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TMFC125 Tipo: MEDIDOR DE FLUJO másico
Características del controlador de flujo másico TMFC125 | Aplicaciones de control de flujo de gas: Limpiador de plasma | Caja/disco de válvula desviadora de gas | Control de flujo de salida del gabinete del cilindro de gas | Control de salida del generador de gas | Control de soldadura por llama | Medición de tuberías de fuente de gas
- Descripción
- Información adicional
- Especificaciones técnicas
- solicitud
- Rango de flujo
- Información sobre pedidos
- certificado
- Necesidades especiales
- Pregunte ahora
Características del controlador de flujo másico TMFC125 | Control de flujo de gas
- Alta precisión a bajo caudal
- Respuesta rápida (≦1.0)
- Amplio rango de presión disponible (1300 PSIG)
- Ninguna fuga
- No requiere temperatura ni presión
- conexión compatible
- Sensor desmontable para una alta estabilidad
- Valor de resistencia a la corrosión
- excelente linealidad
- Excelente estabilidad a largo plazo
- Diseño modular
- Sistema de control de flujo compacto
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beneficio:
Aplicaciones de controlador de flujo másico
- Limpiador de plasma
- Caja/panel de válvula de desvío de gas
- Control de flujo de salida del gabinete del cilindro de gas
- Control de salida del generador de gas
- control de soldadura por llama
¿Qué tipos de controladores de caudal másico existen en la serie TMFM/TMFC?
Los controladores de flujo másico térmico utilizan la técnica de detección de masa térmica de los gases para controlar su flujo másico. En la cartera de TMFC tenemos varios controladores de flujo másico térmico, cada uno con su propia tecnología de sensores:
Controladores de caudal másico que utilizan sensores de derivación. Estos dispositivos, como TMFC y TMFM, son ideales para aplicaciones de gas limpio y seco donde se requiere una mayor precisión y repetibilidad.
Controlador de flujo másico usando el principio en línea. Series como la serie TMFC y TMFM son perfectas si su aplicación tiene gases de alta pureza por encima de 99.9%, o cuando la alta repetibilidad y la robustez son más importantes que la precisión.
Controlador de caudal másico de gas mediante tecnología de control de tuberías. Estas series se destacan porque pueden medir y controlar el flujo de gas.
Siempre que sea necesario mostrar su flujo másico y en un amplio rango de flujo, una serie de gases que utilice tecnología de sensor de chip MEMS como el TMFM6000 es perfecta.
Controladores de flujo másico de gas que utilizan tecnología en línea (CMOS).
Principio del controlador de caudal másico ( MFC ) / Principio del controlador de caudal
Un controlador de flujo másico (MFC) es un dispositivo utilizado para medir y controlar el flujo de líquidos y gases. [1] Los controladores de flujo másico están diseñados y calibrados para controlar un tipo específico de líquido o gas en un rango de flujo específico. El MFC puede tener un punto de ajuste entre 0% y 100% de su rango de escala completa, pero generalmente opera dentro del rango de escala completa de 10% a 90% para una mejor precisión. Luego, el dispositivo controlará el caudal hasta el punto de ajuste dado. Los MFC pueden ser analógicos o digitales. Los controladores de flujo digitales suelen ser capaces de controlar más de un fluido, mientras que los controladores analógicos se limitan a los fluidos para los que están calibrados.
Todos los controladores de flujo másico tienen un puerto de entrada, un puerto de salida, un sensor de flujo másico y una válvula de control proporcional. El MFC está equipado con un sistema de control de circuito cerrado en el que el operador (o un circuito externo/computadora) proporciona una señal de entrada que se compara con el valor del sensor de caudal másico y ajusta la válvula proporcional en consecuencia para lograr el caudal deseado. El flujo se especifica como un porcentaje de su flujo de escala completa calibrado y se proporciona al MFC como una señal de voltaje.
Los controladores de flujo másico requieren que el gas o líquido de suministro esté dentro de un rango de presión específico. La baja presión agotará el fluido del MFC y evitará que alcance su punto de referencia. Las altas presiones pueden causar caudales erráticos. Existen muchas tecnologías diferentes que ayudan a medir el flujo de fluidos y, en última instancia, ayudan a controlar el flujo. Estas tecnologías definen los tipos de controladores de flujo másico e incluyen presión diferencial (ΔP), temperatura diferencial (ΔT), fuerza de Coriolis, ultrasónico, electromagnético, de turbina, etc.

Instalación de medidor de flujo másico
Ahora hay cada vez más aplicaciones de caudalímetros másicos, y algunas ocasiones en las que se instalan caudalímetros másicos por primera vez no tienen claro el método de instalación de caudalímetros másicos, instalación inversa, instalación incorrecta, etc., que afectan el uso normal del Este artículo trata este problema Describe en detalle cómo instalar un medidor de flujo másico.
