
keuntungan:
Aplikasi pengontrol aliran massa
- Mesin pembersih plasma
- Kotak/panci katup pengalih gas
- Kontrol aliran keluaran kabinet tabung gas
- Kontrol keluaran generator gas
- Kontrol pengelasan api
Jenis pengontrol aliran massa apa yang ada di seri TMFM/TMFC?
Pengontrol aliran massa termal menggunakan teknologi penginderaan massa termal gas untuk mengontrol aliran massanya. Dalam portofolio produk TMFC kami memiliki beberapa pengontrol aliran massa termal, masing-masing dengan teknologi sensornya sendiri:
Pengontrol aliran massa menggunakan sensor bypass. Perangkat ini, seperti TMFC dan TMFM, ideal untuk aplikasi gas bersih dan kering yang memerlukan akurasi dan kemampuan pengulangan yang lebih tinggi.
Pengontrol aliran massa menggunakan prinsip online. Jika aplikasi Anda memiliki gas dengan kemurnian tinggi di atas 99,9%, atau ketika kemampuan pengulangan dan ketahanan yang tinggi lebih penting daripada akurasi, seri seperti seri TMFC dan TMFM adalah pilihan yang tepat.
Pengontrol aliran massa gas menggunakan teknologi kontrol perpipaan. Seri ini menonjol karena memungkinkan pengukuran dan kontrol aliran gas.
Kapan pun aliran massa Anda perlu ditampilkan pada rentang aliran yang luas, seri gas yang menggunakan teknologi sensor chip MEMS (seperti TMFM6000) adalah pilihan yang tepat.
Pengontrol aliran massa gas menggunakan teknologi in-line (CMOS).
Prinsip Pengontrol Aliran Massa (MFC)/Prinsip Pengontrol Aliran
Pengontrol aliran massa (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran cairan dan gas. [1] Pengontrol aliran massa dirancang dan dikalibrasi untuk mengontrol jenis cairan atau gas tertentu dalam rentang aliran tertentu. MFC dapat memiliki titik setel dalam rentang skala penuh 0% hingga 100%, namun biasanya beroperasi dalam rentang skala penuh 10% hingga 90% untuk akurasi terbaik. Perangkat kemudian akan mengontrol laju aliran ke tekanan yang ditentukan. MFC dapat berupa analog atau digital. Pengontrol aliran digital seringkali mampu mengendalikan lebih dari satu fluida, sedangkan pengontrol analog terbatas pada fluida yang dikalibrasi.
Semua pengontrol aliran massa memiliki port masuk, port outlet, sensor aliran massa, dan katup kontrol proporsional. MFC dilengkapi dengan sistem kontrol loop tertutup di mana operator (atau sirkuit/komputer eksternal) memberikan sinyal input yang dibandingkan dengan nilai sensor aliran massa dan katup proporsional disesuaikan untuk mencapai laju aliran yang diinginkan. Laju aliran ditentukan sebagai persentase dari laju aliran skala penuh yang dikalibrasi dan diberikan ke MFC sebagai sinyal tegangan.
Pengontrol aliran massa mengharuskan pasokan gas atau cairan berada dalam kisaran tekanan tertentu. Tekanan rendah akan menghabiskan cairan MFC dan mencegahnya mencapai titik setel. Tekanan tinggi dapat menyebabkan laju aliran tidak stabil. Ada banyak teknologi berbeda yang dapat membantu mengukur aliran suatu fluida dan pada akhirnya membantu mengontrol aliran. Teknologi ini menentukan jenis pengontrol aliran massa dan mencakup tekanan diferensial (ΔP), perbedaan suhu (ΔT), gaya Coriolis, ultrasonik, elektromagnetik, turbin, dll.
Pemasangan pengukur aliran massa
Saat ini, pengukur aliran massa semakin banyak digunakan dalam aplikasi.Dalam beberapa kasus di mana pengukur aliran massa dipasang untuk pertama kalinya, metode pemasangan pengukur aliran massa tidak jelas, dan pemasangannya terbalik atau salah dipasang, yang mempengaruhi penggunaan normal peralatan. Artikel ini akan fokus pada masalah ini. Mari kita perkenalkan metode pemasangan pengukur aliran massa secara detail.
Tekanan mekanis yang berlebihan pada saat sensor dipasang akan mempengaruhi titik nol meter aliran massa.Jika tegangan ini terus berubah maka meteran akan mengalami penyimpangan titik nol, yang akan menyebabkan meteran mengukur secara tidak akurat dan gagal bekerja dengan baik. Oleh karena itu, pemasangan pengukur aliran massa yang benar merupakan bagian penting untuk memastikan pengoperasian normal peralatan.
1. Pemilihan metode instalasi
Metode pemasangan sensor terutama ditentukan berdasarkan fase fluida dan kondisi prosesnya.Ada tiga metode pemasangan.
1. Jika fluida yang akan diukur adalah cairan, sensor umumnya dipasang dengan cangkang menghadap ke bawah untuk menghindari penumpukan udara di dalam tabung getaran sensor, sehingga mencapai tujuan pengukuran aliran massa secara akurat.
