TMFM6000 類型:質量流量計

TMFM6000 類型:質量流量計

  • 可拆卸的顯示器可以通過特殊設計的電纜放置在遠離流動通道的位置
  • 標準4〜20mA或RS485用於遠程數據通訊。
  • 衛生級不銹鋼(SUS)閥體可用於氧氣計量。
  • 擴展範圍功能可進行精確的流量監控
  • 本安型外殼。

描述

  • 可拆卸的顯示器可以通過特殊設計的電纜放置在遠離流動通道的位置
  • 標準4〜20mA或RS485用於遠程數據通訊。
  • 衛生級不銹鋼(SUS)閥體可用於氧氣計量。
  • 擴展範圍功能可進行精確的流量監控
  • 本安型外殼。

什麼是熱質量流量計?

熱質量流量計是一種精確,易於安裝的低壓降型流量計。它適用於流量測量和控制干燥氣體應用。也可以通過氣體類型參考鏈接應用程序來獲得熱質量流量計。質量流量計觀察其加熱的換能器上的冷卻效果隨氣流的變化。與其他氣體流量測量設備相比,其結果以低成本實現了高水平的精度。

好處

  • ·準確度高
  • ·流量範圍廣,包括低流量
  • ·簡單,耐用的結構
  • ·易於安裝和維護
  • ·靈活連接流量儀表以進行流量控制
  • ·各種過程連接
  • ·調節比100:1
  • ·流量計上的低壓降
  • ·提供方便的信號輸出

熱質量流量計原理

熱質量流量計使用流體的熱性質來測量在管道或管中的流體的運動。在熱能流量計中,將測得的熱量施加到傳感器的加熱器上。在流動過程中會損失一定數量的能量,並且隨著流動的增加,會損失更多的能量。傳感器損失的能量取決於流體的熱特性和傳感器設計。流體的熱壓特性可能會隨溫度和壓力而變化,儘管這些變化在大多數應用中通常無關緊要。由於熱流量測量不取決於流體的溫度或壓力,因此可以使用熱能流量計來估計流體的質量流量。

換句話說,在大多數應用中,流體的性質可能取決於其成分。對於這些應用,在實際操作期間流體的不同成分可能會干擾熱流尺寸。因此,對於熱質量流量計提供商來說,了解流體的成分非常重要,這樣就可以處理合適的標準化因子來精確地確定流量。由於該限制,熱質量流量計通常用於測量純淨氣體的流量。製造商可以為其他氣體組合提供適當的標準化信息,但是熱質量流量計的精度取決於實際氣體混合物與用於標準化目的的氣體混合物是否相同。

技術規格

系列 TMFM6012 TMFM6019
流量範圍(N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
量程比 100:1
精度 ±1.5 % FS
再顯精度 ±0.75 % FS
耐壓 1.0Mpa
洩漏率 1 x 10-9 atm.cc/sec or less
工作溫度範圍 -10~55℃,<95%RH
帶有氣體的接觸零件的材料 Body:SUS316
接續尺寸 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
接口方式 NPT,BSPT,或客戶指定
Option: 1/2″,3/4″ compression,VCR™
流量輸出訊號 4~20mA or RS-485
需求電壓 +8~24 Vdc/35mA

應用領域

什麼是MFM

質量流量計,也稱為慣性流量計,是一種測量通過管道的流體質量流量的設備。 質量流率是每單位時間經過固定點的流體的質量。
質量流量計不會測量通過設備的每單位時間的體積(例如每秒立方米); 它測量流過設備的單位時間的質量(例如,每秒千克)。 體積流量是質量流量除以流體密度。 如果密度恆定,則關係很簡單。 如果流體具有變化的密度,則關係不簡單。 流體的密度可能會隨溫度,壓力或成分的變化而變化。 流體也可以是相的組合,例如帶有夾帶氣泡的流體。 由於聲速取決於受控液體濃度,可以確定實際密度。[1]

