TMFM6000 Loại: Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng

TMFM6000 Loại: Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng

Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng TMFM6000 | ứng dụng kiểm soát lưu lượng khí: máy làm sạch plasma | hộp / tấm van chuyển hướng khí | kiểm soát lưu lượng đầu ra của tủ xi lanh khí | kiểm soát đầu ra của máy phát khí | kiểm soát ngọn lửa hàn | đo đường ống nguồn khí

Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng TMFM6000 | Điều khiển lưu lượng khí

  • Hiệu suất chính xác cao ở tốc độ dòng chảy thấp
  • Tốc độ phản hồi (≦ 1,0)
  • Khả năng tương thích kết nối cao
  • ổn định cao
  • Giá trị chống ăn mòn
  • tuyến tính tuyệt vời
  • Ổn định lâu dài tuyệt vời
  • Thiết kế mô-đun
  • Hệ thống kiểm soát dòng chảy nhỏ gọn

Máy đo lưu lượng nhiệt là gì?

Máy đo lưu lượng nhiệtlà lưu lượng kế chính xác, dễ lắp đặt, giảm áp suất thấp. Nó phù hợp để đo lưu lượng và kiểm soát các ứng dụng khí khô. cũng có thểtheo loại khíLiên kết tham khảoứng dụng choLấy một thiết bị đo lưu lượng nhiệt. Một đồng hồ đo lưu lượng khối lượng quan sát hiệu ứng làm mát trên đầu dò mà nó làm nóng như một chức năng của luồng không khí. Kết quả đạt được độ chính xác cao với chi phí thấp so với các thiết bị đo lưu lượng khí khác.

ích lợi:

  • ·Độ chính xác cao
  • Phạm vi lưu lượng rộng, bao gồm cả lưu lượng thấp
  • · Xây dựng đơn giản, bền
  • ·Thật dễ dàng để cài đặt và bảo trì
  • Kết nối linh hoạt các đồng hồ đo lưu lượng để kiểm soát lưu lượng
  • · Các kết nối quy trình khác nhau
  • · Tỷ lệ điều chỉnh 100: 1
  • Giảm áp suất thấp trên đồng hồ đo lưu lượng
  • · Cung cấp đầu ra tín hiệu thuận tiện

Nguyên lý đồng hồ đo lưu lượng nhiệt

Máy đo lưu lượng nhiệtSử dụng các đặc tính nhiệt của chất lỏng để đo chuyển động của chất lỏng trong ống hoặc ống. Trong đồng hồ đo lưu lượng năng lượng nhiệt, nhiệt đo được sẽ được áp dụng cho bộ gia nhiệt của cảm biến. Một lượng năng lượng nhất định bị mất trong quá trình dòng chảy, và khi dòng chảy tăng lên, nhiều năng lượng bị mất hơn. Năng lượng bị mất đi bởi cảm biến phụ thuộc vào đặc tính nhiệt của chất lỏng và thiết kế cảm biến. Các đặc tính nén nhiệt của chất lỏng có thể thay đổi theo nhiệt độ và áp suất, mặc dù những thay đổi này thường không đáng kể trong hầu hết các ứng dụng. Vì phép đo lưu lượng nhiệt không phụ thuộc vào nhiệt độ hoặc áp suất của chất lỏng, đồng hồ đo lưu lượng năng lượng nhiệt có thể được sử dụng để ước tính lưu lượng khối lượng của chất lỏng.

Nói cách khác, trong hầu hết các ứng dụng, các đặc tính của chất lưu có thể phụ thuộc vào thành phần của nó. Đối với các ứng dụng này, các thành phần khác nhau của chất lỏng có thể ảnh hưởng đến kích thước dòng nhiệt trong quá trình vận hành thực tế. Do đó, đối vớiMáy đo lưu lượng nhiệtĐiều quan trọng là nhà cung cấp phải hiểu thành phần của chất lỏng để có thể xử lý các yếu tố chuẩn hóa thích hợp để xác định chính xác tốc độ dòng chảy. Do hạn chế này,Máy đo lưu lượng nhiệtThường được sử dụng để đo lưu lượng của khí tinh khiết. Các nhà sản xuất có thể cung cấp thông tin tiêu chuẩn hóa thích hợp cho các kết hợp khí khác, nhưngMáy đo lưu lượng nhiệtĐộ chính xác của giá trị phụ thuộc vào việc hỗn hợp khí thực tế có giống với hỗn hợp khí được sử dụng cho mục đích chuẩn hóa hay không.

