เครื่องวัดการไหลของมวลความร้อนคืออะไร?

เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นเครื่องวัดการไหลหยดแรงดันต่ำที่แม่นยำ ติดตั้งง่าย เหมาะสำหรับการวัดการไหลและการควบคุมการใช้ก๊าซแห้ง ยังสามารถตามประเภทก๊าซลิงค์อ้างอิงใบสมัครขอรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลจะสังเกตผลการระบายความร้อนบนทรานสดิวเซอร์ที่เครื่องทำความร้อนตามหน้าที่ของการไหลของอากาศ ผลลัพธ์ที่ได้มีความแม่นยำสูงด้วยต้นทุนที่ต่ำ เมื่อเทียบกับอุปกรณ์วัดการไหลของก๊าซอื่นๆ

ผลประโยชน์:

• ·ความแม่นยำสูง
• ช่วงการไหลกว้าง รวมทั้งการไหลต่ำ
• · โครงสร้างที่เรียบง่ายและทนทาน
• ·ง่ายต่อการติดตั้งและบำรุงรักษา
• การเชื่อมต่อที่ยืดหยุ่นของเครื่องวัดการไหลสำหรับการควบคุมการไหล
• · การเชื่อมต่อกระบวนการต่างๆ
• ·อัตราส่วนการปรับ 100:1
• แรงดันตกคร่อมต่ำผ่านมิเตอร์วัดการไหล
• ·ให้สัญญาณออกที่สะดวก

หลักการวัดการไหลของมวลความร้อน

เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนใช้คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลเพื่อวัดการเคลื่อนที่ของของไหลในท่อหรือท่อ ในเครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อน ความร้อนที่วัดได้จะถูกนำไปใช้กับเครื่องทำความร้อนของเซ็นเซอร์ พลังงานจำนวนหนึ่งจะสูญเสียไประหว่างการไหล และเมื่อการไหลเพิ่มขึ้น พลังงานก็จะสูญเสียมากขึ้น พลังงานที่เซ็นเซอร์สูญเสียไปขึ้นอยู่กับคุณสมบัติทางความร้อนของของไหลและการออกแบบเซ็นเซอร์ สมบัติทางความร้อนของของไหลอาจแตกต่างกันไปตามอุณหภูมิและความดัน แม้ว่าการเปลี่ยนแปลงเหล่านี้มักจะไม่มีนัยสำคัญในการใช้งานส่วนใหญ่ เนื่องจากการวัดการไหลของความร้อนไม่ได้ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิหรือความดันของของเหลว จึงสามารถใช้เครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อนเพื่อประเมินการไหลของมวลของของไหลได้

กล่าวอีกนัยหนึ่ง ในการใช้งานส่วนใหญ่ คุณสมบัติของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว สำหรับการใช้งานเหล่านี้ องค์ประกอบของของเหลวที่แตกต่างกันอาจรบกวนขนาดการไหลของความร้อนระหว่างการทำงานจริง ดังนั้น สำหรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้ให้บริการที่จะเข้าใจองค์ประกอบของของไหล เพื่อให้สามารถประมวลผลปัจจัยการทำให้เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมเพื่อกำหนดอัตราการไหลได้อย่างแม่นยำ เนื่องจากข้อจำกัดนี้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนมักใช้ในการวัดการไหลของก๊าซบริสุทธิ์ ผู้ผลิตสามารถให้ข้อมูลที่เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมสำหรับการผสมก๊าซอื่นๆ แต่เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนความถูกต้องแม่นยำขึ้นอยู่กับว่าส่วนผสมของก๊าซจริงนั้นเหมือนกับส่วนผสมของก๊าซที่ใช้สำหรับการทำให้เป็นมาตรฐานหรือไม่

แอปพลิเคชั่นควบคุมการไหลของมวล

• เครื่องล้างพลาสมา
• กล่อง/แผงวาล์วเปลี่ยนทิศทางแก๊ส
• การควบคุมการไหลของตู้ถังแก๊ส
• การควบคุมเอาต์พุตของเครื่องกำเนิดแก๊ส
• การควบคุมการเชื่อมด้วยเปลวไฟ
• การวัดท่อแหล่งก๊าซ

สมมติว่าคุณต้องการจ่ายก๊าซสำหรับกระบวนการผสมก๊าซเคมี เครื่องควบคุมการไหลของมวลคืออุปกรณ์ที่เหมาะสม ใช้ในกระบวนการต่อไปนี้:

