TMFM6000 Tipo: MEDIDOR DE FLUJO másico

TMFM6000 Tipo: MEDIDOR DE FLUJO másico

Medidor de flujo másico TMFM6000 | aplicación de control de flujo de gas: máquina de limpieza por plasma | caja/placa de válvula desviadora de gas | control de flujo de salida del gabinete del cilindro de gas | control de salida del generador de gas | control de soldadura por llama | medición de tuberías de fuente de gas

Medidor de flujo másico TMFM6000 | Control de flujo de gas

  • Rendimiento de alta precisión a caudales bajos
  • Velocidad de respuesta (≦1.0)
  • Alta compatibilidad de conexión
  • alta estabilidad
  • Valor de resistencia a la corrosión
  • excelente linealidad
  • Excelente estabilidad a largo plazo
  • Diseño modular
  • Sistema de control de flujo compacto

¿Qué es un medidor de flujo másico térmico?

Medidor de flujo másico térmicoes un caudalímetro preciso, fácil de instalar y de baja caída de presión. Es adecuado para la medición y el control de flujo de aplicaciones de gas seco. puede tambiénpor tipo de gasLink de referenciaaplicación aObtenga un medidor de flujo másico térmico. Un medidor de flujo másico observa el efecto de enfriamiento en el transductor que calienta en función del flujo de aire. El resultado logra un alto nivel de precisión a bajo costo en comparación con otros dispositivos de medición de flujo de gas.

beneficio:

  • ·Alta precisión
  • Amplio rango de flujo, incluido el flujo bajo
  • · Construcción simple y duradera
  • ·Fácil de instalar y mantener
  • Conexión flexible de caudalímetros para control de caudal
  • · Diversas conexiones de proceso
  • ·Relación de sintonía 100:1
  • Caída de presión baja a través del medidor de flujo
  • ·Proporciona salida de señal conveniente

Principio del medidor de flujo másico térmico

Medidor de flujo másico térmicoUse las propiedades térmicas del fluido para medir el movimiento del fluido en una tubería o tubo. En un medidor de flujo de energía térmica, el calor medido se aplica al calentador del sensor. Se pierde una cierta cantidad de energía durante el flujo y, a medida que aumenta el flujo, se pierde más energía. La energía perdida por el sensor depende de las propiedades térmicas del fluido y del diseño del sensor. Las propiedades termocompresivas de los fluidos pueden variar con la temperatura y la presión, aunque estos cambios suelen ser insignificantes en la mayoría de las aplicaciones. Dado que la medición del flujo térmico no depende de la temperatura o la presión del fluido, los medidores de flujo de energía térmica se pueden usar para estimar el flujo másico del fluido.

En otras palabras, en la mayoría de las aplicaciones, las propiedades de un fluido pueden depender de su composición. Para estas aplicaciones, las diferentes composiciones del fluido pueden interferir con el tamaño del flujo de calor durante la operación real. Por lo tanto, paraMedidor de flujo másico térmicoEs importante que el proveedor comprenda la composición del fluido para que se puedan procesar los factores de normalización apropiados para determinar con precisión el caudal. Debido a esta limitación,Medidor de flujo másico térmicoUsualmente se usa para medir el flujo de gas puro. Los fabricantes pueden proporcionar información estandarizada apropiada para otras combinaciones de gases, peroMedidor de flujo másico térmicoLa precisión del depende de si la mezcla de gases real es la misma que la mezcla de gases utilizada con fines de normalización.

Aplicaciones de controlador de flujo másico

  • Limpiador de plasma
  • Caja/panel de válvula de desvío de gas
  • Control de flujo de salida del gabinete del cilindro de gas
  • Control de salida del generador de gas
  • control de soldadura por llama
  • Medición de tuberías de fuente de gas

Suponga que desea proporcionar gas para un proceso de mezcla de gases químicos, entonces un controlador de flujo másico es el dispositivo adecuado. Se utilizan en los siguientes procesos:

Agregue gas a la tubería de mezcla para facilitar el ajuste de la proporción

  • Monitoreo de flujo de generador de gas o tubería de mezcla de gas industrial
  • Agregar gas mixto al suministro de generación de plasma

En todos estos ejemplos, el proceso requiere un suministro repetible y preciso de compuestos de gas. Esto le permite proceder de manera controlada con un rendimiento óptimo del producto y un riesgo mínimo de rendimiento deficiente o excesivo del proceso, como desperdiciar reactivos gaseosos no utilizados o procesos fuera de control. Los controladores de flujo másico se utilizan para este propósito.