Ứng dụng điều khiển lưu lượng lớn

  • Máy làm sạch plasma
  • Hộp/bảng van chuyển hướng gas
  • Kiểm soát lưu lượng đầu ra tủ xi lanh khí
  • Kiểm soát đầu ra máy phát điện khí
  • kiểm soát ngọn lửa hàn
  • Đo đường ống nguồn khí

Giả sử bạn muốn cung cấp khí đốt cho quy trình trộn khí hóa học, thì bộ điều khiển lưu lượng khối lượng là thiết bị phù hợp. Chúng được sử dụng trong các quy trình sau:

Thêm khí vào ống trộn để dễ dàng điều chỉnh tỷ lệ

  • Giám sát đường ống trộn khí công nghiệp hoặc giám sát lưu lượng máy phát khí
  • Thêm khí hỗn hợp vào nguồn cung cấp tạo plasma

Trong tất cả các ví dụ này, quy trình yêu cầu cung cấp hợp chất khí chính xác và lặp lại. Điều này cho phép bạn tiến hành một cách có kiểm soát với năng suất sản phẩm tối ưu và rủi ro tối thiểu về hiệu suất quy trình kém hoặc quá mức, chẳng hạn như lãng phí các chất phản ứng dạng khí không sử dụng hoặc các quy trình chạy sai. Bộ điều khiển lưu lượng lớn được sử dụng cho mục đích này.

Những loại bộ điều khiển lưu lượng lớn nào tồn tại trong sê-ri TMFM/TMFC?

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng nhiệt sử dụng kỹ thuật cảm biến khối lượng nhiệt của khí để kiểm soát lưu lượng khối lượng của chúng. Trong danh mục TMFC, chúng tôi có một số bộ điều khiển lưu lượng nhiệt, mỗi bộ có công nghệ cảm biến riêng:

Bộ điều khiển lưu lượng lớn sử dụng cảm biến bỏ qua. Các thiết bị này, chẳng hạn như TMFC và TMFM, rất lý tưởng cho các ứng dụng khí khô và sạch, nơi yêu cầu độ chính xác và độ lặp lại cao hơn.
Bộ điều khiển lưu lượng lớn sử dụng nguyên tắc trực tuyến. Các sê-ri như sê-ri TMFC và TMFM là hoàn hảo nếu ứng dụng của bạn có khí có độ tinh khiết cao trên 99,9% hoặc khi độ lặp lại và độ bền cao quan trọng hơn độ chính xác.
Bộ điều khiển lưu lượng khí sử dụng công nghệ điều khiển đường ống. Dòng sản phẩm này nổi bật vì chúng có thể đo và kiểm soát lưu lượng khí.
Bất cứ khi nào lưu lượng khối lượng của bạn cần được hiển thị và trên một phạm vi lưu lượng rộng, dòng khí sử dụng công nghệ cảm biến chip MEMS như TMFM6000 là hoàn hảo.
Bộ điều khiển lưu lượng khí sử dụng công nghệ nội tuyến (CMOS).

Nguyên tắc điều khiển lưu lượng lớn ( MFC ) / Nguyên tắc điều khiển lưu lượng

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng (MFC) là một thiết bị được sử dụng để đo lường và kiểm soát dòng chảy của chất lỏng và chất khí. [1] Bộ điều khiển lưu lượng lớn được thiết kế và hiệu chuẩn để kiểm soát một loại chất lỏng hoặc khí cụ thể trong một phạm vi lưu lượng cụ thể. MFC có thể có điểm đặt trong khoảng từ 0% đến 100% trong phạm vi tỷ lệ đầy đủ của nó, nhưng thường hoạt động trong phạm vi tỷ lệ đầy đủ từ 10% đến 90% để có độ chính xác tốt nhất. Sau đó, thiết bị sẽ kiểm soát tốc độ dòng chảy đến điểm đặt nhất định. MFC có thể là analog hoặc kỹ thuật số.Bộ điều khiển lưu lượng kỹ thuật số thường có khả năng điều khiển nhiều chất lỏng, trong khi bộ điều khiển analog bị giới hạn ở chất lỏng mà chúng được hiệu chuẩn.

Tất cả các bộ điều khiển lưu lượng khối lượng đều có cổng vào, cổng ra, cảm biến lưu lượng khối lượng và van điều khiển tỷ lệ. MFC được trang bị hệ thống điều khiển vòng kín trong đó người vận hành (hoặc mạch ngoài/máy tính) cung cấp tín hiệu đầu vào được so sánh với giá trị của cảm biến lưu lượng khối lượng và điều chỉnh van tỷ lệ phù hợp để đạt được lưu lượng mong muốn. Lưu lượng được chỉ định dưới dạng phần trăm của lưu lượng quy mô đầy đủ được hiệu chỉnh và được cung cấp cho MFC dưới dạng tín hiệu điện áp.

