ลักษณะเฉพาะ

・เนื่องจากไม่มีชิ้นส่วน displacement มิเตอร์วัดการไหลจึงมีความน่าเชื่อถือและความทนทานที่ยอดเยี่ยม และไม่มีข้อผิดพลาดเกี่ยวกับตำแหน่งการติดตั้ง
・โครงสร้างเรียบง่าย (ทิศทางการไหลของของไหลมีเฉพาะวัตถุทรงกระบอกและตัวตรวจจับกระแสน้ำวน) ซึ่งรับประกันการสูญเสียแรงดันต่ำและการรั่วไหลต่ำ นอกจากนี้ เซ็นเซอร์จะไม่สัมผัสกับของเหลวที่ไหลผ่านช่องสัญญาณ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตรวจสอบกระบวนการของเหลวต่างๆ
・สามารถเลือกวัสดุของร่างกายได้สองแบบ (PPS และ PFA) ตามความต้องการของคุณ
・ข้อกำหนดทั้งหมด (ได้รับการรับรองเครื่องหมาย CE)
・เนื่องจากเทฟลอนเป็นวัสดุของส่วนต่างๆ ของร่างกายและไม่มีการใช้โอริง เครื่องวัดการไหลวน Karman รุ่น FM03 จึงเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับการตรวจสอบการไหลของของเหลวในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เครื่องวัดการไหลวนคืออะไร

องค์ประกอบของเครื่องวัดการไหลวน[แก้ไข]

เครื่องวัดอัตราการไหลของน้ำวน ซึ่งประกอบด้วย: เซ็นเซอร์วัดการไหลที่สามารถตรวจจับการเปลี่ยนแปลงของแรงดันเนื่องจากการหลั่งของของไหลในช่องและแปลงการเปลี่ยนแปลงความดันเป็นสัญญาณเซ็นเซอร์การไหลในรูปของสัญญาณไฟฟ้า และตัวประมวลผลสัญญาณ ซึ่งใช้ในการรับ สัญญาณเซ็นเซอร์การไหลและสร้างสัญญาณเอาต์พุตที่สอดคล้องกับการเปลี่ยนแปลงของความดันเนื่องจากการหลั่งน้ำวนของของเหลวในช่อง^[2]

หลักการทำงาน[แก้ไข]

เมื่อตัวกลางไหลผ่านตัว Braff ด้วยความเร็วระดับหนึ่ง แถบกระแสน้ำวนที่จัดเรียงสลับกันจะถูกสร้างขึ้นที่ด้านข้างของตัว Braff เรียกว่า "von Kalman vortices" เนื่องจากกระแสน้ำวนถูกสร้างขึ้นสลับกันที่ทั้งสองด้านของเครื่องกำเนิดกระแสน้ำวน แรงดันพัลส์จึงถูกสร้างขึ้นที่ทั้งสองด้านของเครื่องกำเนิด ซึ่งอาจทำให้เกิดความเค้นสลับกับเครื่องตรวจจับได้ องค์ประกอบเพียโซอิเล็กทริกที่ห่อหุ้มอยู่ในตัวโพรบตรวจจับจะสร้างสัญญาณประจุไฟฟ้ากระแสสลับที่มีความถี่เดียวกับกระแสน้ำวนภายใต้การกระทำของความเค้นสลับ ความถี่ของพัลส์เหล่านี้เป็นสัดส่วนกับอัตราการไหล หลังจากที่สัญญาณถูกขยายโดยพรีแอมพลิฟายเออร์ มันจะถูกส่งไปยังตัวสะสมโฟลว์อัจฉริยะสำหรับการประมวลผล

ภายในช่วงหนึ่งของจำนวนเรย์โนลด์ส (2×10^4~7×10^6) ความสัมพันธ์ระหว่างความถี่การปลดปล่อยกระแสน้ำวน ความเร็วของของไหล และความกว้างของเครื่องกำเนิดกระแสน้ำวนที่หันไปทางพื้นผิวการไหลสามารถแสดงได้โดยสูตรต่อไปนี้:^[3]

              f=St×V/d   

โดยที่ f คือความถี่การปลดปล่อยของกระแสน้ำวน Karman, St คือจำนวน Strouhal, V คือความเร็ว, และ d คือความกว้างของทรงกระบอกสามเหลี่ยม^[4]