La tensión mecánica excesiva durante la instalación del sensor afectará el punto cero del caudalímetro másico. Si estas tensiones cambian constantemente, la deriva del punto cero del medidor provocará una medición imprecisa y no funcionará con normalidad. Por lo tanto, la correcta instalación del caudalímetro másico es una parte importante para garantizar el normal funcionamiento del equipo.
1. Elija el método de instalación
El método de instalación del sensor se determina principalmente de acuerdo con la diferencia de fase del fluido y sus condiciones de proceso.Existen tres métodos de instalación.
1. Si el fluido medido es un líquido, el sensor generalmente se instala con la carcasa hacia abajo para evitar la acumulación de aire en el tubo vibratorio del sensor, a fin de lograr el propósito de medir con precisión el caudal másico.
2. Si el fluido medido es gas, el sensor generalmente se instala con la carcasa hacia arriba para evitar la acumulación de condensado en el tubo de vibración del sensor.
3. Si el fluido medido es una mezcla de líquido y sólido, instale el sensor en una carretera oficial vertical, lo que puede evitar que se acumulen partículas en el tubo de medición de fuerza de Coriolis del sensor. Además, si es necesario limpiar la tubería del proceso con gas y vapor, este método de instalación también puede facilitar la limpieza, pero este método de instalación es más difícil de arreglar que los dos anteriores y la pérdida de presión es mayor.

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control | Internet de las Cosas, MCU, PLC |
---|---|
solicitud | MEDIDOR DE FLUJO |
Tipos de | electrónico |
Metodo de instalacion | boca |
método de salida | analógico, digital |
Especificaciones técnicas
Modelo | TMFC125V | TMFC125VD | TMFC125A | TMFC125AD | ||
Rango de flujo (N2) | 30~100SLM | 30~100SLM | 30~100SLM | 30~100SLM | ||
Tiempo de respuesta | ≦2.0seg | |||||
Exactitud | ±1,0 % FS | |||||
repetibilidad | ±0,25 % FS | |||||
Presión de prueba | 1000 PSIG | |||||
tasa de fuga | 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos | |||||
Rango de temperatura de trabajo | 0~50℃ | |||||
Materiales de las piezas en contacto con gases |
Cuerpo: SUS316 | |||||
Asiento de válvula: Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™) | ||||||
Junta |
Estándar: compresión de 3/8″ | |||||
Opción: 1/8″ Compresión o VCR™, 1/4 Compresión o VCR™ | ||||||
Conexiones eléctricas | Conector macho Dsub de 15 pines según estándares | |||||
Señales de entrada de caudal | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | ||
Señales de salida de caudal | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | ||
Fuente de alimentación requerida | +15~28Vcc/350mA | |||||
Visualización de opciones |
Usar para escribir | ◎Sí | No | ◎Sí | No | |
interfaz de pantalla | Opción: interfaz o tipo separado (con línea de cable de 1 m o 3 m) solo para TMFC125V/A | |||||
comunicación
Interfaz |
Digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™ solo para TMFC125V/A | |||||
Fuente de alimentación | AC110~240V solo para TMFC125V/A | |||||
solicitud
¿Qué es MFC?
Un controlador de flujo másico (MFC) es un dispositivo que se utiliza para medir y controlar el flujo de gases. [1] Los controladores de flujo másico están diseñados y calibrados para controlar un tipo específico de líquido o gas en un rango de flujo específico. El MFC puede tener un punto de ajuste entre 0% y 100% de su rango de escala completa, pero generalmente opera dentro del rango de escala completa de 10% a 90% para una mejor precisión. Luego, el dispositivo controlará el caudal hasta el punto de ajuste dado. MFC puede ser analógico o digital. Los controladores de flujo digitales suelen ser capaces de controlar más de un fluido, mientras que los controladores analógicos se limitan a los fluidos para los que están calibrados.
Todos los controladores de flujo másico tienen un puerto de entrada, un puerto de salida, un sensor de flujo másico y una válvula de control proporcional. El MFC está equipado con un sistema de control de circuito cerrado en el que un operador (o un circuito externo/computadora) proporciona una señal de entrada que se compara con el valor del sensor de caudal másico y ajusta la válvula proporcional en consecuencia para lograr el caudal deseado. El flujo se especifica como un porcentaje de su flujo de escala completa calibrado y se proporciona al MFC como una señal de voltaje.
Los controladores de flujo másico requieren que el gas o líquido de suministro esté dentro de un rango de presión específico. La baja presión agotará el fluido del MFC y evitará que alcance su punto de referencia. Las altas presiones pueden causar caudales erráticos.
aplicación MFC
1. máquina CVD
¿Qué es la deposición de vapor químico?
La deposición química de vapor (CVD) es un método de deposición al vacío que se utiliza para producir materiales sólidos de alta calidad y alto rendimiento. El proceso se usa comúnmente en la industria de los semiconductores para producir películas delgadas.