Bộ điều khiển lưu lượng lớn yêu cầu khí hoặc chất lỏng cung cấp nằm trong một phạm vi áp suất cụ thể. Áp suất thấp sẽ làm cạn kiệt chất lỏng trong MFC và ngăn không cho nó đạt đến điểm đặt. Áp suất cao có thể gây ra tốc độ dòng chảy thất thường. Có nhiều công nghệ khác nhau giúp đo lưu lượng chất lỏng và cuối cùng là giúp kiểm soát lưu lượng. Những công nghệ này xác định các loại bộ điều khiển lưu lượng lớn và chúng bao gồm chênh lệch áp suất (ΔP), chênh lệch nhiệt độ (ΔT), lực Coriolis, siêu âm, điện từ, tua-bin, v.v.

bộ điều khiển lưu lượng lớn, bộ điều khiển lưu lượng lớn
bộ điều khiển lưu lượng lớn, bộ điều khiển lưu lượng lớn, mô tả cấu trúc nguyên lý mfc

Lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng

Hiện nay, ngày càng có nhiều ứng dụng của lưu lượng kế khối lượng, và một số trường hợp lần đầu tiên lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng không hiểu rõ về phương pháp lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng, lắp đặt ngược, lắp đặt sai, v.v., ảnh hưởng đến việc sử dụng bình thường của đồng hồ đo lưu lượng khối lượng. thiết bị.Bài viết này thảo luận về vấn đề này Mô tả chi tiết cách lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối lượng.

Ứng suất cơ học quá mức trong quá trình lắp đặt cảm biến sẽ ảnh hưởng đến điểm 0 của lưu lượng kế khối lượng. Do đó, việc lắp đặt đúng lưu lượng kế khối lượng là một phần quan trọng để đảm bảo thiết bị hoạt động bình thường.

1. Chọn cách cài đặt

Phương pháp cài đặt của cảm biến chủ yếu được xác định theo độ lệch pha của chất lỏng và các điều kiện xử lý của nó.Có ba phương pháp cài đặt.

1. Nếu chất lỏng được đo là chất lỏng, cảm biến thường được lắp đặt với vỏ hướng xuống dưới để tránh tích tụ không khí trong ống rung của cảm biến, để đạt được mục đích đo chính xác lưu lượng khối lượng.

2. Nếu chất lỏng được đo là khí, cảm biến thường được lắp đặt với vỏ hướng lên trên để tránh tích tụ nước ngưng trong ống rung của cảm biến.

3. Nếu chất lỏng được đo là hỗn hợp bùn lỏng và rắn, hãy lắp đặt cảm biến trên đường chính thức thẳng đứng, điều này có thể ngăn các hạt tích tụ trong ống đo lực Coriolis của cảm biến. Ngoài ra, nếu đường ống xử lý cần được làm sạch bằng khí và hơi nước, phương pháp lắp đặt này cũng có thể tạo điều kiện thuận lợi cho việc vệ sinh, nhưng phương pháp lắp đặt này khó khắc phục hơn so với hai phương pháp trước và tổn thất áp suất lớn hơn.

Phương pháp lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng
Khái niệm cài đặt đồng hồ đo lưu lượng lớn

 

 

 

 

 

bộ điều khiển lưu lượng khí

bộ điều khiển lưu lượng khí

Công thức dòng chảy khối lượng

Các loại đồng hồ đo lưu lượng khối lượng

đồng hồ đo lưu lượng tiếng anh

dựa theoTrang web tiếng Trung ba độ.Nhiều cách hiểu lưu lượng kế khối lượng 【thuật ngữ máy tính điện tử】 lưu lượng kế khối lượng 【kỹ thuật cơ khí】 cảm biến lưu lượng kế khối lượng 【thuật ngữ khoa học biển-kỹ thuật dưới nước】 lưu lượng khối nhiệt 【kỹ thuật điện tử】 đo lưu lượng khối lượng 【kỹ thuật điện】

