TMFC125 Loại: Bộ điều khiển lưu lượng lớn

TMFC125 Loại: Bộ điều khiển lưu lượng lớn

Tính năng của Bộ điều khiển lưu lượng lớn TMFC125 | Ứng dụng điều khiển lưu lượng khí: Máy làm sạch plasma | Hộp/Đĩa van chuyển hướng khí | Điều khiển lưu lượng đầu ra của tủ xi lanh khí | Điều khiển đầu ra của máy phát khí | Điều khiển ngọn lửa hàn | Đo đường ống nguồn khí

TMFC125 Tính Năng Điều Khiển Lưu Lượng Lớn | Điều Khiển Lưu Lượng Khí

  • Độ chính xác cao ở lưu lượng thấp
  • Phản hồi nhanh (≦ 1,0)
  • Phạm vi áp suất rộng có sẵn (1300 PSIG)
  • Không rò rỉ
  • Không yêu cầu nhiệt độ hoặc áp suất
  • kết nối tương thích
  • Cảm biến có thể tháo rời để có độ ổn định cao
  • Giá trị chống ăn mòn
  • tuyến tính tuyệt vời
  • Ổn định lâu dài tuyệt vời
  • Thiết kế mô-đun
  • Hệ thống kiểm soát dòng chảy nhỏ gọn

Video sản phẩm

ích lợi:

Ứng dụng điều khiển lưu lượng lớn

  • Máy làm sạch plasma
  • Hộp/bảng van chuyển hướng gas
  • Kiểm soát lưu lượng đầu ra tủ xi lanh khí
  • Kiểm soát đầu ra máy phát điện khí
  • kiểm soát ngọn lửa hàn

Những loại bộ điều khiển lưu lượng lớn nào tồn tại trong sê-ri TMFM/TMFC?

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng nhiệt sử dụng kỹ thuật cảm biến khối lượng nhiệt của khí để kiểm soát lưu lượng khối lượng của chúng. Trong danh mục TMFC, chúng tôi có một số bộ điều khiển lưu lượng nhiệt, mỗi bộ có công nghệ cảm biến riêng:

Bộ điều khiển lưu lượng lớn sử dụng cảm biến bỏ qua. Các thiết bị này, chẳng hạn như TMFC và TMFM, rất lý tưởng cho các ứng dụng khí khô và sạch, nơi yêu cầu độ chính xác và độ lặp lại cao hơn.
Bộ điều khiển lưu lượng lớn sử dụng nguyên tắc trực tuyến. Các sê-ri như sê-ri TMFC và TMFM là hoàn hảo nếu ứng dụng của bạn có khí có độ tinh khiết cao trên 99,9% hoặc khi độ lặp lại và độ bền cao quan trọng hơn độ chính xác.
Bộ điều khiển lưu lượng khí sử dụng công nghệ điều khiển đường ống. Dòng sản phẩm này nổi bật vì chúng có thể đo và kiểm soát lưu lượng khí.
Bất cứ khi nào lưu lượng khối lượng của bạn cần được hiển thị và trên một phạm vi lưu lượng rộng, dòng khí sử dụng công nghệ cảm biến chip MEMS như TMFM6000 là hoàn hảo.
Bộ điều khiển lưu lượng khí sử dụng công nghệ nội tuyến (CMOS).

Nguyên tắc điều khiển lưu lượng lớn ( MFC ) / Nguyên tắc điều khiển lưu lượng

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng (MFC) là một thiết bị được sử dụng để đo lường và kiểm soát dòng chảy của chất lỏng và chất khí. [1] Bộ điều khiển lưu lượng lớn được thiết kế và hiệu chuẩn để kiểm soát một loại chất lỏng hoặc khí cụ thể trong một phạm vi lưu lượng cụ thể. MFC có thể có điểm đặt trong khoảng từ 0% đến 100% trong phạm vi tỷ lệ đầy đủ của nó, nhưng thường hoạt động trong phạm vi tỷ lệ đầy đủ từ 10% đến 90% để có độ chính xác tốt nhất. Sau đó, thiết bị sẽ kiểm soát tốc độ dòng chảy đến điểm đặt nhất định. MFC có thể là analog hoặc kỹ thuật số.Bộ điều khiển lưu lượng kỹ thuật số thường có khả năng điều khiển nhiều chất lỏng, trong khi bộ điều khiển analog bị giới hạn ở chất lỏng mà chúng được hiệu chuẩn.