¿Qué tipos de controladores de caudal másico existen en la serie TMFM/TMFC?

Los controladores de flujo másico térmico utilizan la técnica de detección de masa térmica de los gases para controlar su flujo másico. En la cartera de TMFC tenemos varios controladores de flujo másico térmico, cada uno con su propia tecnología de sensores:

Controladores de caudal másico que utilizan sensores de derivación. Estos dispositivos, como TMFC y TMFM, son ideales para aplicaciones de gas limpio y seco donde se requiere una mayor precisión y repetibilidad.
Controlador de flujo másico usando el principio en línea. Series como la serie TMFC y TMFM son perfectas si su aplicación tiene gases de alta pureza por encima de 99.9%, o cuando la alta repetibilidad y la robustez son más importantes que la precisión.
Controlador de caudal másico de gas mediante tecnología de control de tuberías. Estas series se destacan porque pueden medir y controlar el flujo de gas.
Siempre que sea necesario mostrar su flujo másico y en un amplio rango de flujo, una serie de gases que utilice tecnología de sensor de chip MEMS como el TMFM6000 es perfecta.
Controladores de flujo másico de gas que utilizan tecnología en línea (CMOS).

Principio del controlador de caudal másico ( MFC ) / Principio del controlador de caudal

Un controlador de flujo másico (MFC) es un dispositivo utilizado para medir y controlar el flujo de líquidos y gases. [1] Los controladores de flujo másico están diseñados y calibrados para controlar un tipo específico de líquido o gas en un rango de flujo específico. El MFC puede tener un punto de ajuste entre 0% y 100% de su rango de escala completa, pero generalmente opera dentro del rango de escala completa de 10% a 90% para una mejor precisión. Luego, el dispositivo controlará el caudal hasta el punto de ajuste dado. Los MFC pueden ser analógicos o digitales. Los controladores de flujo digitales suelen ser capaces de controlar más de un fluido, mientras que los controladores analógicos se limitan a los fluidos para los que están calibrados.

Todos los controladores de flujo másico tienen un puerto de entrada, un puerto de salida, un sensor de flujo másico y una válvula de control proporcional. El MFC está equipado con un sistema de control de circuito cerrado en el que el operador (o un circuito externo/computadora) proporciona una señal de entrada que se compara con el valor del sensor de caudal másico y ajusta la válvula proporcional en consecuencia para lograr el caudal deseado. El flujo se especifica como un porcentaje de su flujo de escala completa calibrado y se proporciona al MFC como una señal de voltaje.

Los controladores de flujo másico requieren que el gas o líquido de suministro esté dentro de un rango de presión específico. La baja presión agotará el fluido del MFC y evitará que alcance su punto de referencia. Las altas presiones pueden causar caudales erráticos. Existen muchas tecnologías diferentes que ayudan a medir el flujo de fluidos y, en última instancia, ayudan a controlar el flujo. Estas tecnologías definen los tipos de controladores de flujo másico e incluyen presión diferencial (ΔP), temperatura diferencial (ΔT), fuerza de Coriolis, ultrasónico, electromagnético, de turbina, etc.

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Instalación de medidor de flujo másico

Ahora hay cada vez más aplicaciones de caudalímetros másicos, y algunas ocasiones en las que se instalan caudalímetros másicos por primera vez no tienen claro el método de instalación de caudalímetros másicos, instalación inversa, instalación incorrecta, etc., que afectan el uso normal del Este artículo trata este problema Describe en detalle cómo instalar un medidor de flujo másico.

La tensión mecánica excesiva durante la instalación del sensor afectará el punto cero del caudalímetro másico. Si estas tensiones cambian constantemente, la deriva del punto cero del medidor provocará una medición imprecisa y no funcionará con normalidad. Por lo tanto, la correcta instalación del caudalímetro másico es una parte importante para garantizar el normal funcionamiento del equipo.

1. Elija el método de instalación

El método de instalación del sensor se determina principalmente de acuerdo con la diferencia de fase del fluido y sus condiciones de proceso.Existen tres métodos de instalación.

