đặc tính

・ Vì không có bộ phận dịch chuyển nên đồng hồ đo lưu lượng có độ tin cậy và độ bền tuyệt vời, đồng thời không có sai số về vị trí lắp đặt.
・ Cấu trúc đơn giản (hướng dòng chảy của chất lỏng chỉ bao gồm các vật thể hình trụ và đầu dò xoáy), đảm bảo tổn thất áp suất thấp và rò rỉ thấp. Ngoài ra, cảm biến không tiếp xúc với chất lỏng chảy qua kênh, khiến nó trở nên lý tưởng để theo dõi các quá trình chất lỏng khác nhau.
・ Tùy theo nhu cầu của bạn, có thể chọn hai chất liệu thân xe (PPS và PFA).
・ Tất cả các thông số kỹ thuật (được chứng nhận CE Mark)
・ Vì Teflon là vật liệu của toàn bộ phần thân và không sử dụng vòng chữ O, nên lưu lượng kế dòng xoáy Karman dòng FM03 là sự lựa chọn tốt nhất để theo dõi dòng chất lỏng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Lưu lượng kế xoáy là gì

Thành phần của lưu lượng kế xoáy[biên tập]

Lưu lượng kế dạng xoáy, bao gồm: cảm biến lưu lượng có thể hoạt động để cảm nhận sự thay đổi áp suất do dòng chảy xoáy của chất lỏng trong một kênh và chuyển đổi áp suất thành tín hiệu cảm biến lưu lượng dưới dạng tín hiệu điện; và bộ xử lý tín hiệu, được sử dụng để nhận tín hiệu cảm biến lưu lượng và tạo ra tín hiệu đầu ra tương ứng với sự thay đổi áp suất do dòng chảy xoáy của chất lỏng trong kênh.^[2]

nguyên tắc làm việc[biên tập]

Khi môi chất chảy qua thân Braff với một tốc độ nhất định, các dải xoáy được sắp xếp xen kẽ được tạo ra phía sau các cạnh của thân Braff, được gọi là "xoáy von Kalman". Vì dòng điện xoáy được tạo ra luân phiên trên cả hai mặt của máy phát điện xoáy, xung áp suất được tạo ra trên cả hai mặt của máy phát, có thể gây ra ứng suất xoay chiều cho máy dò. Phần tử áp điện được bao bọc trong thân đầu dò phát hiện tạo ra tín hiệu điện tích xoay chiều có cùng tần số với dòng xoáy dưới tác dụng của ứng suất xoay chiều. Tần số của các xung này tỷ lệ với tốc độ dòng chảy. Sau khi tín hiệu được khuếch đại bởi bộ tiền khuếch đại, nó sẽ được gửi đến bộ tích lũy dòng thông minh để xử lý

Trong một phạm vi nhất định của số Reynolds (2 × 10 ^ 4 ~ 7 × 10 ^ 6), mối quan hệ giữa tần số phóng xoáy, vận tốc chất lỏng và chiều rộng của bộ tạo xoáy đối mặt với bề mặt dòng chảy có thể được biểu thị bằng công thức sau:^[3]

              f = St × V / d   

trong đó f là tần số giải phóng của xoáy Karman, St là số Strouhal, V là vận tốc và d là chiều rộng của hình trụ tam giác.^[4]

Ứng dụng của lưu lượng kế xoáy

1. Ứng dụng giám sát đường ống thông minh

Lý do chính cho sự phổ biến của đồng hồ đo lưu lượng trong các ứng dụng công nghiệp là cách chúng được thiết kế và sản xuất. Chúng không có bộ phận chuyển động, hầu như không có vật cản đối với đường dòng chảy thẳng, không cần điều chỉnh nhiệt độ hoặc áp suất và duy trì độ chính xác trong một phạm vi dòng chảy rộng. Việc chạy ống thẳng có thể được giảm thiểu bằng cách sử dụng các bộ phận điều hòa dòng chảy hai tấm, và việc lắp đặt rất đơn giản và không gây xâm nhập đường ống

Tuy nhiên, trong nhiều ứng dụng, các đặc tính nhiệt của chất lưu có thể phụ thuộc vào thành phần chất lỏng. Trong các ứng dụng như vậy, những thay đổi về thành phần chất lỏng trong quá trình vận hành thực tế có thể ảnh hưởng đến các phép đo lưu lượng. Do đó, điều quan trọng là các nhà cung cấp đồng hồ đo lưu lượng phải hiểu thành phần của chất lưu để có thể sử dụng các hệ số hiệu chuẩn thích hợp để xác định chính xác lưu lượng. Nhà cung cấp có thể cung cấp thông tin hiệu chuẩn thích hợp cho các hỗn hợp khí khác, nhưng độ chính xác của lưu lượng kế phụ thuộc vào việc hỗn hợp khí thực tế giống với hỗn hợp khí được sử dụng cho mục đích hiệu chuẩn. Nói cách khác, độ chính xác của lưu lượng kế được hiệu chuẩn cho một hỗn hợp khí nhất định sẽ giảm nếu khí thực sự chảy có thành phần khác^[2]

2. Thiết bị CVD

Thiết bị CVD là gì

Lắng đọng hơi (CVD) là một phương pháp lắng đọng chân không được sử dụng để sản xuất vật liệu rắn chất lượng cao, hiệu suất cao. Quá trình này thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để sản xuất màng mỏng

Trong CVD điển hình, wafer (chất nền) tiếp xúc với một hoặc nhiều tiền chất dễ bay hơi phản ứng và / hoặc phân hủy trên bề mặt chất nền để tạo ra chất lắng mong muốn. Thường thì các sản phẩm phụ dễ bay hơi cũng được tạo ra, được loại bỏ bởi dòng khí đi qua buồng phản ứng

Các quy trình đúc vi mô sử dụng rộng rãi CVD để lắng đọng các dạng vật liệu khác nhau bao gồm: đơn tinh thể, đa tinh thể, vô định hình và epitaxy. Những vật liệu này bao gồm: silicon (carbon dioxide, cacbua, nitrua, oxynitride), carbon (sợi, sợi nano, ống nano, kim cương và graphene), fluorocarbon, dây tóc, vonfram, titan nitride và nhiều chất điện môi k cao khác nhau

3. Bảng phân phối khí / bảng vận hành (VMB / VMP)

VMB / VMP là gì

Thông qua kinh nghiệm xử lý khí, chúng tôi đã có được kiến thức để thiết kế và sản xuất các tấm (hộp khí) cho các hệ thống EPI, MOCVD, hệ thống cung cấp vật liệu và hơn thế nữa.
Trong số những thành tựu kinh doanh của chúng tôi, chúng tôi có thể thiết kế và sản xuất các sản phẩm đáp ứng yêu cầu của khách hàng (giá cả và thông số kỹ thuật). Chúng tôi có thể xử lý không chỉ khí thông thường mà còn cung cấp khí hóa lỏng cho các vòng trung tâm. Chúng tôi cũng hỗ trợ các ứng dụng pháp lý khác nhau.