特性

・由於沒有位移部件，所以流量計儀表具有出色的可靠性和耐用性，並且不會產生安裝位置錯誤。
・結構簡單（流體的流向僅包含圓柱狀的物體和渦旋檢測器），可確保低壓力損失，低漏液。 此外，感測器不會與流經通道的流體接觸，因此，它是各種液體過程監控的理想選擇。
・根據您的需要，可以選擇兩種本體材質（PPS和PFA）。
・全部規格（已獲得CE標誌認證）
・由於特氟龍是整個本體部分的材料，並且沒有使用O形圈，因此FM03系列Karman渦流流量計是監控半導體製造過程中液體流動的最佳選擇。

什麼是渦流流量計

渦流流量計的組成[edit]

渦流流量計，包括：流量感測器，其可操作以感測由於流體在通道中的渦流脫落引起的壓力變化，並將壓力變化轉換為電信號形式的流量感測器信號；以及信號處理器，其用於接收流量感測器信號，並生成與由於通道中流體渦流脫落而引起的壓力變化相對應的輸出信號。^[2]

工作原理[edit]

當介質以一定速度流過布拉夫體時，在布拉夫體側面的後面會產生交替排列的渦流帶，稱為“馮·卡爾曼渦流”。由於渦流發生器的兩側交替產生渦流，因此在發生器的兩側都會產生壓力脈動，這會使檢測器產生交變應力。封裝在檢測探頭主體中的壓電元件在交變應力的作用下產生與渦旋頻率相同的交變電荷信號。這些脈衝的頻率與流量成正比。信號經過前置放大器放大後，發送到智能流量累加器進行處理

在雷諾數的一定範圍內（2×10 ^ 4〜7×10 ^ 6），渦流釋放頻率，流體速度和渦流產生器面對流動表面寬度之間的關係可以用以下公式表示：^[3]

              f=St×V/d   

其中，f是卡門渦流的釋放頻率，St是Strouhal數，V是速度，d是三角形圓柱的寬度。^[4]

渦流流量計的應用

1.智慧管道監控應用

流量計在工業應用中很受歡迎的主要原因是其設計和製造方式。它們沒有運動部件，幾乎沒有阻礙直通的流路，不需要溫度或壓力校正，並在很寬的流量範圍內保持精度。通過使用雙板流量調節元件可以減少直管段，並且安裝非常簡單，並且不會造成管道侵入

但是，在許多應用中，流體的熱性能可能取決於流體成分。在此類應用中，實際操作期間流體成分的變化會影響流測量。因此，對於流量計供應商而言，重要的是要了解流體的成分，以便可以使用適當的校準係數來準確確定流量。供應商可以為其他氣體混合物提供適當的校准信息，但是流量計的精度取決於實際的氣體混合物與用於校準目的的氣體混合物相同。換句話說，如果實際流動的氣體具有不同的成分，則針對給定的氣體混合物校準的流量計的精度將會降低^[2]

2.CVD設備

甚麼是CVD設備

氣相沉積（CVD）是一種真空沉積方法，用於生產高質量，高性能的固體材料。該工藝通常在半導體工業中用於生產薄膜

在典型的CVD中，晶片（基材）暴露於一種或多種易揮發的前體中，該前體在基材表面上發生反應和/或分解以產生所需的沉積物。通常還會產生揮發性副產物，這些副產物會被流過反應室的氣流除去

微加工工藝廣泛使用CVD沉積各種形式的材料，包括：單晶，多晶，非晶和外延。這些材料包括：矽（二氧化碳，碳化物，氮化物，氮氧化物），碳（纖維，納米纖維，納米管，金剛石和石墨烯），碳氟化合物，細絲，鎢，氮化鈦和各種高k電介質

3.氣體分配盤/操作盤 (VMB/VMP)

甚麼是VMB/VMP

通過我們在處理氣體方面的經驗，我們獲得了設計和製造EPI系統，MOCVD，材料供應系統等的面板（氣箱）的知識。
在我們的業務成就中，我們能夠設計和製造滿足客戶要求（價格和規格）的產品。我們不僅可以處理普通氣體，還可以處理輪轂環的液化氣供應。我們還支持各種法律申請.