FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT
รายละเอียดเพิ่มเติม
- สามารถวางจอแสดงผลแบบถอดได้ออกจากช่องไหลผ่านสายเคเบิลที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ
- มาตรฐาน 4~20mA หรือ RS485 สำหรับการสื่อสารข้อมูลระยะไกล
- ตัวเรือนสเตนเลสสตีลสำหรับสุขาภิบาล (SUS) ใช้สำหรับสูบจ่ายออกซิเจน
- ความสามารถช่วงขยายสำหรับการตรวจสอบการไหลที่แม่นยำ
- ตู้ที่ปลอดภัยจากภายใน
เครื่องวัดการไหลของมวลความร้อนคืออะไร?
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นเครื่องวัดการไหลหยดแรงดันต่ำที่แม่นยำ ติดตั้งง่าย เหมาะสำหรับการวัดการไหลและการควบคุมการใช้ก๊าซแห้ง ยังสามารถตามประเภทก๊าซลิงค์อ้างอิงใบสมัครขอรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลจะสังเกตผลการระบายความร้อนบนทรานสดิวเซอร์ที่เครื่องทำความร้อนตามหน้าที่ของการไหลของอากาศ ผลลัพธ์ที่ได้มีความแม่นยำสูงด้วยต้นทุนที่ต่ำ เมื่อเทียบกับอุปกรณ์วัดการไหลของก๊าซอื่นๆ
ผลประโยชน์:
- ·ความแม่นยำสูง
- ช่วงการไหลกว้าง รวมทั้งการไหลต่ำ
- · โครงสร้างที่เรียบง่ายและทนทาน
- ·ง่ายต่อการติดตั้งและบำรุงรักษา
- การเชื่อมต่อที่ยืดหยุ่นของเครื่องวัดการไหลสำหรับการควบคุมการไหล
- · การเชื่อมต่อกระบวนการต่างๆ
- ·อัตราส่วนการปรับ 100:1
- แรงดันตกคร่อมต่ำผ่านมิเตอร์วัดการไหล
- ·ให้สัญญาณออกที่สะดวก
หลักการวัดการไหลของมวลความร้อน
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนใช้คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลเพื่อวัดการเคลื่อนที่ของของไหลในท่อหรือท่อ ในเครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อน ความร้อนที่วัดได้จะถูกนำไปใช้กับเครื่องทำความร้อนของเซ็นเซอร์ พลังงานจำนวนหนึ่งจะสูญเสียไประหว่างการไหล และเมื่อการไหลเพิ่มขึ้น พลังงานก็จะสูญเสียมากขึ้น พลังงานที่เซ็นเซอร์สูญเสียไปขึ้นอยู่กับคุณสมบัติทางความร้อนของของไหลและการออกแบบเซ็นเซอร์ สมบัติทางความร้อนของของไหลอาจแตกต่างกันไปตามอุณหภูมิและความดัน แม้ว่าการเปลี่ยนแปลงเหล่านี้มักจะไม่มีนัยสำคัญในการใช้งานส่วนใหญ่ เนื่องจากการวัดการไหลของความร้อนไม่ได้ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิหรือความดันของของเหลว จึงสามารถใช้เครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อนเพื่อประเมินการไหลของมวลของของไหลได้
กล่าวอีกนัยหนึ่ง ในการใช้งานส่วนใหญ่ คุณสมบัติของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว สำหรับการใช้งานเหล่านี้ องค์ประกอบของของเหลวที่แตกต่างกันอาจรบกวนขนาดการไหลของความร้อนระหว่างการทำงานจริง ดังนั้น สำหรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้ให้บริการที่จะเข้าใจองค์ประกอบของของไหล เพื่อให้สามารถประมวลผลปัจจัยการทำให้เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมเพื่อกำหนดอัตราการไหลได้อย่างแม่นยำ เนื่องจากข้อจำกัดนี้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนมักใช้ในการวัดการไหลของก๊าซบริสุทธิ์ ผู้ผลิตสามารถให้ข้อมูลที่เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมสำหรับการผสมก๊าซอื่นๆ แต่เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนความถูกต้องแม่นยำขึ้นอยู่กับว่าส่วนผสมของก๊าซจริงนั้นเหมือนกับส่วนผสมของก๊าซที่ใช้สำหรับการทำให้เป็นมาตรฐานหรือไม่
ข้อกำหนดทางเทคนิค
ชุด | TMFM6012 | TMFM6019 |
ช่วงการไหล (N2) | 0.3~200,300SLM | 0.8~600,800SLM |
อัตราส่วนการเปิดเตียง | 100:1 | |
