FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT

TMFM6000 ประเภท: Mass Flow Meter

TMFM6000 ประเภท: Mass Flow Meter

  • สามารถวางจอแสดงผลแบบถอดได้ออกจากช่องไหลผ่านสายเคเบิลที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ
  • มาตรฐาน 4~20mA หรือ RS485 สำหรับการสื่อสารข้อมูลระยะไกล
  • ตัวเรือนสเตนเลสสตีลสำหรับสุขาภิบาล (SUS) ใช้สำหรับสูบจ่ายออกซิเจน
  • ความสามารถช่วงขยายสำหรับการตรวจสอบการไหลที่แม่นยำ
  • ตู้ที่ปลอดภัยจากภายใน

รายละเอียดเพิ่มเติม

  • สามารถวางจอแสดงผลแบบถอดได้ออกจากช่องไหลผ่านสายเคเบิลที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ
  • มาตรฐาน 4~20mA หรือ RS485 สำหรับการสื่อสารข้อมูลระยะไกล
  • ตัวเรือนสเตนเลสสตีลสำหรับสุขาภิบาล (SUS) ใช้สำหรับสูบจ่ายออกซิเจน
  • ความสามารถช่วงขยายสำหรับการตรวจสอบการไหลที่แม่นยำ
  • ตู้ที่ปลอดภัยจากภายใน

เครื่องวัดการไหลของมวลความร้อนคืออะไร?

เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นเครื่องวัดการไหลหยดแรงดันต่ำที่แม่นยำ ติดตั้งง่าย เหมาะสำหรับการวัดการไหลและการควบคุมการใช้ก๊าซแห้ง ยังสามารถตามประเภทก๊าซลิงค์อ้างอิงใบสมัครขอรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อน เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลจะสังเกตผลการระบายความร้อนบนทรานสดิวเซอร์ที่เครื่องทำความร้อนตามหน้าที่ของการไหลของอากาศ ผลลัพธ์ที่ได้มีความแม่นยำสูงด้วยต้นทุนที่ต่ำ เมื่อเทียบกับอุปกรณ์วัดการไหลของก๊าซอื่นๆ

ผลประโยชน์:

  • ·ความแม่นยำสูง
  • ช่วงการไหลกว้าง รวมทั้งการไหลต่ำ
  • · โครงสร้างที่เรียบง่ายและทนทาน
  • ·ง่ายต่อการติดตั้งและบำรุงรักษา
  • การเชื่อมต่อที่ยืดหยุ่นของเครื่องวัดการไหลสำหรับการควบคุมการไหล
  • · การเชื่อมต่อกระบวนการต่างๆ
  • ·อัตราส่วนการปรับ 100:1
  • แรงดันตกคร่อมต่ำผ่านมิเตอร์วัดการไหล
  • ·ให้สัญญาณออกที่สะดวก

หลักการวัดการไหลของมวลความร้อน

เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนใช้คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลเพื่อวัดการเคลื่อนที่ของของไหลในท่อหรือท่อ ในเครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อน ความร้อนที่วัดได้จะถูกนำไปใช้กับเครื่องทำความร้อนของเซ็นเซอร์ พลังงานจำนวนหนึ่งจะสูญเสียไประหว่างการไหล และเมื่อการไหลเพิ่มขึ้น พลังงานก็จะสูญเสียมากขึ้น พลังงานที่เซ็นเซอร์สูญเสียไปขึ้นอยู่กับคุณสมบัติทางความร้อนของของไหลและการออกแบบเซ็นเซอร์ สมบัติทางความร้อนของของไหลอาจแตกต่างกันไปตามอุณหภูมิและความดัน แม้ว่าการเปลี่ยนแปลงเหล่านี้มักจะไม่มีนัยสำคัญในการใช้งานส่วนใหญ่ เนื่องจากการวัดการไหลของความร้อนไม่ได้ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิหรือความดันของของเหลว จึงสามารถใช้เครื่องวัดการไหลของพลังงานความร้อนเพื่อประเมินการไหลของมวลของของไหลได้

กล่าวอีกนัยหนึ่ง ในการใช้งานส่วนใหญ่ คุณสมบัติของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว สำหรับการใช้งานเหล่านี้ องค์ประกอบของของเหลวที่แตกต่างกันอาจรบกวนขนาดการไหลของความร้อนระหว่างการทำงานจริง ดังนั้น สำหรับเครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้ให้บริการที่จะเข้าใจองค์ประกอบของของไหล เพื่อให้สามารถประมวลผลปัจจัยการทำให้เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมเพื่อกำหนดอัตราการไหลได้อย่างแม่นยำ เนื่องจากข้อจำกัดนี้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนมักใช้ในการวัดการไหลของก๊าซบริสุทธิ์ ผู้ผลิตสามารถให้ข้อมูลที่เป็นมาตรฐานที่เหมาะสมสำหรับการผสมก๊าซอื่นๆ แต่เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนความถูกต้องแม่นยำขึ้นอยู่กับว่าส่วนผสมของก๊าซจริงนั้นเหมือนกับส่วนผสมของก๊าซที่ใช้สำหรับการทำให้เป็นมาตรฐานหรือไม่