Tất cả các bộ điều khiển lưu lượng khối lượng đều có cổng vào, cổng ra, cảm biến lưu lượng khối lượng và van điều khiển tỷ lệ. MFC được trang bị hệ thống điều khiển vòng kín trong đó người vận hành (hoặc mạch ngoài/máy tính) cung cấp tín hiệu đầu vào được so sánh với giá trị của cảm biến lưu lượng khối lượng và điều chỉnh van tỷ lệ phù hợp để đạt được lưu lượng mong muốn. Lưu lượng được chỉ định dưới dạng phần trăm của lưu lượng quy mô đầy đủ được hiệu chỉnh và được cung cấp cho MFC dưới dạng tín hiệu điện áp.

Bộ điều khiển lưu lượng lớn yêu cầu khí hoặc chất lỏng cung cấp nằm trong một phạm vi áp suất cụ thể. Áp suất thấp sẽ làm cạn kiệt chất lỏng trong MFC và ngăn không cho nó đạt đến điểm đặt. Áp suất cao có thể gây ra tốc độ dòng chảy thất thường. Có nhiều công nghệ khác nhau giúp đo lưu lượng chất lỏng và cuối cùng là giúp kiểm soát lưu lượng. Những công nghệ này xác định các loại bộ điều khiển lưu lượng lớn và chúng bao gồm chênh lệch áp suất (ΔP), chênh lệch nhiệt độ (ΔT), lực Coriolis, siêu âm, điện từ, tua-bin, v.v.

bộ điều khiển lưu lượng lớn, bộ điều khiển lưu lượng lớn
bộ điều khiển lưu lượng lớn, bộ điều khiển lưu lượng lớn, mô tả cấu trúc nguyên lý mfc

Lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng

Hiện nay, ngày càng có nhiều ứng dụng của lưu lượng kế khối lượng, và một số trường hợp lần đầu tiên lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng không hiểu rõ về phương pháp lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng, lắp đặt ngược, lắp đặt sai, v.v., ảnh hưởng đến việc sử dụng bình thường của đồng hồ đo lưu lượng khối lượng. thiết bị.Bài viết này thảo luận về vấn đề này Mô tả chi tiết cách lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng.

Ứng suất cơ học quá mức trong quá trình lắp đặt cảm biến sẽ ảnh hưởng đến điểm 0 của lưu lượng kế khối lượng. Do đó, việc lắp đặt đúng lưu lượng kế khối lượng là một phần quan trọng để đảm bảo thiết bị hoạt động bình thường.

1. Chọn cách cài đặt

Phương pháp cài đặt của cảm biến chủ yếu được xác định theo độ lệch pha của chất lỏng và các điều kiện xử lý của nó.Có ba phương pháp cài đặt.

1. Nếu chất lỏng được đo là chất lỏng, cảm biến thường được lắp đặt với vỏ hướng xuống dưới để tránh tích tụ không khí trong ống rung của cảm biến, để đạt được mục đích đo chính xác lưu lượng khối lượng.

2. Nếu chất lỏng được đo là khí, cảm biến thường được lắp đặt với vỏ hướng lên trên để tránh tích tụ nước ngưng trong ống rung của cảm biến.

3. Nếu chất lỏng được đo là hỗn hợp bùn lỏng và rắn, hãy lắp đặt cảm biến trên đường chính thức thẳng đứng, điều này có thể ngăn các hạt tích tụ trong ống đo lực Coriolis của cảm biến. Ngoài ra, nếu đường ống xử lý cần được làm sạch bằng khí và hơi nước, phương pháp lắp đặt này cũng có thể tạo điều kiện thuận lợi cho việc vệ sinh, nhưng phương pháp lắp đặt này khó khắc phục hơn so với hai phương pháp trước và tổn thất áp suất lớn hơn.