Thông số kỹ thuật

hàng loạt TMFM6012 TMFM6019
Dải lưu lượng (N2) 0,3 ~ 200,300SLM 0,8 ~ 600,800SLM
Tỷ lệ đầu hôm 100:1
độ chính xác ± 1,5 % FS
Hiển thị lại độ chính xác ± 0,75 % FS
Sự chịu đựng dưới áp lực 1.0Mpa
tỉ lệ rò rỉ 1 x 10-9 atm.cc/sec trở xuống
phạm vi nhiệt độ làm việc -10 ~ 55 ℃, <95%RH
Vật liệu cho các bộ phận tiếp xúc với khí Nội dung: SUS316
Kích thước kết nối 1/2 "(DN12mm) 3/4 ″ (DN19mm)
giao diện NPT, BSPT hoặc khách hàng được chỉ định
Tùy chọn: nén 1/2 ″, 3/4 ″, VCR ™
tín hiệu đầu ra dòng chảy 4 ~ 20mA hoặc RS-485
nhu cầu điện áp + 8 ~ 24Vdc / 35mA

ứng dụng

MFM là gì

Lưu lượng kế, còn được gọi là lưu lượng kế quán tính, là một thiết bị đo lưu lượng khối lượng của chất lỏng qua đường ống. Tốc độ dòng chảy khối lượng là khối lượng chất lỏng đi qua một điểm cố định trong một đơn vị thời gian.
Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng không đo thể tích trên một đơn vị thời gian (ví dụ: mét khối trên giây) đi qua thiết bị; nó đo khối lượng trên một đơn vị thời gian (ví dụ: kilôgam trên giây) chảy qua thiết bị. Lưu lượng thể tích là lưu lượng khối lượng chia cho mật độ chất lỏng. Nếu mật độ không đổi, mối quan hệ là đơn giản. Mối quan hệ không đơn giản nếu chất lỏng có tỷ trọng thay đổi. Mật độ của chất lỏng có thể thay đổi theo nhiệt độ, áp suất hoặc thành phần. Chất lỏng cũng có thể là sự kết hợp của các pha, chẳng hạn như chất lỏng có các bọt khí cuốn theo. Vì tốc độ của âm thanh phụ thuộc vào nồng độ chất lỏng được kiểm soát, mật độ thực tế có thể được xác định. [1]

Ứng dụng MFM
1. Màn hình ống thông minh
Lý do chính khiến đồng hồ đo lưu lượng nhiệt phổ biến trong các ứng dụng công nghiệp là cách chúng được thiết kế và sản xuất. Chúng không có bộ phận chuyển động, hầu như không có vật cản đối với đường dòng chảy thẳng, không cần điều chỉnh nhiệt độ hoặc áp suất và duy trì độ chính xác trong một phạm vi dòng chảy rộng. Việc chạy ống thẳng có thể được giảm bớt bằng cách sử dụng bộ phận điều hòa dòng chảy dạng tấm kép, việc lắp đặt rất đơn giản và không gây xâm nhập đường ống.

Tuy nhiên, trong nhiều ứng dụng, các đặc tính nhiệt của chất lưu có thể phụ thuộc vào thành phần chất lỏng. Trong các ứng dụng như vậy, những thay đổi về thành phần chất lỏng trong quá trình vận hành thực tế có thể ảnh hưởng đến các phép đo lưu lượng nhiệt. Vì vậy, điều quan trọng đối với các nhà cung cấp đồng hồ đo lưu lượng nhiệt là phải hiểu thành phần của lưu chất để có thể sử dụng các hệ số hiệu chuẩn thích hợp để xác định chính xác lưu lượng. Nhà cung cấp có thể cung cấp thông tin hiệu chuẩn thích hợp cho các hỗn hợp khí khác, nhưng độ chính xác của đồng hồ đo lưu lượng nhiệt phụ thuộc vào hỗn hợp khí thực tế giống với hỗn hợp khí được sử dụng cho mục đích hiệu chuẩn. Nói cách khác, độ chính xác của đồng hồ đo lưu lượng nhiệt được hiệu chuẩn cho một hỗn hợp khí nhất định sẽ bị giảm nếu khí thực sự chảy có thành phần khác. [2]

2. Máy CVD
CVD là gì

Lắng đọng hơi (CVD) là một phương pháp lắng đọng chân không được sử dụng để sản xuất vật liệu rắn chất lượng cao, hiệu suất cao. Quá trình này thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để sản xuất màng mỏng.

Trong CVD điển hình, tấm wafer (chất nền) được tiếp xúc với một hoặc nhiều tiền chất dễ bay hơi phản ứng và / hoặc phân hủy trên bề mặt của chất nền để tạo ra cặn mong muốn. Các sản phẩm phụ dễ bay hơi cũng thường được tạo ra, được loại bỏ bởi dòng khí đi qua buồng phản ứng.