2. Jika fluida yang akan diukur berupa gas, umumnya sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke atas untuk mencegah terjadinya pengembunan pada tabung getaran sensor.
3. Jika fluida yang akan diukur merupakan campuran bubur cair dan padat, pasang sensor pada saluran vertikal, yang dapat mencegah partikel terakumulasi dalam tabung pengukur gaya Coriolis pada sensor. Selain itu, jika pipa proses perlu dibersihkan dengan gas dan uap, metode pemasangan ini juga dapat memudahkan pembersihan, namun metode pemasangan ini lebih sulit diperbaiki dibandingkan dua metode sebelumnya, dan kehilangan tekanan lebih besar.
pengontrol aliran gas
pengontrol aliran massa gaspengontrol aliran massa gas
Rumus aliran massa
Jenis pengukur aliran massa
Pengukur aliran massa dalam bahasa Inggris
berdasarkanJaringan Sandu Cina.Beberapa interpretasi pengukur aliran massa [kata benda komputer elektronik] pengukur aliran massa [teknik mesin] sensor pengukur aliran massa [kata benda ilmu kelautan - teknik bawah air] aliran massa termal [teknik elektronik] pengukuran aliran massa [teknik elektro]
aplikasi | pabrik |
---|---|
jenis | elektronik |
Metode instalasi | Yakou |
metode keluaran | digital, analog |
Spesifikasi teknis
model | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
Rentang aliran (nitrogen) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
kecepatan reaksi | ≦2,0 detik | ||||
Ketepatan | ±1,0 % FS | ||||
Pengulangan | ±0,25 % FS | ||||
Tahan tekanan | 1500 PSIG | ||||
Tingkat kebocoran | 1 x 10-9 atm.cc/detik atau kurang | ||||
Suhu Operasional | 0~50℃ | ||||
Tubuh SUS316 | |||||
Bahan aksesoris | Gasket Badan Katup Vition™ (Opsi Bura™ atau Kalrez™ atau Teflon™) | ||||
Standar: kompresi 1/2″ | |||||
Metode koneksi | Opsional: Kompresi 1/4″ atau VCR™, Kompresi 3/8″ atau VCR™ | ||||
Kabel listrik | Dsub konektor laki-laki 15-pin stopkontak tunggal | ||||
Masukan sinyal aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
Keluaran sinyal aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
Tegangan suplai | +15~28Vdc/350mA | ||||
Tipe yang berlaku | ◎Dukungan | tidak ada | ◎Dukungan | tidak ada | |
Jenis papan pajangan | Opsional: tipe terintegrasi atau terpisah (kabel antarmuka 1 meter atau 3 meter) hanya untuk aplikasi TMFC500V/A | ||||
Papan Display Opsional | Tampilkan antarmuka komunikasi | Komunikasi digital: RS485 (default) / DeviceNet™ hanya untuk aplikasi TMFC500V/A | |||
Tegangan suplai | AC110~240 V hanya untuk aplikasi TMFC500V/A |
aplikasi
Apa itu MFC
Pengontrol aliran massa (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran gas. [1] Pengontrol aliran massa dirancang dan dikalibrasi untuk mengontrol jenis cairan atau gas tertentu pada rentang laju aliran tertentu. MFC dapat diatur dari 0% hingga 100% dari rentang skala penuhnya, namun akurasi terbaik biasanya dicapai dengan beroperasi dalam rentang 10% hingga 90% dari skala penuh. Perangkat kemudian akan mengontrol laju aliran ke tekanan yang ditentukan. MFC bisa analog atau digital. Pengontrol aliran digital biasanya mampu mengendalikan lebih dari satu jenis fluida, sedangkan pengontrol analog terbatas pada fluida yang dikalibrasi.
Semua pengontrol aliran massa memiliki saluran masuk, saluran keluar, sensor aliran massa, dan katup kontrol proporsional. MFC dilengkapi dengan sistem kontrol loop tertutup dimana operator (atau sirkuit/komputer eksternal) memberikan sinyal input yang membandingkannya dengan nilai sensor aliran massa dan menyesuaikan katup proporsional untuk mencapai laju aliran yang diinginkan. Laju aliran ditentukan sebagai persentase dari laju aliran skala penuh yang dikalibrasi dan diberikan ke MFC sebagai sinyal tegangan.
Pengontrol aliran massa mengharuskan gas atau cairan yang disuplai berada dalam kisaran tekanan tertentu. Tekanan rendah akan membuat MFC kekurangan cairan dan menyebabkannya gagal mencapai titik setel. Tekanan tinggi dapat menyebabkan aliran tidak menentu.
aplikasi MFC
1. Peralatan CVD
Apa itu CVD
Deposisi semi-uap (CVD) adalah metode deposisi vakum yang digunakan untuk menghasilkan material padat berkualitas tinggi dan berkinerja tinggi. Proses ini biasa digunakan dalam industri semikonduktor untuk menghasilkan film tipis.
Dalam CVD tipikal, wafer (substrat) terkena satu atau lebih prekursor yang mudah menguap, yang bereaksi dan/atau terurai pada permukaan substrat untuk menghasilkan endapan yang diinginkan. Produk sampingan yang mudah menguap juga biasanya diproduksi dan dihilangkan oleh aliran gas melalui ruang reaksi.