Phương pháp lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng
Khái niệm cài đặt đồng hồ đo lưu lượng lớn

 

 

 

 

 

bộ điều khiển lưu lượng khí

bộ điều khiển lưu lượng khí

Công thức dòng chảy khối lượng

Các loại đồng hồ đo lưu lượng khối lượng

đồng hồ đo lưu lượng tiếng anh

dựa theoTrang web tiếng Trung ba độ.Nhiều cách hiểu lưu lượng kế khối lượng 【thuật ngữ máy tính điện tử】 lưu lượng kế khối lượng 【kỹ thuật cơ khí】 cảm biến lưu lượng kế khối lượng 【thuật ngữ khoa học biển-kỹ thuật dưới nước】 lưu lượng khối nhiệt 【kỹ thuật điện tử】 đo lưu lượng khối lượng 【kỹ thuật điện】

điều khiển

IoT, MCU, PLC

ứng dụng

lưu lượng

Các loại

điện tử

Phương pháp cài đặt

mồm

phương pháp đầu ra

kỹ thuật số, tương tự

Thông số kỹ thuật

Người mẫu TMFC125V TMFC125VD TMFC125A TMFC125AD
Phạm vi dòng chảy (N2) 30 ~ 100SLM 30 ~ 100SLM 30 ~ 100SLM 30 ~ 100SLM
Thời gian đáp ứng ≦ 2.0 giây
Sự chính xác ± 1,0 % FS
Tính lặp lại ± 0,25 % FS
Sức ép bằng chứng 1000 PSIG
tỉ lệ rò rỉ 1 x 10-9 atm.cc/sec trở xuống
Phạm vi nhiệt độ làm việc 0 ~ 50 ℃
 

Vật liệu của các bộ phận tiếp xúc với khí

Nội dung: SUS316
Ghế van: Vition ™ (Tùy chọn Bura ™ hoặc Kalrez ™ hoặc Teflon ™)
 

Chung

Tiêu chuẩn: nén 3/8 ″
Tùy chọn: Nén 1/8 ″ hoặc VCR ™, 1/4 Nén hoặc VCR ™
Kết nối điện Đầu nối nam 15 chân Dsub theo tiêu chuẩn
Tín hiệu đầu vào tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 0 ~ 5Vdc + RS-485 4 ~ 20mA 4 ~ 20mA + RS-485
Tín hiệu đầu ra tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 0 ~ 5Vdc + RS-485 4 ~ 20mA 4 ~ 20mA + RS-485
Nguồn điện cần thiết + 15 ~ 28Vdc / 350mA
 

 

Tùy chọn hiển thị

Sử dụng để nhập ◎ Vâng Không ◎ Vâng Không
Giao diện hiển thị Tùy chọn: Giao diện hoặc Loại riêng biệt (Với Đường cáp 1M hoặc 3M) chỉ dành cho TMFC125V / A
truyền thông

Giao diện

Kỹ thuật số: RS485 (mặc định) / DeviceNet ™ chỉ dành cho TMFC125V / A
Nguồn cấp AC110 ~ 240V chỉ dành cho TMFC125V / A

ứng dụng

MFC là gì

Bộ điều khiển lưu lượng lớn (MFC) là một thiết bị được sử dụng để đo và kiểm soát dòng khí. [1] Bộ điều khiển lưu lượng lớn được thiết kế và hiệu chuẩn để kiểm soát một loại chất lỏng hoặc khí cụ thể trong một phạm vi lưu lượng cụ thể. MFC có thể có điểm đặt trong khoảng từ 0% đến 100% trong phạm vi tỷ lệ đầy đủ của nó, nhưng thường hoạt động trong phạm vi tỷ lệ đầy đủ từ 10% đến 90% để có độ chính xác tốt nhất. Sau đó, thiết bị sẽ kiểm soát tốc độ dòng chảy đến điểm đặt nhất định. MFC có thể là analog hoặc kỹ thuật số. Bộ điều khiển lưu lượng kỹ thuật số thường có khả năng điều khiển nhiều chất lỏng, trong khi bộ điều khiển tương tự bị giới hạn ở chất lỏng mà chúng được hiệu chuẩn.

