열 질량 유량계란 무엇입니까?

열 질량 유량계정확하고 설치가 쉬운 저압 강하 유량계입니다. 유량 측정 및 건조 가스 응용 분야의 제어에 적합합니다. 할 수도 있다가스 종류별참조 링크신청열 질량 유량계를 얻습니다. 질량 유량계는 기류의 함수로 가열하는 변환기에 대한 냉각 효과를 관찰합니다. 그 결과 다른 가스 유량 측정 장치에 비해 저렴한 비용으로 높은 수준의 정확도를 달성합니다.

혜택:

• ·높은 정밀도
• 낮은 유량을 포함한 넓은 유량 범위
• · 단순하고 내구성 있는 구조
• ·설치 및 유지보수가 용이
• 유량 제어를 위한 유량계의 유연한 연결
• · 다양한 공정 연결
• ·조정 비율 100:1
• 유량계 전반에 걸친 낮은 압력 강하
• · 편리한 신호 출력 제공

열 질량 유량계 원리

열 질량 유량계유체의 열적 특성을 사용하여 파이프 또는 튜브에서 유체의 움직임을 측정합니다. 열에너지 유량계에서 측정된 열은 센서의 히터에 가해집니다. 흐름 중에는 일정량의 에너지가 손실되고 흐름이 증가할수록 손실되는 에너지가 늘어납니다. 센서에서 손실되는 에너지는 유체의 열 속성과 센서 설계에 따라 다릅니다. 유체의 열압축 특성은 온도와 압력에 따라 달라질 수 있지만 이러한 변화는 대부분의 응용 분야에서 일반적으로 중요하지 않습니다. 열 흐름 측정은 유체의 온도나 압력에 의존하지 않기 때문에 열 에너지 유량계를 사용하여 유체의 질량 흐름을 추정할 수 있습니다.

즉, 대부분의 응용 분야에서 유체의 특성은 구성에 따라 달라질 수 있습니다. 이러한 응용 분야의 경우 유체의 다른 구성이 실제 작동 중에 열 흐름 크기를 방해할 수 있습니다. 따라서열 질량 유량계적절한 정규화 인자가 처리되어 유량을 정확하게 결정할 수 있도록 공급자가 유체의 구성을 이해하는 것이 중요합니다. 이러한 제한으로 인해,열 질량 유량계일반적으로 순수 가스의 흐름을 측정하는 데 사용됩니다. 제조업체는 다른 가스 조합에 대해 적절한 표준화된 정보를 제공할 수 있지만열 질량 유량계의 정확도는 실제 가스 혼합물이 정규화 목적으로 사용된 가스 혼합물과 동일한지 여부에 따라 다릅니다.

질량 흐름 컨트롤러 애플리케이션

• 플라즈마 클리너
• 가스 전환기 밸브 박스/패널
• 가스 실린더 캐비닛 출력 흐름 제어
• 가스 발생기 출력 제어
• 화염 용접 제어
• 가스 소스 배관 측정

화학 가스 혼합 공정에 가스를 공급하려는 경우 질량 유량 컨트롤러가 올바른 장치라고 가정합니다. 다음 프로세스에서 사용됩니다.

비율 조정을 용이하게 하기 위해 혼합 튜브에 가스를 추가합니다.

• 산업용 가스 혼합 배관 또는 가스 발생기 유량 모니터링
• 플라즈마 생성 공급 장치에 혼합 가스 추가

이 모든 예에서 프로세스에는 가스 화합물의 반복 가능하고 정확한 공급이 필요합니다. 이를 통해 최적의 제품 수율로 제어된 방식으로 진행할 수 있으며 미사용 가스 반응물 또는 폭주 공정 낭비와 같은 불량하거나 과도한 공정 성능의 위험을 최소화할 수 있습니다. 이를 위해 질량 유량 컨트롤러가 사용됩니다.

TMFM/TMFC 시리즈에는 어떤 유형의 질량 유량 컨트롤러가 있습니까?

열 질량 흐름 컨트롤러는 가스의 열 질량 감지 기술을 사용하여 질량 흐름을 제어합니다. TMFC 포트폴리오에는 각각 자체 센서 기술이 있는 여러 열식 질량 유량 컨트롤러가 있습니다.

