TMFM6000 유형: 질량 유량계

TMFM6000 유형: 질량 유량계

  • 분리형 디스플레이는 특별히 설계된 케이블을 통해 흐름 채널에서 멀리 배치할 수 있습니다.
  • 원격 데이터 통신을 위한 표준 4~20mA 또는 RS485.
  • SUS(Sanitary Stainless Steel) 몸체는 산소 측정에 사용할 수 있습니다.
  • 정밀한 유량 모니터링을 위한 확장된 범위 기능
  • 본질적으로 안전한 인클로저.

설명

  • 분리형 디스플레이는 특별히 설계된 케이블을 통해 흐름 채널에서 멀리 배치할 수 있습니다.
  • 원격 데이터 통신을 위한 표준 4~20mA 또는 RS485.
  • SUS(Sanitary Stainless Steel) 몸체는 산소 측정에 사용할 수 있습니다.
  • 정밀한 유량 모니터링을 위한 확장된 범위 기능
  • 본질적으로 안전한 인클로저.

열 질량 유량계란 무엇입니까?

열 질량 유량계정확하고 설치가 쉬운 저압 강하 유량계입니다. 유량 측정 및 건조 가스 응용 분야의 제어에 적합합니다. 할 수도 있다가스 종류별참조 링크신청열 질량 유량계를 얻습니다. 질량 유량계는 기류의 함수로 가열하는 변환기에 대한 냉각 효과를 관찰합니다. 그 결과 다른 가스 유량 측정 장치에 비해 저렴한 비용으로 높은 수준의 정확도를 달성합니다.

혜택:

  • ·높은 정밀도
  • 낮은 유량을 포함한 넓은 유량 범위
  • · 단순하고 내구성 있는 구조
  • ·설치 및 유지보수가 용이
  • 유량 제어를 위한 유량계의 유연한 연결
  • · 다양한 공정 연결
  • ·조정 비율 100:1
  • 유량계 전반에 걸친 낮은 압력 강하
  • · 편리한 신호 출력 제공

열 질량 유량계 원리

열 질량 유량계유체의 열적 특성을 사용하여 파이프 또는 튜브에서 유체의 움직임을 측정합니다. 열에너지 유량계에서 측정된 열은 센서의 히터에 가해집니다. 흐름 중에는 일정량의 에너지가 손실되고 흐름이 증가할수록 손실되는 에너지가 늘어납니다. 센서에서 손실되는 에너지는 유체의 열 속성과 센서 설계에 따라 다릅니다. 유체의 열압축 특성은 온도와 압력에 따라 달라질 수 있지만 이러한 변화는 대부분의 응용 분야에서 일반적으로 중요하지 않습니다. 열 흐름 측정은 유체의 온도나 압력에 의존하지 않기 때문에 열 에너지 유량계를 사용하여 유체의 질량 흐름을 추정할 수 있습니다.

즉, 대부분의 응용 분야에서 유체의 특성은 구성에 따라 달라질 수 있습니다. 이러한 응용 분야의 경우 유체의 다른 구성이 실제 작동 중에 열 흐름 크기를 방해할 수 있습니다. 따라서열 질량 유량계적절한 정규화 인자가 처리되어 유량을 정확하게 결정할 수 있도록 공급자가 유체의 구성을 이해하는 것이 중요합니다. 이러한 제한으로 인해,열 질량 유량계일반적으로 순수 가스의 흐름을 측정하는 데 사용됩니다. 제조업체는 다른 가스 조합에 대해 적절한 표준화된 정보를 제공할 수 있지만열 질량 유량계의 정확도는 실제 가스 혼합물이 정규화 목적으로 사용된 가스 혼합물과 동일한지 여부에 따라 다릅니다.

기술 사양

시리즈 TMFM6012 TMFM6019
유량 범위(N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
턴다운 비율 100:1
정도 ±1.5 % FS
재표시 정확도 ±0.75 % FS
압력 저항 1.0Mpa
누출율 1 x 10-9 atm.cc/sec 이하
작동 온도 범위 -10~55℃, <95%RH
가스 접촉부 재료 본체: SUS316
연결 크기 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
상호 작용 NPT, BSPT 또는 고객 지정
옵션: 1/2″, 3/4″ 압축, VCR™
흐름 출력 신호 4~20mA 또는 RS-485
수요 전압 +8~24Vdc/35mA

신청분야

MFM이란 무엇입니까?

관성 유량계라고도 하는 질량 유량계는 파이프를 통해 흐르는 유체의 질량 유량을 측정하는 장치입니다. 질량 유량은 단위 시간당 고정된 점을 통과하는 유체의 질량입니다.
질량 유량계는 장치를 통과하는 단위 시간당 부피(예: 초당 입방 미터)를 측정하지 않고 장치를 통해 흐르는 단위 시간당 질량(예: 초당 킬로그램)을 측정합니다. 체적 유량은 질량 유량을 유체 밀도로 나눈 값입니다. 밀도가 일정하면 관계는 간단합니다. 유체의 밀도가 다양하면 관계가 간단하지 않습니다. 유체의 밀도는 온도, 압력 또는 조성에 따라 달라질 수 있습니다. 유체는 혼입된 기포가 있는 유체와 같은 여러 단계의 조합일 수도 있습니다. 음속은 제어된 액체 농도에 따라 달라지므로 실제 밀도를 결정할 수 있습니다. [1]

MFM 애플리케이션
1. 스마트 파이프 모니터
열 질량 유량계가 산업 응용 분야에서 인기 있는 주된 이유는 설계 및 제조 방식 때문입니다. 움직이는 부품이 없고 직선 흐름 경로에 대한 방해가 거의 없으며 온도 또는 압력 보정이 필요하지 않으며 넓은 흐름 범위에서 정확도를 유지합니다. 이중 판 흐름 조절 요소를 사용하여 직선 파이프 런을 줄일 수 있으며 설치가 매우 간단하고 파이프 침입을 일으키지 않습니다.