Tất cả các bộ điều khiển lưu lượng khối lượng đều có cổng vào, cổng ra, cảm biến lưu lượng khối lượng và van điều khiển tỷ lệ. MFC được trang bị hệ thống điều khiển vòng kín trong đó người vận hành (hoặc mạch ngoài/máy tính) cung cấp tín hiệu đầu vào được so sánh với giá trị của cảm biến lưu lượng khối lượng và điều chỉnh van tỷ lệ phù hợp để đạt được lưu lượng mong muốn. Lưu lượng được chỉ định dưới dạng phần trăm của lưu lượng quy mô đầy đủ được hiệu chỉnh và được cung cấp cho MFC dưới dạng tín hiệu điện áp.

Bộ điều khiển lưu lượng lớn yêu cầu khí hoặc chất lỏng cung cấp nằm trong một phạm vi áp suất cụ thể. Áp suất thấp sẽ làm cạn kiệt chất lỏng trong MFC và ngăn không cho nó đạt đến điểm đặt. Áp suất cao có thể gây ra tốc độ dòng chảy thất thường.

Ứng dụng MFC
1. Máy CVD

Lắng đọng hơi hóa chất là gì

Lắng đọng hơi hóa học (CVD) là phương pháp lắng đọng chân không được sử dụng để sản xuất vật liệu rắn chất lượng cao, hiệu suất cao. Quá trình này thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để sản xuất màng mỏng.

Trong CVD điển hình, một lát mỏng (chất nền) được tiếp xúc với một hoặc nhiều tiền chất dễ bay hơi phản ứng và/hoặc phân hủy trên bề mặt chất nền để tạo ra chất lắng đọng mong muốn. Thông thường, các sản phẩm phụ dễ bay hơi cũng được tạo ra và được loại bỏ bởi dòng khí đi qua buồng phản ứng.

Các quy trình vi cơ sử dụng rộng rãi CVD để lắng đọng các dạng vật liệu khác nhau bao gồm: đơn tinh thể, đa tinh thể, vô định hình và epitaxy. Những vật liệu này bao gồm: silicon (silicon dioxide, cacbua, nitrua, oxynitride), carbon (sợi, sợi nano, ống nano, kim cương và graphene), fluorocarbon, sợi, vonfram, titan nitride và các chất điện môi High-k khác nhau.

2. Khối/bảng van (VMB/VMP)

VMB/VMP là gì

Thông qua kinh nghiệm xử lý khí, chúng tôi đã có được kiến thức để thiết kế và sản xuất các tấm khí (hộp khí), hệ thống cung cấp vật liệu, v.v. cho các hệ thống EPI và MOCVD.
Trong số những thành tựu kinh doanh của chúng tôi, chúng tôi có thể thiết kế và sản xuất để đáp ứng yêu cầu của khách hàng (giá cả và thông số kỹ thuật). Chúng tôi có thể xử lý không chỉ khí thông thường mà còn cung cấp khí vòng trục cho khí hóa lỏng. Chúng tôi cũng hỗ trợ các ứng dụng pháp lý khác nhau.