เติมแก๊สลงในท่อผสมเพื่อความสะดวกในการปรับอัตราส่วน

• การตรวจสอบการไหลของท่อผสมก๊าซอุตสาหกรรมหรือเครื่องกำเนิดก๊าซ
• เติมก๊าซผสมลงในแหล่งจ่ายที่สร้างพลาสมา

ในตัวอย่างทั้งหมดนี้ กระบวนการนี้ต้องการการจ่ายสารประกอบก๊าซที่แม่นยำและทำซ้ำได้ สิ่งนี้ทำให้คุณสามารถดำเนินการในลักษณะที่มีการควบคุมโดยให้ผลผลิตที่เหมาะสมและมีความเสี่ยงน้อยที่สุดจากประสิทธิภาพของกระบวนการที่ไม่ดีหรือมากเกินไป เช่น การสูญเสียสารตั้งต้นที่เป็นก๊าซที่ไม่ได้ใช้หรือกระบวนการที่ควบคุมไม่ได้ ตัวควบคุมการไหลของมวลใช้เพื่อจุดประสงค์นี้

มีตัวควบคุมการไหลของมวลประเภทใดบ้างในซีรีส์ TMFM/TMFC

ตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนใช้เทคนิคการตรวจจับมวลความร้อนของก๊าซเพื่อควบคุมการไหลของมวล ในกลุ่มผลิตภัณฑ์ TMFC เรามีตัวควบคุมการไหลของมวลความร้อนหลายตัว โดยแต่ละตัวมีเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ของตัวเอง:

ตัวควบคุมการไหลของมวลโดยใช้เซ็นเซอร์บายพาส อุปกรณ์เหล่านี้ เช่น TMFCs และ TMFMs เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานก๊าซที่สะอาดและแห้ง ซึ่งต้องการความแม่นยำและการทำซ้ำที่มากขึ้น
เครื่องควบคุมการไหลของมวลโดยใช้หลักการออนไลน์ ซีรี่ส์ เช่น ซีรี่ส์ TMFC และ TMFM นั้นสมบูรณ์แบบหากการใช้งานของคุณมีก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.9% หรือเมื่อความสามารถในการทำซ้ำสูงและความทนทานมีความสำคัญมากกว่าความแม่นยำ
เครื่องควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมท่อ ซีรี่ส์เหล่านี้โดดเด่นเพราะสามารถวัดการไหลของก๊าซและควบคุมได้
เมื่อใดก็ตามที่คุณต้องแสดงการไหลของมวลและในช่วงการไหลที่กว้าง ชุดก๊าซที่ใช้เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ชิป MEMS เช่น TMFM6000 นั้นสมบูรณ์แบบ
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซโดยใช้เทคโนโลยีอินไลน์ (CMOS)

หลักการของ Mass Flow Controller (MFC) / หลักการของ Flow Controller

Mass Flow Controller (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของของเหลวและก๊าซ [1] เครื่องควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและสอบเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทในช่วงการไหลเฉพาะ MFC สามารถมีจุดตั้งค่าระหว่าง 0% และ 100% ของช่วงสเกลเต็ม แต่โดยทั่วไปจะทำงานภายในช่วงสเกลเต็ม 10% ถึง 90% เพื่อความแม่นยำที่ดีที่สุด จากนั้นอุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ MFCs สามารถเป็นแบบแอนะล็อกหรือดิจิทัลได้ โดยปกติแล้ว ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิทัลจะสามารถควบคุมของไหลได้มากกว่าหนึ่งชนิด

ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลทั้งหมดมีพอร์ตทางเข้า พอร์ตทางออก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และวาล์วควบคุมสัดส่วน MFC ติดตั้งระบบควบคุมวงปิดที่ผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจรภายนอก/คอมพิวเตอร์) ให้สัญญาณอินพุตซึ่งเปรียบเทียบกับค่าของเซ็นเซอร์มวลไหลและปรับวาล์วสัดส่วนตามเพื่อให้ได้การไหลที่ต้องการ การไหลถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบแล้ว และป้อนให้กับ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟฟ้า