그러나 많은 응용 분야에서 유체의 열적 특성은 유체 구성에 따라 달라질 수 있습니다. 이러한 응용 분야에서 실제 작동 중 유체 구성의 변화는 열 흐름 측정에 영향을 줄 수 있습니다. 따라서 열식 유량계 공급업체는 적절한 보정 계수를 사용하여 유량을 정확하게 결정할 수 있도록 유체의 구성을 이해하는 것이 중요합니다. 공급업체는 다른 가스 혼합물에 대한 적절한 교정 정보를 제공할 수 있지만 열 유량계의 정확도는 교정 목적에 사용된 것과 동일한 실제 가스 혼합물에 따라 다릅니다. 즉, 실제로 흐르는 가스의 조성이 다른 경우 주어진 가스 혼합물에 대해 보정된 열 유량계의 정확도가 감소합니다. [2]

2. CVD 기계
CVD 란 무엇입니까?

기상 증착(CVD)은 고품질, 고성능 고체 재료를 생산하는 데 사용되는 진공 증착 방법입니다. 이 공정은 일반적으로 반도체 산업에서 박막을 생산하는 데 사용됩니다.

일반적인 CVD에서 웨이퍼(기판)는 원하는 증착물을 생성하기 위해 기판 표면에서 반응 및/또는 분해하는 하나 이상의 휘발성 전구체에 노출됩니다. 휘발성 부산물도 일반적으로 생성되며, 이는 반응 챔버를 통한 가스 흐름에 의해 제거됩니다.

미세 가공 공정은 단결정, 다결정, 비정질 및 에피택시를 비롯한 다양한 형태의 재료를 증착하기 위해 CVD를 널리 사용합니다. 이러한 재료에는 실리콘(이산화탄소, 탄화물, 질화물, 산질화물), 탄소(섬유, 나노섬유, 나노튜브, 다이아몬드 및 그래핀), 탄화불소, 필라멘트, 텅스텐, 질화티타늄 및 다양한 고유전율 유전체가 포함됩니다.

 

3. 밸브 박스/패널(VMB/VMP)
VMB/VMP란?

가스 취급 경험을 통해 EPI 시스템, MOCVD, 재료 공급 시스템 등을 위한 패널(가스 상자)을 설계 및 제조하는 지식을 얻었습니다.
우리의 사업 성과 중 우리는 고객 요구 사항(가격 및 사양)에 맞는 제품을 설계 및 제조할 수 있습니다. 일반 가스뿐만 아니라 허브 링용 액화 가스 공급도 처리할 수 있습니다. 다양한 법률 지원도 하고 있습니다.

유량 범위

시리즈 TMFM6012 TMFM6019
유량 범위(N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
턴다운 비율 100:1
정도 ±1.5 % FS
재표시 정확도 ±0.75 % FS
압력 저항 1.0Mpa
누출율 1 x 10-9 atm.cc/sec 이하
작동 온도 범위 -10~55℃, <95%RH
가스 접촉부 재료 본체: SUS316
연결 크기 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
상호 작용 NPT, BSPT 또는 고객 지정
옵션: 1/2″, 3/4″ 압축, VCR™
흐름 출력 신호 4~20mA 또는 RS-485
수요 전압 +8~24Vdc/35mA

주문 모델

주문 모델
TMFM60 코딩 서브코딩 유량 범위                
 

 
12 20 0.3~200SLM(표준형)
  12 30 0.9~300SLM
  19 60 0.8~600SLM(표준형)
  19 80 1.12~800SLM
   

 
  코딩 유체 유형
      공기
      N 질소(N2)
      영형 산소(O2)
      아르곤(아르곤)
      이자형 이산화탄소(CO2)
      시간 헬륨(그)
      에스 특수가스(기타 가스는 고객센터로 문의)
       

 
코딩 압력 범위
        트리플 엑스 XXX Mpa 예: 03.0Mpa->030 채우기(최대 작동 압력)
         

 
코딩 출력 신호
          4~20mA
          RS-485
           

 
코딩 연결 크기
            12 1/2″(TMFM6012용)
            19 3/4″(TMFM6019용)
              코딩 상호 작용
              N NPT
              BSPT
              압축 SWL
              V 남성용 VCR
                코딩 감시 장치
                모니터와 함께
                N 디스플레이 없음
                  코딩 상표
                  이자형 FGT 상표
                  엑스 맞춤형 로고
             

 
         
TMFM60                   완전한 주문 모델
*참고: 모든 모델은 전원 공급 장치(+8~24 Vdc/35mA)와 함께 제공됩니다.
*참고: OEM 주문은 100개 이상 주문에 사용할 수 있습니다.
문의 양식