ข้อกำหนดทางเทคนิค

ชุด TMFM6012 TMFM6019
ช่วงการไหล (N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
อัตราส่วนการเปิดเตียง 100:1
ความแม่นยำ ±1.5 % FS
แสดงความถูกต้องอีกครั้ง ±0.75 % FS
ความต้านทานแรงดัน 1.0Mpa
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน -10~55℃,<95%RH
วัสดุสำหรับส่วนที่สัมผัสกับแก๊ส ตัวเครื่อง: SUS316
ขนาดการเชื่อมต่อ 1/2″ (DN12mm) 3/4″ (DN19mm)
อินเตอร์เฟซ NPT, BSPT หรือลูกค้าที่ระบุ
ตัวเลือก: การบีบอัด 1/2″, 3/4″, VCR™
สัญญาณเอาท์พุทไหล 4~20mA หรือ RS-485
แรงดันความต้องการ +8~24Vdc/35mA

ช่องทางการสมัคร

MFM .คืออะไร

เครื่องวัดอัตราการไหลมวล หรือที่เรียกว่าเครื่องวัดการไหลเฉื่อย เป็นอุปกรณ์ที่ใช้วัดการไหลของมวลของของไหลผ่านท่อ อัตราการไหลของมวลคือมวลของของไหลผ่านจุดคงที่ต่อหน่วยเวลา
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลไม่ได้วัดปริมาตรต่อหน่วยเวลา (เช่น ลูกบาศก์เมตรต่อวินาที) ที่ไหลผ่านอุปกรณ์ แต่จะวัดมวลต่อหน่วยของเวลา (เช่น กิโลกรัมต่อวินาที) ที่ไหลผ่านอุปกรณ์ การไหลของปริมาตรคือการไหลของมวลหารด้วยความหนาแน่นของของเหลว ถ้าความหนาแน่นคงที่ ความสัมพันธ์ก็ง่าย ความสัมพันธ์ไม่ใช่เรื่องง่ายหากของเหลวมีความหนาแน่นต่างกัน ความหนาแน่นของของเหลวอาจแตกต่างกันไปตามอุณหภูมิ ความดัน หรือองค์ประกอบ ของเหลวยังสามารถเป็นการรวมกันของเฟส เช่น ของเหลวที่มีฟองอากาศกักอยู่ เนื่องจากความเร็วของเสียงขึ้นอยู่กับความเข้มข้นของของเหลวที่ควบคุม ความหนาแน่นที่แท้จริงจึงสามารถกำหนดได้ [1]

ใบสมัคร MFM
1. การตรวจสอบท่ออัจฉริยะ
เหตุผลหลักที่เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลความร้อนเป็นที่นิยมในอุตสาหกรรมคือการออกแบบและผลิต ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว แทบไม่มีสิ่งกีดขวางเส้นทางการไหลแบบตรง ไม่ต้องมีการแก้ไขอุณหภูมิหรือแรงดัน และรักษาความแม่นยำในช่วงการไหลที่กว้าง การเดินท่อแบบตรงสามารถลดลงได้โดยใช้องค์ประกอบการปรับสภาพการไหลของแผ่นคู่ และการติดตั้งทำได้ง่ายมากและไม่ทำให้เกิดการบุกรุกท่อ

อย่างไรก็ตาม ในการใช้งานหลายอย่าง คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว ในการใช้งานดังกล่าว การเปลี่ยนแปลงองค์ประกอบของของเหลวระหว่างการทำงานจริงอาจส่งผลต่อการวัดการไหลของความร้อน ดังนั้นจึงเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้จัดหาเครื่องวัดอัตราการไหลของความร้อนที่จะต้องเข้าใจองค์ประกอบของของเหลว เพื่อให้สามารถใช้ปัจจัยการสอบเทียบที่เหมาะสมเพื่อกำหนดการไหลได้อย่างแม่นยำ ผู้จำหน่ายสามารถให้ข้อมูลการสอบเทียบที่เหมาะสมสำหรับส่วนผสมของก๊าซอื่นๆ ได้ แต่ความถูกต้องแม่นยำของเครื่องวัดอัตราการไหลของความร้อนนั้นขึ้นอยู่กับส่วนผสมของก๊าซจริงที่เหมือนกันกับที่ใช้ในการสอบเทียบ กล่าวอีกนัยหนึ่ง ความแม่นยำของเครื่องวัดอัตราการไหลของความร้อนที่สอบเทียบสำหรับส่วนผสมของก๊าซที่กำหนดจะลดลง หากก๊าซที่ไหลจริงมีองค์ประกอบที่แตกต่างกัน [2]

2. เครื่องซีวีดี
CVD คืออะไร

การสะสมไอ (CVD) เป็นวิธีการสะสมแบบสุญญากาศที่ใช้ในการผลิตวัสดุแข็งคุณภาพสูงและประสิทธิภาพสูง กระบวนการนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อผลิตฟิล์มบาง