Quy trình đúc vi mô sử dụng rộng rãi CVD để lắng đọng các dạng vật liệu khác nhau bao gồm: đơn tinh thể, đa tinh thể, vô định hình và epitaxy. Những vật liệu này bao gồm: silicon (carbon dioxide, cacbua, nitrua, oxynitride), carbon (sợi, sợi nano, ống nano, kim cương và graphene), fluorocarbon, dây tóc, vonfram, titan nitride và nhiều chất điện môi k cao khác nhau.

 

3. Hộp / Bảng van (VMB / VMP)
VMB / VMP là gì

Thông qua kinh nghiệm xử lý khí, chúng tôi đã có được kiến thức để thiết kế và sản xuất các tấm (hộp khí) cho các hệ thống EPI, MOCVD, hệ thống cung cấp vật liệu và hơn thế nữa.
Trong số những thành tựu kinh doanh của chúng tôi, chúng tôi có thể thiết kế và sản xuất các sản phẩm đáp ứng yêu cầu của khách hàng (giá cả và thông số kỹ thuật). Chúng tôi có thể xử lý không chỉ khí thông thường mà còn cung cấp khí hóa lỏng cho các vòng trung tâm. Chúng tôi cũng hỗ trợ các ứng dụng pháp lý khác nhau.

Phạm vi dòng chảy

hàng loạt TMFM6012 TMFM6019
Dải lưu lượng (N2) 0,3 ~ 200,300SLM 0,8 ~ 600,800SLM
Tỷ lệ đầu hôm 100:1
độ chính xác ± 1,5 % FS
Hiển thị lại độ chính xác ± 0,75 % FS
Sự chịu đựng dưới áp lực 1.0Mpa
tỉ lệ rò rỉ 1 x 10-9 atm.cc/sec trở xuống
phạm vi nhiệt độ làm việc -10 ~ 55 ℃, <95%RH
Vật liệu cho các bộ phận tiếp xúc với khí Nội dung: SUS316
Kích thước kết nối 1/2 "(DN12mm) 3/4 ″ (DN19mm)
giao diện NPT, BSPT hoặc khách hàng được chỉ định
Tùy chọn: nén 1/2 ″, 3/4 ″, VCR ™
tín hiệu đầu ra dòng chảy 4 ~ 20mA hoặc RS-485
nhu cầu điện áp + 8 ~ 24Vdc / 35mA

Thông tin đặt hàng

Mô hình đặt hàng
TMFM60 mã hóa mã con Phạm vi dòng chảy
 

12 20 0,3 ~ 200SLM (loại tiêu chuẩn)
12 30 0,9 ~ 300SLM
19 60 0,8 ~ 600SLM (loại tiêu chuẩn)
19 80 1,12 ~ 800SLM
 

mã hóa loại chất lỏng
MỘT Hàng không
n Nitơ (N2)
O Oxy (O2)
C Argon (Ar)
E carbon dioxide (CO2)
H Heli (Anh)
S Các loại khí đặc biệt (đối với các loại khí khác, vui lòng liên hệ với trung tâm dịch vụ khách hàng)
 

mã hóa phạm vi áp
XXX XXX Mpa e, g.03.0Mpa-> điền vào 030 (áp suất làm việc tối đa)
 

mã hóa tín hiệu đầu ra
MỘT 4 ~ 20mA
B RS-485
 

mã hóa Kích thước kết nối
12 1/2 ″ (cho TMFM6012)
19 3/4 ″ (dành cho TMFM6019)
mã hóa giao diện
n NPT
B BSPT
MỘT Nén SWL
V VCR nam
mã hóa màn hình
D với màn hình
n không hiển thị
mã hóa nhãn
E Nhãn hiệu FGT
X Logo tùy chỉnh
 

TMFM60 Hoàn thành mô hình đặt hàng
* Lưu ý: Tất cả các kiểu máy đều đi kèm với nguồn điện (+ 8 ~ 24 Vdc / 35mA)
* Lưu ý: Đơn đặt hàng OEM có sẵn cho các đơn hàng trên 100

Phần mềm IoT

Phần mềm cảm biến đám mây SMM

Từ chợ ứng dụng Google PlayTải xuống

Từ Cửa hàng ứng dụngTải xuống

 

chứng nhận

tmfm6000 Loại: Máy đo lưu lượng khối First General Technology Co., Ltd. | First General Technology Inc.Chứng nhận Tuân thủ Châu Âu - Wikipedia, bách khoa toàn thư miễn phí

nhu cầu đặc biệt

Yêu cầu về đồng hồ đo lưu lượng

Yêu cầu về đồng hồ đo lưu lượng

loại chất lỏng
đơn vị lưu lượng
đơn vị đường ống
Chế độ cài đặt
Mẫu yêu cầu