1. Si el fluido medido es un líquido, el sensor generalmente se instala con la carcasa hacia abajo para evitar la acumulación de aire en el tubo vibratorio del sensor, a fin de lograr el propósito de medir con precisión el caudal másico.

2. Si el fluido medido es gas, el sensor generalmente se instala con la carcasa hacia arriba para evitar la acumulación de condensado en el tubo de vibración del sensor.

3. Si el fluido medido es una mezcla de líquido y sólido, instale el sensor en una carretera oficial vertical, lo que puede evitar que se acumulen partículas en el tubo de medición de fuerza de Coriolis del sensor. Además, si es necesario limpiar la tubería del proceso con gas y vapor, este método de instalación también puede facilitar la limpieza, pero este método de instalación es más difícil de arreglar que los dos anteriores y la pérdida de presión es mayor.

Método de instalación del medidor de flujo másico
Instalación del concepto de caudalímetro másico

 

 

 

 

 

controlador de flujo de gas

controladores de flujo másico de gas

Fórmula de caudal másico

Tipos de caudalímetros másicos

flujómetro másico inglés

de acuerdo aSitio web chino de tres grados.Múltiples interpretaciones caudalímetro másico【término informático electrónico】medidor de caudal másico【ingeniería mecánica】sensor de caudalímetro másico【término de ciencias marinas-ingeniería submarina】flujo másico térmico【ingeniería electrónica】medición de caudal másico【ingeniería eléctrica】

Especificaciones técnicas

serie TMFM6012 TMFM6019
Rango de caudal (N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
Relación de rechazo 100:1
precisión ±1,5 % FS
Volver a mostrar la precisión ±0,75 % FS
Resistencia a la presión 1.0Mpa
tasa de fuga 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos
rango de temperatura de trabajo -10~55℃,<95%RH
Materiales para piezas en contacto con gas. Cuerpo: SUS316
Tamaño de la conexión 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
interfaz NPT, BSPT o especificado por el cliente
Opción: compresión de 1/2″, 3/4″, VCR™
señal de salida de caudal 4~20mA o RS-485
tensión de demanda +8~24Vcc/35mA

solicitud

¿Qué es MFM?

Un caudalímetro másico, también conocido como caudalímetro inercial, es un dispositivo que mide el caudal másico de un fluido a través de una tubería. El caudal másico es la masa de fluido que pasa por un punto fijo por unidad de tiempo.
Un medidor de flujo másico no mide el volumen por unidad de tiempo (p. ej., metros cúbicos por segundo) que pasa a través del dispositivo, mide la masa por unidad de tiempo (p. ej., kilogramos por segundo) que fluye a través del dispositivo. El caudal volumétrico es el caudal másico dividido por la densidad del fluido. Si la densidad es constante, la relación es simple. La relación no es simple si el fluido tiene una densidad variable. La densidad de los fluidos puede variar con la temperatura, la presión o la composición. El fluido también puede ser una combinación de fases, como un fluido con burbujas de aire arrastradas. Dado que la velocidad del sonido depende de la concentración de líquido controlada, se puede determinar la densidad real. [1]

aplicación MFM
1. Monitor inteligente de tuberías
La razón principal por la que los medidores de flujo másico térmico son populares en aplicaciones industriales es la forma en que están diseñados y fabricados. No tienen partes móviles, virtualmente no obstruyen una ruta de flujo recta, no requieren corrección de temperatura o presión y mantienen la precisión en un amplio rango de flujo. Los tramos rectos de tubería se pueden reducir mediante el uso de un elemento acondicionador de flujo de placa doble, y la instalación es muy simple y no provoca la intrusión de la tubería.

Sin embargo, en muchas aplicaciones, las propiedades térmicas del fluido pueden depender de la composición del fluido. En tales aplicaciones, los cambios en la composición del fluido durante la operación real pueden afectar las mediciones del flujo de calor. Por lo tanto, es importante que los proveedores de caudalímetros térmicos entiendan la composición del fluido para poder utilizar los factores de calibración apropiados para determinar el caudal con precisión. Los proveedores pueden proporcionar información de calibración adecuada para otras mezclas de gases, pero la precisión de los medidores de flujo térmico depende de que la mezcla de gases real sea la misma que la utilizada para la calibración. En otras palabras, la precisión de un medidor de flujo térmico calibrado para una mezcla de gases dada se reducirá si el gas que realmente fluye tiene una composición diferente. [2]

2. máquina CVD
¿Qué es el CVD?