ใน CVD ทั่วไป แผ่นเวเฟอร์ (สารตั้งต้น) สัมผัสกับสารตั้งต้นที่ระเหยง่ายหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ทำปฏิกิริยาและ/หรือสลายตัวบนพื้นผิวของซับสเตรตเพื่อผลิตสิ่งสะสมที่ต้องการ ผลพลอยได้จากการระเหยมักจะถูกผลิตขึ้นเช่นกัน ซึ่งถูกกำจัดออกโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องทำปฏิกิริยา

กระบวนการไมโครแฟบริเคชั่นใช้ CVD อย่างกว้างขวางในการฝากวัสดุรูปแบบต่างๆ รวมถึง: ผลึกเดี่ยว คริสตัลไลน์ อสัณฐาน และอีพิแทกซี วัสดุเหล่านี้ได้แก่: ซิลิกอน (คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ ออกซีไนไตรด์) คาร์บอน (เส้นใย นาโนไฟเบอร์ ท่อนาโน เพชร และกราฟีน) ฟลูออโรคาร์บอน ฟิลาเมนต์ ทังสเตน ไททาเนียมไนไตรด์ และไดอิเล็กทริกสูงแบบต่างๆ

 

3. กล่อง/แผงวาล์ว (VMB/VMP)
VMB/VMP . คืออะไร

จากประสบการณ์ของเราในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผง (กล่องแก๊ส) สำหรับระบบ EPI, MOCVD, ระบบการจัดหาวัสดุและอื่น ๆ
ท่ามกลางความสำเร็จทางธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามความต้องการของลูกค้า (ราคาและข้อมูลจำเพาะ) เราสามารถจัดการไม่เพียงแต่ก๊าซธรรมดาแต่ยังรวมถึงก๊าซเหลวสำหรับแหวนดุมล้อด้วย เรายังสนับสนุนการสมัครทางกฎหมายต่างๆ

ช่วงการไหล

ชุด TMFM6012 TMFM6019
ช่วงการไหล (N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
อัตราส่วนการเปิดเตียง 100:1
ความแม่นยำ ±1.5 % FS
แสดงความถูกต้องอีกครั้ง ±0.75 % FS
ความต้านทานแรงดัน 1.0Mpa
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน -10~55℃,<95%RH
วัสดุสำหรับส่วนที่สัมผัสกับแก๊ส ตัวเครื่อง: SUS316
ขนาดการเชื่อมต่อ 1/2″ (DN12mm) 3/4″ (DN19mm)
อินเตอร์เฟซ NPT, BSPT หรือลูกค้าที่ระบุ
ตัวเลือก: การบีบอัด 1/2″, 3/4″, VCR™
สัญญาณเอาท์พุทไหล 4~20mA หรือ RS-485
แรงดันความต้องการ +8~24Vdc/35mA

รูปแบบการสั่งซื้อ

รูปแบบการสั่งซื้อ
TMFM60 การเข้ารหัส การเข้ารหัสย่อย ช่วงการไหล                
 

 
12 20 0.3 ~ 200SLM (ชนิดมาตรฐาน)
  12 30 0.9~300SLM
  19 60 0.8~600SLM (ชนิดมาตรฐาน)
  19 80 1.12~800SLM
   

 
  การเข้ารหัส ประเภทของเหลว
      อา อากาศ
      นู๋ ไนโตรเจน (N2)
      อู๋ ออกซิเจน (O2)
      อาร์กอน (อาร์)
      อี คาร์บอนไดออกไซด์ (CO2)
      ชม ฮีเลียม (เขา)
      ก๊าซพิเศษ (สำหรับก๊าซอื่นๆ โปรดติดต่อศูนย์บริการลูกค้า)
       

 
การเข้ารหัส ช่วงความดัน
        XXX XXX Mpa e,g.03.0Mpa->เติม 030 (แรงดันใช้งานสูงสุด)
         

 
การเข้ารหัส สัญญาณเอาท์พุต
          อา 4~20mA
          บี RS-485
           

 
การเข้ารหัส ขนาดการเชื่อมต่อ
            12 1/2" (สำหรับรุ่น TMFM6012)
            19 3/4" (สำหรับ TMFM6019)
              การเข้ารหัส อินเตอร์เฟซ
              นู๋ NPT
              บี BSPT
              อา การบีบอัด SWL
              วี VCR Maleชาย
                การเข้ารหัส เฝ้าสังเกต
                ดี พร้อมจอมอนิเตอร์
                นู๋ ไม่แสดงผล
                  การเข้ารหัส ฉลาก
                  อี เครื่องหมายการค้า FGT
                  X โลโก้ที่กำหนดเอง
             

 
         
TMFM60                   รูปแบบการสั่งซื้อที่สมบูรณ์
*หมายเหตุ: ทุกรุ่นมาพร้อมแหล่งจ่ายไฟ (+8~24 Vdc/35mA)
*หมายเหตุ: คำสั่งซื้อ OEM มีให้สำหรับคำสั่งซื้อมากกว่า 100
แบบฟอร์มติดต่อสอบถาม