ความแม่นยำ | ±1.5 % FS | |
แสดงความถูกต้องอีกครั้ง | ±0.75 % FS | |
ความต้านทานแรงดัน | 1.0Mpa | |
อัตราการรั่วไหล | 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า | |
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน | -10~55℃,<95%RH | |
วัสดุสำหรับส่วนที่สัมผัสกับแก๊ส | ตัวเครื่อง: SUS316 | |
ขนาดการเชื่อมต่อ | 1/2″ (DN12mm) | 3/4″ (DN19mm) |
อินเตอร์เฟซ | NPT, BSPT หรือลูกค้าที่ระบุ | |
ตัวเลือก: การบีบอัด 1/2″, 3/4″, VCR™ | ||
สัญญาณเอาท์พุทไหล | 4~20mA หรือ RS-485 | |
แรงดันความต้องการ | +8~24Vdc/35mA |
ช่องทางการสมัคร
MFM .คืออะไร
เครื่องวัดอัตราการไหลมวล หรือที่เรียกว่าเครื่องวัดการไหลเฉื่อย เป็นอุปกรณ์ที่ใช้วัดการไหลของมวลของของไหลผ่านท่อ อัตราการไหลของมวลคือมวลของของไหลผ่านจุดคงที่ต่อหน่วยเวลา
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลไม่ได้วัดปริมาตรต่อหน่วยเวลา (เช่น ลูกบาศก์เมตรต่อวินาที) ที่ไหลผ่านอุปกรณ์ แต่จะวัดมวลต่อหน่วยของเวลา (เช่น กิโลกรัมต่อวินาที) ที่ไหลผ่านอุปกรณ์ การไหลของปริมาตรคือการไหลของมวลหารด้วยความหนาแน่นของของเหลว ถ้าความหนาแน่นคงที่ ความสัมพันธ์ก็ง่าย ความสัมพันธ์ไม่ใช่เรื่องง่ายหากของเหลวมีความหนาแน่นต่างกัน ความหนาแน่นของของเหลวอาจแตกต่างกันไปตามอุณหภูมิ ความดัน หรือองค์ประกอบ ของเหลวยังสามารถเป็นการรวมกันของเฟส เช่น ของเหลวที่มีฟองอากาศกักอยู่ เนื่องจากความเร็วของเสียงขึ้นอยู่กับความเข้มข้นของของเหลวที่ควบคุม ความหนาแน่นที่แท้จริงจึงสามารถกำหนดได้ [1]
ใบสมัคร MFM
1. การตรวจสอบท่ออัจฉริยะ
เหตุผลหลักที่เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นที่นิยมในอุตสาหกรรมคือการออกแบบและผลิต ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว แทบไม่มีสิ่งกีดขวางเส้นทางการไหลแบบตรง ไม่ต้องมีการแก้ไขอุณหภูมิหรือแรงดัน และรักษาความแม่นยำในช่วงการไหลที่กว้าง การเดินท่อแบบตรงสามารถลดลงได้โดยใช้องค์ประกอบการปรับสภาพการไหลของแผ่นคู่ และการติดตั้งทำได้ง่ายมากและไม่ทำให้เกิดการบุกรุกท่อ
อย่างไรก็ตาม ในการใช้งานหลายอย่าง คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว ในการใช้งานดังกล่าว การเปลี่ยนแปลงองค์ประกอบของของเหลวระหว่างการทำงานจริงอาจส่งผลต่อการวัดการไหลของความร้อน ดังนั้นจึงเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้จัดหาเครื่องวัดอัตราการไหลของความร้อนที่จะต้องเข้าใจองค์ประกอบของของเหลว เพื่อให้สามารถใช้ปัจจัยการสอบเทียบที่เหมาะสมเพื่อกำหนดการไหลได้อย่างแม่นยำ ผู้จำหน่ายสามารถให้ข้อมูลการสอบเทียบที่เหมาะสมสำหรับส่วนผสมของก๊าซอื่นๆ ได้ แต่ความถูกต้องแม่นยำของเครื่องวัดอัตราการไหลของความร้อนนั้นขึ้นอยู่กับส่วนผสมของก๊าซจริงที่เหมือนกันกับที่ใช้ในการสอบเทียบ กล่าวอีกนัยหนึ่ง ความแม่นยำของเครื่องวัดอัตราการไหลของความร้อนที่สอบเทียบสำหรับส่วนผสมของก๊าซที่กำหนดจะลดลง หากก๊าซที่ไหลจริงมีองค์ประกอบที่แตกต่างกัน [2]
2. เครื่องซีวีดี
CVD คืออะไร
การสะสมไอ (CVD) เป็นวิธีการสะสมแบบสุญญากาศที่ใช้ในการผลิตวัสดุแข็งคุณภาพสูงและประสิทธิภาพสูง กระบวนการนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อผลิตฟิล์มบาง
ใน CVD ทั่วไป แผ่นเวเฟอร์ (สารตั้งต้น) สัมผัสกับสารตั้งต้นที่ระเหยง่ายหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ทำปฏิกิริยาและ/หรือสลายตัวบนพื้นผิวของซับสเตรตเพื่อผลิตสิ่งสะสมที่ต้องการ ผลพลอยได้จากการระเหยมักจะถูกผลิตขึ้นเช่นกัน ซึ่งถูกกำจัดออกโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องทำปฏิกิริยา