MFM應用
1.智能管道監控器
熱質量流量計在工業應用中很受歡迎的主要原因是其設計和製造方式。它們沒有運動部件,幾乎沒有阻礙直通的流路,不需要溫度或壓力校正,並在很寬的流量範圍內保持精度。通過使用雙板流量調節元件可以減少直管段,並且安裝非常簡單,並且不會造成管道侵入。

但是,在許多應用中,流體的熱性能可能取決於流體成分。在此類應用中,實際操作期間流體成分的變化會影響熱流測量。因此,對於熱流量計供應商而言,重要的是要了解流體的成分,以便可以使用適當的校準係數來準確確定流量。供應商可以為其他氣體混合物提供適當的校准信息,但是熱流量計的精度取決於實際的氣體混合物與用於校準目的的氣體混合物相同。換句話說,如果實際流動的氣體具有不同的成分,則針對給定的氣體混合物校準的熱流量計的精度將會降低。[2]

2.CVD機
什麼是CVD

氣相沉積(CVD)是一種真空沉積方法,用於生產高質量,高性能的固體材料。該工藝通常在半導體工業中用於生產薄膜。

在典型的CVD中,晶片(基材)暴露於一種或多種易揮發的前體中,該前體在基材表面上反應和/或分解以產生所需的沉積物。通常還會產生揮發性副產物,這些副產物會被流過反應室的氣流除去。

微加工工藝廣泛使用CVD沉積各種形式的材料,包括:單晶,多晶,非晶和外延。這些材料包括:矽(二氧化碳,碳化物,氮化物,氮氧化物),碳(纖維,納米纖維,納米管,金剛石和石墨烯),碳氟化合物,細絲,鎢,氮化鈦和各種高k電介質。

 

3.閥箱/面板(VMB / VMP)
什麼是VMB / VMP

通過我們在處理氣體方面的經驗,我們獲得了設計和製造EPI系統,MOCVD,材料供應系統等的面板(氣箱)的知識。
在我們的業務成就中,我們能夠設計和製造滿足客戶要求(價格和規格)的產品。我們不僅可以處理普通氣體,還可以處理輪轂環的液化氣供應。我們還支持各種法律申請。

流量範圍

系列 TMFM6012 TMFM6019
流量範圍(N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
量程比 100:1
精度 ±1.5 % FS
再顯精度 ±0.75 % FS
耐壓 1.0Mpa
洩漏率 1 x 10-9 atm.cc/sec or less
工作溫度範圍 -10~55℃,<95%RH
帶有氣體的接觸零件的材料 Body:SUS316
接續尺寸 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
接口方式 NPT,BSPT,或客戶指定
Option: 1/2″,3/4″ compression,VCR™
流量輸出訊號 4~20mA or RS-485
需求電壓 +8~24 Vdc/35mA

訂購型號

訂購型號
TMFM60 編碼 子編碼 流量範圍                
 

 
12 20 0.3~200SLM(標準類型)
  12 30 0.9~300SLM
  19 60 0.8~600SLM(標準類型)
  19 80 1.12~800SLM
   

 
  編碼 流體類型
      A 空氣
      N 氮氣(N2)
      O 氧氣(O2)
      C 氬氣(Ar)
      E 二氧化碳(CO2)
      H 氦氣(He)
      S 特殊氣體(其他氣體請聯繫客服中心)
       

 
編碼 壓力範圍
        XXX XXX Mpa e,g.03.0Mpa->填寫030(最大工作壓力)
         

 
編碼 輸出訊號
          A 4~20mA
          B RS-485
           

 
編碼 接續尺寸
            12 1/2″(適用於TMFM6012)
            19 3/4″(適用於TMFM6019)
              編碼 接口方式
              N NPT
              B BSPT
              A Compression SWL
              V Male VCR
                編碼 顯示器
                D 帶顯示器
                N 無待顯示器
                  編碼 廠牌
                  E FGT商標
                  X 客制化商標
             

 
         
TMFM60                   完整下單型號
*注:所有型號均配有電源(+ 8〜24 Vdc / 35mA)
*注:下單數量滿100可接受OEM訂製
詢價表單