เครื่องควบคุมการไหลของมวลต้องการให้ก๊าซหรือของเหลวจ่ายให้อยู่ในช่วงความดันเฉพาะ ความดันต่ำจะทำให้ MFC ของไหลหมดลงและป้องกันไม่ให้ถึงจุดที่ตั้งไว้ แรงดันสูงอาจทำให้อัตราการไหลไม่แน่นอน มีเทคโนโลยีต่างๆ มากมายที่ช่วยวัดการไหลของของไหลและช่วยควบคุมการไหลในที่สุด เทคโนโลยีเหล่านี้กำหนดประเภทของตัวควบคุมการไหลของมวลและรวมถึงความดันแตกต่าง (ΔP) อุณหภูมิที่แตกต่างกัน (ΔT) แรงโคริโอลิส อัลตราโซนิก แม่เหล็กไฟฟ้า กังหัน ฯลฯ

การติดตั้งเครื่องวัดการไหลของมวล

ขณะนี้มีการใช้งานมาตรวัดมวลมากขึ้นเรื่อยๆ และบางครั้งที่มีการติดตั้งมาตรวัดมวลเป็นครั้งแรกก็ไม่ชัดเจนเกี่ยวกับวิธีการติดตั้งมาตรวัดมวล การติดตั้งย้อนกลับ การติดตั้งที่ไม่ถูกต้อง ฯลฯ ซึ่งส่งผลต่อการใช้งานตามปกติของ อุปกรณ์ บทความนี้กล่าวถึงปัญหานี้อธิบายรายละเอียดวิธีการติดตั้งเครื่องวัดอัตราการไหล

ความเค้นทางกลที่มากเกินไประหว่างการติดตั้งเซ็นเซอร์จะส่งผลต่อจุดศูนย์ของ Mass Flowmeter หากความเค้นเหล่านี้มีการเปลี่ยนแปลงอยู่ตลอดเวลา การเลื่อนจุดศูนย์ของมาตรจะทำให้การวัดไม่แม่นยำและไม่สามารถทำงานได้ตามปกติ ดังนั้นการติดตั้ง Mass Flowmeter ที่ถูกต้องจึงเป็นส่วนสำคัญในการรับประกันการทำงานปกติของอุปกรณ์

1. เลือกวิธีการติดตั้ง

วิธีการติดตั้งเซ็นเซอร์ส่วนใหญ่จะพิจารณาจากความแตกต่างของเฟสของของไหลและสภาวะของกระบวนการ มีวิธีการติดตั้ง 3 วิธี

1. หากของไหลที่วัดได้เป็นของเหลว โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกคว่ำลงเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของอากาศในท่อสั่นของเซ็นเซอร์ เพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการวัดอัตราการไหลของมวลได้อย่างแม่นยำ

2. หากของไหลที่วัดได้เป็นก๊าซ โดยทั่วไปจะติดตั้งเซ็นเซอร์โดยให้เปลือกหันขึ้นด้านบนเพื่อหลีกเลี่ยงการสะสมของคอนเดนเสทในท่อสั่นสะเทือนของเซ็นเซอร์

3. หากของไหลที่วัดได้เป็นสารละลายผสมระหว่างของเหลวและของแข็ง ให้ติดตั้งเซ็นเซอร์บนถนนอย่างเป็นทางการในแนวตั้ง ซึ่งสามารถป้องกันไม่ให้อนุภาคสะสมในท่อวัดแรงโคริโอลิสของเซ็นเซอร์ นอกจากนี้ หากจำเป็นต้องทำความสะอาดท่อกระบวนการด้วยแก๊สและไอน้ำ วิธีการติดตั้งนี้ยังช่วยอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาด แต่วิธีการติดตั้งนี้แก้ไขได้ยากกว่าสองวิธีก่อนหน้า และการสูญเสียแรงดันจะมากกว่า

 

 

 

 

 

ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ

ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ

สูตรการไหลของมวล

ประเภทของเครื่องวัดการไหลของมวล

เครื่องวัดการไหลของมวลภาษาอังกฤษ

ตามเว็บไซต์จีนสามองศา. การตีความหลาย ๆ เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์คอมพิวเตอร์อิเล็กทรอนิกส์】เครื่องวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมเครื่องกล】เซ็นเซอร์เครื่องวัดการไหลของมวล【ศัพท์วิทยาศาสตร์ทางทะเล-วิศวกรรมใต้น้ำ】การไหลของมวลความร้อน【วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์】การวัดการไหลของมวล【วิศวกรรมไฟฟ้า】