En CVD típico, una oblea (sustrato) se expone a uno o más precursores volátiles que reaccionan y/o se descomponen en la superficie del sustrato para producir el depósito deseado. A menudo, también se producen subproductos volátiles, que son eliminados por el flujo de gas a través de la cámara de reacción.
Los procesos de micromecanizado utilizan ampliamente CVD para depositar diversas formas de materiales, incluidos: monocristal, policristalino, amorfo y epitaxia. Estos materiales incluyen: silicio (dióxido de silicio, carburos, nitruros, oxinitruros), carbono (fibras, nanofibras, nanotubos, diamante y grafeno), fluorocarbonos, filamentos, tungsteno, nitruro de titanio y varios dieléctricos High-k.
2. Bloque/panel de válvulas (VMB/VMP)
¿Qué es VMB/VMP?
A través de nuestra experiencia en el manejo de gases, hemos adquirido el conocimiento para diseñar y fabricar paneles de gas (cajas de gas), sistemas de suministro de material, etc. para sistemas EPI y MOCVD.
Entre nuestros logros comerciales, podemos diseñar y fabricar para cumplir con los requisitos de nuestros clientes (precio y especificación). Podemos manejar no solo gas ordinario, sino también suministro de aire de anillo central para gas licuado. También apoyamos varias aplicaciones legales.
Rango de flujo
Modelo | TMFC125V | TMFC125VD | TMFC125A | TMFC125AD | ||
Rango de flujo (N2) | 30~100SLM | 30~100SLM | 30~100SLM | 30~100SLM | ||
Tiempo de respuesta | ≦2.0seg | |||||
Exactitud | ±1,0 % FS | |||||
repetibilidad | ±0,25 % FS | |||||
Presión de prueba | 1000 PSIG | |||||
tasa de fuga | 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos | |||||
Rango de temperatura de trabajo | 0~50℃ | |||||
Materiales de las piezas en contacto con gases |
Cuerpo: SUS316 | |||||
Asiento de válvula: Vition™ (Opción Bura™ o Kalrez™ o Teflon™) | ||||||
Junta |
Estándar: compresión de 3/8″ | |||||
Opción: 1/8″ Compresión o VCR™, 1/4 Compresión o VCR™ | ||||||
Conexiones eléctricas | Conector macho Dsub de 15 pines según estándares | |||||
Señales de entrada de caudal | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | ||
Señales de salida de caudal | 0~5Vcc | 0~5Vcc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | ||
Fuente de alimentación requerida | +15~28Vcc/350mA | |||||
Visualización de opciones |
Usar para escribir | ◎Sí | No | ◎Sí | No | |
interfaz de pantalla | Opción: interfaz o tipo separado (con línea de cable de 1 m o 3 m) solo para TMFC125V/A | |||||
comunicación
Interfaz |
Digital: RS485 (predeterminado) / DeviceNet™ solo para TMFC125V/A | |||||
Fuente de alimentación | AC110~240V solo para TMFC125V/A | |||||
Próximamente función |
Información sobre pedidos
información del pedido | |||||||||||
TMFC | Código | Rango de flujo | |||||||||
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125 | 30~100SLM | |||||||||
300 | 100~300SLM | ||||||||||
500 | 300~1000SLM | ||||||||||
|
Código | Señal de entrada/salida | |||||||||
V | 0~5Vdc (Tipo estándar) | ||||||||||
A | 4~20mA | ||||||||||
enfermedad venérea | 0~5Vdc+RS-485(No se puede usar para elegir el tipo de pantalla) | ||||||||||
|
4~20mA+RS-485(No se puede usar para elegir el tipo de pantalla) | ||||||||||
Código | Tamaño de montaje | ||||||||||
2 | 1/8″ | ||||||||||
4 | 1/4″ | ||||||||||
6 | 3/8″(Tipo estándar para TMFC125/300) | ||||||||||
8 | 1/2″(Tipo estándar para TMFC500) | ||||||||||
|
Código | Tipo de montaje | |||||||||
A | Compresión SWL | ||||||||||
V | Videograbadora masculina | ||||||||||
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Código | Sello | |||||||||
V | Vitón (tipo estándar) | ||||||||||
B | Buna | ||||||||||
k | Kálrez | ||||||||||
T | teflón | ||||||||||
Código | Función de visualización de opciones#1 | ||||||||||
norte | Sin (tipo estándar) | ||||||||||
I | Tipo de interfaz | ||||||||||
D | Tipo separado con línea de cable 1M | ||||||||||
mi | Tipo separado con línea de cable 1M | ||||||||||
Código | Visualización de opciones Remove#2 | ||||||||||
R | Digital RS485 (tipo estándar) | ||||||||||
D | Red de dispositivos | ||||||||||
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TMFC | Código de pedido completo | ||||||||||
*Nota: Todos los modelos vienen con fuente de alimentación (+15~28 Vdc/350mA) | |||||||||||
*Nota: Uso del lanzamiento del logotipo del cliente a más de 100 unidos durante un año |