La deposición de vapor (CVD) es un método de deposición al vacío que se utiliza para producir materiales sólidos de alta calidad y alto rendimiento. Este proceso se usa comúnmente en la industria de los semiconductores para producir películas delgadas.

En CVD típico, la oblea (sustrato) se expone a uno o más precursores volátiles que reaccionan y/o se descomponen en la superficie del sustrato para producir los depósitos deseados. Típicamente también se producen subproductos volátiles, que son eliminados por el flujo de gas a través de la cámara de reacción.

Los procesos de microfabricación utilizan ampliamente CVD para depositar diversas formas de materiales, incluidos: monocristalino, policristalino, amorfo y epitaxia. Estos materiales incluyen: silicio (dióxido de carbono, carburos, nitruros, oxinitruros), carbono (fibras, nanofibras, nanotubos, diamante y grafeno), fluorocarbonos, filamentos, tungsteno, nitruro de titanio y varios dieléctricos de alto k.

 

3. Caja/panel de válvulas (VMB/VMP)
¿Qué es VMB/VMP?

A través de nuestra experiencia en el manejo de gases, hemos adquirido el conocimiento para diseñar y fabricar paneles (cajas de gas) para sistemas EPI, MOCVD, sistemas de suministro de materiales y más.
Entre nuestros logros comerciales, somos capaces de diseñar y fabricar productos que cumplan con los requisitos del cliente (precio y especificaciones). Podemos manejar no solo el suministro de gas normal, sino también el de gas licuado para anillos de cubo. También apoyamos varias aplicaciones legales.

Rango de flujo

serie TMFM6012 TMFM6019
Rango de caudal (N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
Relación de rechazo 100:1
precisión ±1,5 % FS
Volver a mostrar la precisión ±0,75 % FS
Resistencia a la presión 1.0Mpa
tasa de fuga 1 x 10-9 atm.cc/seg o menos
rango de temperatura de trabajo -10~55℃,<95%RH
Materiales para piezas en contacto con gas. Cuerpo: SUS316
Tamaño de la conexión 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
interfaz NPT, BSPT o especificado por el cliente
Opción: compresión de 1/2″, 3/4″, VCR™
señal de salida de caudal 4~20mA o RS-485
tensión de demanda +8~24Vcc/35mA

Información sobre pedidos

Modelo de pedido
TMFM60 codificación subcodificación Rango de flujo
 

12 20 0.3~200SLM (tipo estándar)
12 30 0.9~300SLM
19 60 0.8~600SLM (tipo estándar)
19 80 1.12~800SLM
 

codificación tipo de fluido
A Aire
norte Nitrógeno (N2)
O Oxígeno (O2)
C Argón (Ar)
mi dióxido de carbono (CO2)
H Helio (He)
S Gases especiales (para otros gases consultar con el centro de atención al cliente)
 

codificación rango de presión
XXX XXX Mpa p. ej., 03,0 Mpa->completar 030 (presión máxima de trabajo)
 

codificación señal de salida
A 4~20mA
B RS-485
 

codificación Tamaño de la conexión
12 1/2″ (para TMFM6012)
19 3/4″ (para TMFM6019)
codificación interfaz
norte TNP
B BSPT
A Compresión SWL
V Videograbadora masculina
codificación monitor
D con monitor
norte sin pantalla
codificación etiqueta
mi marca registrada FGT
X logotipo personalizado
 

TMFM60 Modelo de pedido completo
*Nota: Todos los modelos vienen con fuente de alimentación (+8~24 Vdc/35mA)
*Nota: Los pedidos OEM están disponibles para pedidos superiores a 100

software de internet de las cosas

Software de sensor de nube SMM

desde Google Playdescargar

desde Tienda de aplicacionesdescargar

 

certificado

tmfm6000 Tipo: Medidor de flujo másico First General Technology Co., Ltd. | first general technology inc.Certificación de conformidad europea - Wikipedia, la enciclopedia libre

Necesidades especiales

Requisitos del medidor de flujo

Requisitos del medidor de flujo

tipo de fluido
unidad de flujo
unidad de tubería
Modo de instalación
Formulario de consulta