característica

・Dado que no hay piezas de desplazamiento, el medidor de flujo tiene una excelente confiabilidad y durabilidad, y no hay errores de posición de instalación.
・La estructura es simple (la dirección del flujo del fluido solo incluye objetos cilíndricos y detectores de vórtice), lo que garantiza una baja pérdida de presión y fugas. Además, el sensor no entra en contacto con el fluido que fluye por el canal, lo que lo hace ideal para monitorear varios procesos líquidos.
・Según sus necesidades, se pueden seleccionar dos materiales de cuerpo (PPS y PFA).
・Todas las especificaciones (marca CE certificada)
・Dado que el teflón es el material de toda la parte del cuerpo y no se usa junta tórica, el medidor de flujo de vórtice Karman de la serie FM03 es la mejor opción para monitorear el flujo de líquido en los procesos de fabricación de semiconductores.

¿Qué es un caudalímetro de vórtice?

La composición del caudalímetro de vórtice.[editar]

Un medidor de flujo de vórtice, que comprende: un sensor de flujo operable para detectar cambios de presión debido al desprendimiento de vórtice de fluido en un canal y convertir los cambios de presión en señales de sensor de flujo en forma de señales eléctricas; y un procesador de señal, que se utiliza para recibir la señal del sensor de flujo y generar una señal de salida correspondiente al cambio de presión debido al desprendimiento de vórtices del fluido en el canal.^[2]

principio de funcionamiento[editar]

Cuando el medio fluye a través del cuerpo de Braff a cierta velocidad, se generan bandas de vórtice dispuestas alternativamente detrás de los lados del cuerpo de Braff, llamadas "vórtices de von Kalman". Dado que las corrientes de Foucault se generan alternativamente en ambos lados del generador de vórtices, se crean pulsaciones de presión en ambos lados del generador, lo que puede causar tensión alterna en el detector. El elemento piezoeléctrico encapsulado en el cuerpo de la sonda de detección genera una señal de carga alterna con la misma frecuencia que el vórtice bajo la acción de tensión alterna. La frecuencia de estos pulsos es proporcional al caudal. Una vez que el preamplificador amplifica la señal, se envía al acumulador de flujo inteligente para su procesamiento.

Dentro de un cierto rango del número de Reynolds (2 × 10 ^ 4 ~ 7 × 10 ^ 6), la relación entre la frecuencia de liberación del vórtice, la velocidad del fluido y el ancho del generador de vórtice que mira hacia la superficie del flujo se puede expresar mediante la siguiente fórmula:^[3]

              f=St×V/d   

donde f es la frecuencia de liberación del vórtice de Karman, St es el número de Strouhal, V es la velocidad y d es el ancho del cilindro triangular.^[4]

La aplicación del caudalímetro de vórtice.

1. Aplicación inteligente de monitoreo de tuberías

La razón principal de la popularidad de los medidores de flujo en aplicaciones industriales es la forma en que están diseñados y fabricados. No tienen partes móviles, virtualmente no obstruyen una ruta de flujo recta, no requieren corrección de temperatura o presión y mantienen la precisión en un amplio rango de flujo. Los tramos rectos de tubería se pueden reducir mediante el uso de elementos de acondicionamiento de flujo de placa doble, y la instalación es muy simple y no provoca la intrusión de la tubería.

Sin embargo, en muchas aplicaciones, las propiedades térmicas del fluido pueden depender de la composición del fluido. En tales aplicaciones, los cambios en la composición del fluido durante la operación real pueden afectar las mediciones de flujo. Por lo tanto, es importante que los proveedores de medidores de flujo comprendan la composición del fluido para que se puedan usar los factores de calibración apropiados para determinar el flujo con precisión. Los proveedores pueden proporcionar información de calibración adecuada para otras mezclas de gases, pero la precisión del medidor de flujo depende de que la mezcla de gases real sea la misma que la utilizada para fines de calibración. En otras palabras, la precisión de un medidor de flujo calibrado para una mezcla de gases determinada disminuirá si el gas que realmente fluye tiene una composición diferente.^[2]

2. Equipo CVD

¿Qué es el equipo CVD?

La deposición de vapor (CVD) es un método de deposición al vacío que se utiliza para producir materiales sólidos de alta calidad y alto rendimiento. Este proceso se usa comúnmente en la industria de los semiconductores para producir películas delgadas.

En CVD típico, la oblea (sustrato) se expone a uno o más precursores volátiles que reaccionan y/o se descomponen en la superficie del sustrato para producir el depósito deseado. A menudo, también se producen subproductos volátiles, que son eliminados por el flujo de gas a través de la cámara de reacción.

Los procesos de microfabricación utilizan ampliamente CVD para depositar diversas formas de materiales, incluidos: monocristal, policristalino, amorfo y epitaxia. Estos materiales incluyen: silicio (dióxido de carbono, carburos, nitruros, oxinitruros), carbono (fibras, nanofibras, nanotubos, diamante y grafeno), fluorocarbonos, filamentos, tungsteno, nitruro de titanio y varios dieléctricos de alto k.

3. Tablero de distribución de gas/tablero de operación (VMB/VMP)

¿Qué es VMB/VMP?

A través de nuestra experiencia en el manejo de gases, hemos adquirido el conocimiento para diseñar y fabricar paneles (cajas de gas) para sistemas EPI, MOCVD, sistemas de suministro de materiales y más.
Entre nuestros logros comerciales, somos capaces de diseñar y fabricar productos que cumplan con los requisitos del cliente (precio y especificaciones). Podemos manejar no solo el suministro de gas normal, sino también el de gas licuado para anillos de cubo. También apoyamos varias aplicaciones legales.