กระบวนการไมโครแฟบริเคชั่นใช้ CVD อย่างกว้างขวางในการฝากวัสดุรูปแบบต่างๆ รวมถึง: ผลึกเดี่ยว คริสตัลไลน์ อสัณฐาน และอีพิแทกซี วัสดุเหล่านี้ได้แก่: ซิลิกอน (คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ ออกซีไนไตรด์) คาร์บอน (เส้นใย นาโนไฟเบอร์ ท่อนาโน เพชร และกราฟีน) ฟลูออโรคาร์บอน ฟิลาเมนต์ ทังสเตน ไททาเนียมไนไตรด์ และไดอิเล็กทริกสูงแบบต่างๆ
3. กล่อง/แผงวาล์ว (VMB/VMP)
VMB/VMP . คืออะไร
จากประสบการณ์ของเราในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผง (กล่องแก๊ส) สำหรับระบบ EPI, MOCVD, ระบบการจัดหาวัสดุและอื่น ๆ
ท่ามกลางความสำเร็จทางธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามความต้องการของลูกค้า (ราคาและข้อมูลจำเพาะ) เราสามารถจัดการไม่เพียงแต่ก๊าซธรรมดาแต่ยังรวมถึงก๊าซเหลวสำหรับแหวนดุมล้อด้วย เรายังสนับสนุนการสมัครทางกฎหมายต่างๆ
ช่วงการไหล
ชุด | TMFM6012 | TMFM6019 |
ช่วงการไหล (N2) | 0.3~200,300SLM | 0.8~600,800SLM |
อัตราส่วนการเปิดเตียง | 100:1 | |
ความแม่นยำ | ±1.5 % FS | |
แสดงความถูกต้องอีกครั้ง | ±0.75 % FS | |
ความต้านทานแรงดัน | 1.0Mpa | |
อัตราการรั่วไหล | 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า | |
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน | -10~55℃,<95%RH | |
วัสดุสำหรับส่วนที่สัมผัสกับแก๊ส | ตัวเครื่อง: SUS316 | |
ขนาดการเชื่อมต่อ | 1/2″ (DN12mm) | 3/4″ (DN19mm) |
อินเตอร์เฟซ | NPT, BSPT หรือลูกค้าที่ระบุ | |
ตัวเลือก: การบีบอัด 1/2″, 3/4″, VCR™ | ||
สัญญาณเอาท์พุทไหล | 4~20mA หรือ RS-485 | |
แรงดันความต้องการ | +8~24Vdc/35mA |
รูปแบบการสั่งซื้อ
รูปแบบการสั่งซื้อ | ||||||||||||
TMFM60 | การเข้ารหัส | การเข้ารหัสย่อย | ช่วงการไหล | |||||||||
|
12 | 20 | 0.3 ~ 200SLM (ชนิดมาตรฐาน) | |||||||||
12 | 30 | 0.9~300SLM | ||||||||||
19 | 60 | 0.8~600SLM (ชนิดมาตรฐาน) | ||||||||||
19 | 80 | 1.12~800SLM | ||||||||||
|
การเข้ารหัส | ประเภทของเหลว | ||||||||||
อา | อากาศ | |||||||||||
นู๋ | ไนโตรเจน (N2) | |||||||||||
อู๋ | ออกซิเจน (O2) | |||||||||||
ค | อาร์กอน (อาร์) | |||||||||||
อี | คาร์บอนไดออกไซด์ (CO2) | |||||||||||
ชม | ฮีเลียม (เขา) | |||||||||||
ส | ก๊าซพิเศษ (สำหรับก๊าซอื่นๆ โปรดติดต่อศูนย์บริการลูกค้า) | |||||||||||
|
การเข้ารหัส | ช่วงความดัน | ||||||||||
XXX | XXX Mpa e,g.03.0Mpa->เติม 030 (แรงดันใช้งานสูงสุด) | |||||||||||
|
การเข้ารหัส | สัญญาณเอาท์พุต | ||||||||||
อา | 4~20mA | |||||||||||
บี | RS-485 | |||||||||||
|
การเข้ารหัส | ขนาดการเชื่อมต่อ | ||||||||||
12 | 1/2" (สำหรับรุ่น TMFM6012) | |||||||||||
19 | 3/4" (สำหรับ TMFM6019) | |||||||||||
การเข้ารหัส | อินเตอร์เฟซ | |||||||||||
นู๋ | NPT | |||||||||||
บี | BSPT | |||||||||||
อา | การบีบอัด SWL | |||||||||||
วี | VCR Maleชาย | |||||||||||
การเข้ารหัส | เฝ้าสังเกต | |||||||||||
ดี | พร้อมจอมอนิเตอร์ | |||||||||||
นู๋ | ไม่แสดงผล | |||||||||||
การเข้ารหัส | ฉลาก | |||||||||||
อี | เครื่องหมายการค้า FGT | |||||||||||
X | โลโก้ที่กำหนดเอง | |||||||||||
|
||||||||||||
TMFM60 | รูปแบบการสั่งซื้อที่สมบูรณ์ | |||||||||||
*หมายเหตุ: ทุกรุ่นมาพร้อมแหล่งจ่ายไฟ (+8~24 Vdc/35mA) | ||||||||||||
*หมายเหตุ: คำสั่งซื้อ OEM มีให้สำหรับคำสั่งซื้อมากกว่า 100 |