Phạm vi dòng chảy

Người mẫu TMFC125V TMFC125VD TMFC125A TMFC125AD
Phạm vi dòng chảy (N2) 30 ~ 100SLM 30 ~ 100SLM 30 ~ 100SLM 30 ~ 100SLM
Thời gian đáp ứng ≦ 2.0 giây
Sự chính xác ± 1,0 % FS
Tính lặp lại ± 0,25 % FS
Sức ép bằng chứng 1000 PSIG
tỉ lệ rò rỉ 1 x 10-9 atm.cc/sec trở xuống
Phạm vi nhiệt độ làm việc 0 ~ 50 ℃
 

Vật liệu của các bộ phận tiếp xúc với khí

Nội dung: SUS316
Ghế van: Vition ™ (Tùy chọn Bura ™ hoặc Kalrez ™ hoặc Teflon ™)
 

Chung

Tiêu chuẩn: nén 3/8 ″
Tùy chọn: Nén 1/8 ″ hoặc VCR ™, 1/4 Nén hoặc VCR ™
Kết nối điện Đầu nối nam 15 chân Dsub theo tiêu chuẩn
Tín hiệu đầu vào tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 0 ~ 5Vdc + RS-485 4 ~ 20mA 4 ~ 20mA + RS-485
Tín hiệu đầu ra tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 0 ~ 5Vdc + RS-485 4 ~ 20mA 4 ~ 20mA + RS-485
Nguồn điện cần thiết + 15 ~ 28Vdc / 350mA
 

 

Tùy chọn hiển thị

Sử dụng để nhập ◎ Vâng Không ◎ Vâng Không
Giao diện hiển thị Tùy chọn: Giao diện hoặc Loại riêng biệt (Với Đường cáp 1M hoặc 3M) chỉ dành cho TMFC125V / A
truyền thông

Giao diện

Kỹ thuật số: RS485 (mặc định) / DeviceNet ™ chỉ dành cho TMFC125V / A
Nguồn cấp AC110 ~ 240V chỉ dành cho TMFC125V / A
Chức năng sắp ra mắt

Thông tin đặt hàng

Thông tin đặt hàng
TMFC Mã số Phạm vi dòng chảy
 

125 30 ~ 100SLM
300 100 ~ 300SLM
500 300 ~ 1000SLM
 

Mã số Tín hiệu vào / ra
V 0 ~ 5Vdc (Loại tiêu chuẩn)
MỘT 4 ~ 20mA
0 ~ 5Vdc + RS-485 (Không thể sử dụng cho loại màn hình tùy chọn)
 

QUẢNG CÁO
4 ~ 20mA + RS-485 (Không thể sử dụng cho loại màn hình tùy chọn)
Mã số Kích thước phù hợp
2 1/8″
4 1/4″
6 3/8 ″ (Loại tiêu chuẩn cho TMFC125 / 300)
8 1/2 ″ (Loại tiêu chuẩn cho TMFC500)
 

Mã số Loại phù hợp
MỘT Nén SWL
V VCR nam
 

Mã số Niêm phong
V Viton (Loại tiêu chuẩn)
B Buna
K Kalrez
T Teflon
Mã số Chức năng hiển thị tùy chọn#1
n Không có (Loại tiêu chuẩn)
tôi Loại giao diện
D Loại riêng biệt với đường dây cáp 1M
E Loại riêng biệt với đường dây cáp 1M
Mã số Tùy chọn Hiển thị Xóa#2
R RS485 kỹ thuật số (Loại tiêu chuẩn)
D Mạng thiết bị
 

TMFC Hoàn thành mã đặt hàng
* Lưu ý: Tất cả các Model đều đi kèm với Nguồn điện (+ 15 ~ 28 Vdc / 350mA)
* Lưu ý: Sử dụng Logo của khách hàng ra mắt hơn 100 thống nhất trong một năm

chứng nhận

tmfc125 Loại: Bộ điều khiển lưu lượng lớn First General Technology Co., Ltd. | First General Technology Inc.Chứng nhận Tuân thủ Châu Âu - Wikipedia, bách khoa toàn thư miễn phí

nhu cầu đặc biệt

Yêu cầu về đồng hồ đo lưu lượng

Yêu cầu về đồng hồ đo lưu lượng

loại chất lỏng
đơn vị lưu lượng
đơn vị đường ống
Chế độ cài đặt
Mẫu yêu cầu

Có thể bạn thích…