Proses pemesinan mikro secara ekstensif menggunakan CVD untuk menyimpan berbagai bentuk material, termasuk: monokristalin, polikristalin, amorf, dan epitaksial. Bahan-bahan ini meliputi: silikon (karbon dioksida, karbida, nitrida, nitrogen oksida), karbon (serat, serat nano, tabung nano, berlian dan graphene), fluorokarbon, filamen, tungsten, titanium nitrida dan berbagai dielektrik High-k.
2. Kotak/panel katup (VMB/VMP)
Apa itu VMB/VMP
Melalui pengalaman kami dalam menangani gas, kami memperoleh pengetahuan untuk merancang dan memproduksi panel (kotak gas) untuk sistem EPI, MOCVD, sistem pasokan material, dll.
Di antara pencapaian bisnis kami, kami mampu merancang dan memproduksi produk yang memenuhi kebutuhan pelanggan (harga dan spesifikasi). Kami tidak hanya dapat menangani gas biasa, namun kami juga dapat menangani pasokan gas cair untuk cincin hub. Kami juga mendukung berbagai aplikasi hukum.
Rentang aliran
model | TMFC500V | TMFC500VD | TMFC500A | TMFC500AD | |
Rentang aliran (nitrogen) | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | 300~1000SLM | |
kecepatan reaksi | ≦2,0 detik | ||||
Ketepatan | ±1,0 % FS | ||||
Pengulangan | ±0,25 % FS | ||||
Tahan tekanan | 1500 PSIG | ||||
Tingkat kebocoran | 1 x 10-9 atm.cc/detik atau kurang | ||||
Suhu Operasional | 0~50℃ | ||||
Tubuh SUS316 | |||||
Bahan aksesoris | Gasket Badan Katup Vition™ (Opsi Bura™ atau Kalrez™ atau Teflon™) | ||||
Standar: kompresi 1/2″ | |||||
Metode koneksi | Opsional: Kompresi 1/4″ atau VCR™, Kompresi 3/8″ atau VCR™ | ||||
Kabel listrik | Dsub konektor laki-laki 15-pin stopkontak tunggal | ||||
Masukan sinyal aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
Keluaran sinyal aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
Tegangan suplai | +15~28Vdc/350mA | ||||
Tipe yang berlaku | ◎Dukungan | tidak ada | ◎Dukungan | tidak ada | |
Jenis papan pajangan | Opsional: tipe terintegrasi atau terpisah (kabel antarmuka 1 meter atau 3 meter) hanya untuk aplikasi TMFC500V/A | ||||
Papan Display Opsional | Tampilkan antarmuka komunikasi | Komunikasi digital: RS485 (default) / DeviceNet™ hanya untuk aplikasi TMFC500V/A | |||
Tegangan suplai | AC110~240 V hanya untuk aplikasi TMFC500V/A |
Meminta informasi
Model pesanan | ||||||||||
TMFC | pengkodean | Rentang aliran | ||||||||
|
125 | 30~100SL | ||||||||
300 | 100~300SL | |||||||||
500 | 300~1000SLM | |||||||||
|
pengkodean | sinyal masukan/keluaran | ||||||||
V | 0~5Vdc (tipe standar) | |||||||||
A | 4~20mA | |||||||||
VD | 0~5Vdc+RS-485 (tidak dapat digunakan dengan panel opsional) | |||||||||
|
4~20mA+RS-485 (tidak dapat digunakan dengan panel opsional) | |||||||||
pengkodean | Metode koneksi | |||||||||
2 | 1/8″ | |||||||||
4 | 1/4″ | |||||||||
6 | 3/8″(tipe standar: cocok untuk TMFC125/300) | |||||||||
8 | 1/2″(tipe standar: cocok untuk TMFC500) | |||||||||
|
pengkodean | Jenis koneksi | ||||||||
A | Kompresi SWL | |||||||||
V | VCR laki-laki | |||||||||
|
pengkodean | Paking badan katup | ||||||||
V | Viton (tipe standar) | |||||||||
B | Buna | |||||||||
K | Kalrez | |||||||||
T | Teflon | |||||||||
pengkodean | Fungsi panel tampilan opsional #1 | |||||||||
N | Tidak ada (tipe standar) | |||||||||
SAYA | Tipe terintegrasi | |||||||||
D | Tipe terpisah dengan kabel penghubung 1 meter | |||||||||
E | Tipe terpisah dengan kabel penghubung 3m | |||||||||
Kode | Fungsi panel tampilan opsional #2 | |||||||||
F | Digital: Rs-485 (tipe standar) | |||||||||
C | PerangkatNet™ | |||||||||
|
||||||||||
TMFC | Model pesanan lengkap | |||||||||
*Catatan: Semua model seri menggunakan tegangan suplai (+15~28 Vdc/350mA) | ||||||||||
*Catatan: Untuk menggunakan merek khusus, pesanan pembelian tahunan harus mencapai lebih dari 100 set. |