바이패스 센서를 사용하는 질량 유량 컨트롤러. TMFC 및 TMFM과 같은 이러한 장치는 더 높은 정밀도와 반복성이 요구되는 청정 및 건조 가스 응용 분야에 이상적입니다.
온라인 원리를 사용하는 질량 유량 컨트롤러. TMFC 및 TMFM 시리즈와 같은 시리즈는 애플리케이션에 99.9% 이상의 고순도 가스가 있거나 높은 반복성과 견고성이 정확도보다 더 중요한 경우에 적합합니다.
배관 제어 기술을 사용하는 가스 질량 유량 컨트롤러. 이 시리즈는 가스 흐름과 제어를 측정할 수 있기 때문에 눈에 띕니다.
넓은 유량 범위에 걸쳐 질량 유량을 표시해야 할 때마다 TMFM6000과 같은 MEMS 칩 센서 기술을 사용하는 가스 시리즈는 완벽합니다.
인라인(CMOS) 기술을 사용하는 가스 질량 흐름 컨트롤러.

질량 흐름 컨트롤러( MFC ) 원리 / 흐름 컨트롤러 원리

질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 액체와 기체의 흐름을 측정하고 제어하는 데 사용되는 장치입니다. [1] 질량 유량 컨트롤러는 특정 유량 범위에서 특정 유형의 액체 또는 가스를 제어하도록 설계되고 보정됩니다. MFC는 풀 스케일 범위의 0%와 100% 사이의 설정점을 가질 수 있지만 일반적으로 최상의 정확도를 위해 10%~90%의 풀 스케일 범위 내에서 작동합니다. 그런 다음 장치는 주어진 설정 지점으로 유량을 제어합니다. MFC는 아날로그 또는 디지털일 수 있습니다.디지털 유량 컨트롤러는 일반적으로 둘 이상의 유체를 제어할 수 있는 반면 아날로그 컨트롤러는 교정 대상 유체로 제한됩니다.

모든 질량 유량 컨트롤러에는 입구 포트, 출구 포트, 질량 유량 센서 및 비례 제어 밸브가 있습니다. MFC에는 작업자(또는 외부 회로/컴퓨터)가 질량 유량 센서의 값과 비교되는 입력 신호를 제공하고 그에 따라 비례 밸브를 조정하여 원하는 유량을 달성하는 폐쇄 루프 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 유량은 보정된 풀 스케일 유량의 백분율로 지정되며 MFC에 전압 신호로 제공됩니다.

질량 유량 컨트롤러는 공급 가스 또는 액체가 특정 압력 범위 내에 있어야 합니다. 낮은 압력은 유체의 MFC를 고갈시키고 설정점에 도달하지 못하게 합니다. 높은 압력은 불규칙한 유량을 유발할 수 있습니다. 유체의 흐름을 측정하고 궁극적으로 흐름을 제어하는 데 도움이 되는 다양한 기술이 있습니다. 이러한 기술은 질량 유량 컨트롤러의 유형을 정의하며 여기에는 차압(ΔP), 차동 온도(ΔT), 코리올리 힘, 초음파, 전자기, 터빈 등이 포함됩니다.

질량 유량계 설치

이제 질량 유량계의 응용이 점점 더 많아지고 있으며 처음으로 질량 유량계를 설치하는 경우에 질량 유량계의 설치 방법, 역 설치, 잘못된 설치 등에 대해 명확하지 않아 정상적인 사용에 영향을 미칩니다. 이 기사에서는 이 문제에 대해 설명하고 질량 유량계를 설치하는 방법을 자세히 설명합니다.

센서 설치 중 과도한 기계적 응력은 질량 유량계의 영점에 영향을 미치며 이러한 응력이 지속적으로 변하면 유량계의 영점 드리프트가 부정확한 측정을 유발하고 정상적으로 작동하지 않습니다. 따라서 질량 유량계의 올바른 설치는 장비의 정상 작동을 보장하는 중요한 부분입니다.

1. 설치 방법 선택

센서의 설치 방법은 주로 유체의 위상차와 공정 조건에 따라 결정되며 세 가지 설치 방법이 있습니다.

1. 측정 유체가 액체인 경우 센서는 일반적으로 센서의 진동 튜브에 공기가 축적되는 것을 방지하기 위해 쉘이 아래를 향하도록 설치되어 질량 유량을 정확하게 측정하는 목적을 달성합니다.

2. 측정 유체가 가스인 경우 센서 진동관에 응축수가 축적되는 것을 방지하기 위해 일반적으로 쉘이 위를 향하도록 센서를 설치합니다.

3. 측정 유체가 액체와 고체의 혼합 슬러리인 경우 센서의 코리올리 힘 측정 튜브에 입자가 쌓이는 것을 방지할 수 있는 수직 공식 도로에 센서를 설치하십시오. 또한 공정 파이프라인을 가스와 증기로 청소해야 하는 경우 이 설치 방법도 청소를 용이하게 할 수 있지만 이 설치 방법은 이전 두 가지 방법보다 수정하기 어렵고 압력 손실이 더 큽니다.

 

 

 

 

 

가스 흐름 컨트롤러

가스 질량 유량 컨트롤러

질량 흐름 공식

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