應用領域

質量流量計，也稱為慣性流量計，是一種測量通過管道的流體質量流量的設備。 質量流率是每單位時間經過固定點的流體的質量。
質量流量計不會測量通過設備的每單位時間的體積（例如每秒立方米）； 它測量流過設備的單位時間的質量（例如，每秒千克）。 體積流量是質量流量除以流體密度。 如果密度恆定，則關係很簡單。 如果流體具有變化的密度，則關係不簡單。 流體的密度可能會隨溫度，壓力或成分的變化而變化。 流體也可以是相的組合，例如帶有夾帶氣泡的流體。 由於聲速取決於受控液體濃度，可以確定實際密度。[1]

MFM應用
1.智能管道監控器
熱質量流量計在工業應用中很受歡迎的主要原因是其設計和製造方式。它們沒有運動部件，幾乎沒有阻礙直通的流路，不需要溫度或壓力校正，並在很寬的流量範圍內保持精度。通過使用雙板流量調節元件可以減少直管段，並且安裝非常簡單，並且不會造成管道侵入。

但是，在許多應用中，流體的熱性能可能取決於流體成分。在此類應用中，實際操作期間流體成分的變化會影響熱流測量。因此，對於熱流量計供應商而言，重要的是要了解流體的成分，以便可以使用適當的校準係數來準確確定流量。供應商可以為其他氣體混合物提供適當的校准信息，但是熱流量計的精度取決於實際的氣體混合物與用於校準目的的氣體混合物相同。換句話說，如果實際流動的氣體具有不同的成分，則針對給定的氣體混合物校準的熱流量計的精度將會降低。[2]

2.CVD機
什麼是CVD

氣相沉積（CVD）是一種真空沉積方法，用於生產高質量，高性能的固體材料。該工藝通常在半導體工業中用於生產薄膜。

在典型的CVD中，晶片（基材）暴露於一種或多種易揮發的前體中，該前體在基材表面上反應和/或分解以產生所需的沉積物。通常還會產生揮發性副產物，這些副產物會被流過反應室的氣流除去。

微加工工藝廣泛使用CVD沉積各種形式的材料，包括：單晶，多晶，非晶和外延。這些材料包括：矽（二氧化碳，碳化物，氮化物，氮氧化物），碳（纖維，納米纖維，納米管，金剛石和石墨烯），碳氟化合物，細絲，鎢，氮化鈦和各種高k電介質。

3.閥箱/面板（VMB / VMP）
什麼是VMB / VMP

通過我們在處理氣體方面的經驗，我們獲得了設計和製造EPI系統，MOCVD，材料供應系統等的面板（氣箱）的知識。
在我們的業務成就中，我們能夠設計和製造滿足客戶要求（價格和規格）的產品。我們不僅可以處理普通氣體，還可以處理輪轂環的液化氣供應。我們還支持各種法律申請。