การประยุกต์ใช้เครื่องวัดการไหลวน

1. แอปพลิเคชั่นตรวจสอบไปป์ไลน์อัจฉริยะ

เหตุผลหลักสำหรับความนิยมของเครื่องวัดการไหลในการใช้งานทางอุตสาหกรรมคือการออกแบบและผลิต ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว แทบไม่มีสิ่งกีดขวางเส้นทางการไหลแบบตรง ไม่ต้องมีการแก้ไขอุณหภูมิหรือแรงดัน และรักษาความแม่นยำในช่วงการไหลที่กว้าง การเดินท่อแบบตรงสามารถลดลงได้โดยใช้องค์ประกอบการปรับการไหลแบบแผ่นคู่ และการติดตั้งทำได้ง่ายมากและไม่ทำให้เกิดการบุกรุกท่อ

อย่างไรก็ตาม ในการใช้งานหลายอย่าง คุณสมบัติทางความร้อนของของไหลอาจขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของของเหลว ในการใช้งานดังกล่าว การเปลี่ยนแปลงองค์ประกอบของของเหลวระหว่างการทำงานจริงอาจส่งผลต่อการวัดการไหล ดังนั้นจึงเป็นสิ่งสำคัญสำหรับผู้จัดหาเครื่องวัดการไหลเพื่อทำความเข้าใจองค์ประกอบของของเหลว เพื่อให้สามารถใช้ปัจจัยการสอบเทียบที่เหมาะสมเพื่อกำหนดการไหลได้อย่างแม่นยำ ผู้จำหน่ายสามารถให้ข้อมูลการสอบเทียบที่เหมาะสมสำหรับส่วนผสมของก๊าซอื่นๆ ได้ แต่ความถูกต้องแม่นยำของเครื่องวัดอัตราการไหลนั้นขึ้นอยู่กับส่วนผสมของก๊าซจริงที่เหมือนกันกับที่ใช้ในการสอบเทียบ กล่าวอีกนัยหนึ่ง ความแม่นยำของเครื่องวัดอัตราการไหลที่สอบเทียบสำหรับส่วนผสมของก๊าซที่กำหนดจะลดลงหากก๊าซที่ไหลจริงมีองค์ประกอบที่แตกต่างกัน^[2]

2. อุปกรณ์ CVD

อุปกรณ์ CVD คืออะไร

การสะสมไอ (CVD) เป็นวิธีการสะสมแบบสุญญากาศที่ใช้ในการผลิตวัสดุแข็งคุณภาพสูงและมีประสิทธิภาพสูง กระบวนการนี้มักใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อผลิตฟิล์มบาง

ใน CVD ทั่วไป แผ่นเวเฟอร์ (สารตั้งต้น) สัมผัสกับสารตั้งต้นที่ระเหยง่ายตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปที่ทำปฏิกิริยาและ/หรือสลายตัวบนพื้นผิวของซับสเตรตเพื่อผลิตสิ่งสะสมที่ต้องการ มักจะเกิดผลพลอยได้จากการระเหยเช่นกัน ซึ่งถูกกำจัดโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องปฏิกิริยา

กระบวนการไมโครแฟบริเคชั่นใช้ CVD อย่างกว้างขวางในการฝากวัสดุรูปแบบต่างๆ รวมถึง: ผลึกเดี่ยว คริสตัลไลน์ อสัณฐาน และอีพิแทกซี วัสดุเหล่านี้รวมถึง: ซิลิกอน (คาร์บอนไดออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ ออกซีไนไตรด์) คาร์บอน (เส้นใย นาโนไฟเบอร์ ท่อนาโน เพชร และกราฟีน) ฟลูออโรคาร์บอน ฟิลาเมนต์ ทังสเตน ไททาเนียมไนไตรด์ และไดอิเล็กทริกสูงต่างๆ

3. แผงจ่ายแก๊ส/บอร์ดปฏิบัติการ (VMB/VMP)

VMB/VMP . คืออะไร

จากประสบการณ์ของเราในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผง (กล่องแก๊ส) สำหรับระบบ EPI, MOCVD, ระบบการจัดหาวัสดุและอื่น ๆ
ท่ามกลางความสำเร็จทางธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามความต้องการของลูกค้า (ราคาและข้อมูลจำเพาะ) เราสามารถจัดการไม่เพียงแต่ก๊าซธรรมดาแต่ยังรวมถึงก๊าซเหลวสำหรับแหวนดุมล้อด้วย เรายังสนับสนุนการสมัครทางกฎหมายต่างๆ