TMFC500 類型:質量流量控制器

TMFC500 類型:質量流量控制器

TMFCType:Mass Flow controller

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    • 低流量時的高精度
    • 快速響應≦2.0秒
    • 寬壓力範圍(1000 PSIG)
    • 無洩漏
    • 無需溫度或壓力
    • 連接兼容
    • 高穩定度可移動傳感器
    • 耐蝕值
    • 出色的線性度
    • 出色的長期穩定性
    • 模塊化設計
    • 緊湊型流量控制系統
    • 具有RS-485功能
    • 選項功能:接口和分隔類型
    • 數字顯示選項:RS485(默認)/ DeviceNet™

    什麼是熱質量流量計?

    熱質量流量計是一種精確,易於安裝的低壓降型流量計。它適用於流量測量和控制干燥氣體應用。也可以通過氣體類型參考鏈接應用程序來獲得熱質量流量計。質量流量計觀察其加熱的換能器上的冷卻效果隨氣流的變化。與其他氣體流量測量設備相比,其結果以低成本實現了高水平的精度。

    好處

    • ·準確度高
    • ·流量範圍廣,包括低流量
    • ·簡單,耐用的結構
    • ·易於安裝和維護
    • ·靈活連接流量儀表以進行流量控制
    • ·各種過程連接
    • ·調節比1001
    • ·流量計上的低壓降
    • ·提供方便的信號輸出

    熱質量流量計原理

    熱質量流量計使用流體的熱性質來測量在管道或管中的流體的運動。在熱能流量計中,將測得的熱量施加到傳感器的加熱器上。在流動過程中會損失一定數量的能量,並且隨著流動的增加,會損失更多的能量。傳感器損失的能量取決於流體的熱特性和傳感器設計。流體的熱壓特性可能會隨溫度和壓力而變化,儘管這些變化在大多數應用中通常無關緊要。由於熱流量測量不取決於流體的溫度或壓力,因此可以使用熱能流量計來估計流體的質量流量。

    換句話說,在大多數應用中,流體的性質可能取決於其成分。對於這些應用,在實際操作期間流體的不同成分可能會干擾熱流尺寸。因此,對於熱質量流量計提供商來說,了解流體的成分非常重要,這樣就可以處理合適的標準化因子來精確地確定流量。由於該限制,熱質量流量計通常用於測量純淨氣體的流量。製造商可以為其他氣體組合提供適當的標準化信息,但是熱質量流量計的精度取決於實際氣體混合物與用於標準化目的的氣體混合物是否相同。


  • 型號

    TMFC500V

    TMFC500VD

    TMFC500A

    TMFC500AD

    流量範圍(氮氣)

    300~1000SLM

    300~1000SLM

    300~1000SLM

    300~1000SLM

    反應速度

    ≦2.0 sec

    精度

    ±1.0 % FS

    重覆精度

    ±0.25 % FS

    耐壓

    1500 PSIG

    洩漏率

    1 x 10-9 atm.cc/sec or less

    操作溫度

    0~50

     

    本體 SUS316

    配件材質

    閥體墊片 Vition™(Option Bura™ or Kalrez™ or Teflon™)

     

    標準:1/2" compression

    接續方式

    選購: 1/4" Compression or VCR™,3/8" Compression or VCR™

    電氣接線

    Dsub 15-pin 公接頭單出線

    流量訊號輸入

    0~5 Vdc

    0~5 Vdc+RS-485

    4~20mA

    4~20mA+RS-485

    流量訊號輸出

    0~5 Vdc

    0~5 Vdc+RS-485

    4~20mA

    4~20mA+RS-485

    供應電壓

    +15~28 Vdc/350mA

     

    適用類型

    ◎支援

    ◎支援

     

    顯示板類型

    選購:一體型 or 分離型(介面連接線 1 米 或 3 米) 只針對 TMFC500V/A 應用

    選購顯示板

    顯示通訊介面

    數位通訊: RS485 (default) / DeviceNet™ 只針對 TMFC500V/A 應用

     

    供應電壓

    AC110~240 V 只針對 TMFC500V/A 應用



  • 什麼是MFC

    質量流量控制器(MFC)是用於測量和控制氣體流量的設備。[1]設計和校準質量流量控制器,以在特定的流速範圍內控制特定類型的液體或氣體。可以給MFC設定值是其滿刻度範圍的0%至100%,但通常在滿刻度的10%至90%的範圍內工作,可以達到最佳精度。然後,設備將控制流速到給定的設定值。 MFC可以是模擬的也可以是數字的。數字流量控制器通常能夠控制不止一種類型的流體,而模擬控制器則僅限於對其進行校準的流體。

    所有質量流量控制器都有一個入口,一個出口,一個質量流量傳感器和一個比例控制閥。 MFC裝有閉環控制系統,操作員(或外部電路/計算機)向其提供輸入信號,該輸入信號將其與質量流量傳感器的值進行比較,並相應地調節比例閥以達到所需流量。流量以其校準的滿量程流量的百分比指定,並作為電壓信號提供給MFC。

    質量流量控制器要求供應的氣體或液體必須在特定的壓力範圍內。低壓會使MFC的液體不足,並導致其無法達到設定點。高壓可能導致流量不穩定。

    MFC應用

    1.CVD設備

    什麼是CVD

    半氣相沉積(CVD)是一種真空沉積方法,用於生產高質量,高性能的固體材料。該工藝通常在半導體工業中用於生產薄膜。

    在典型的CVD中,晶片(基材)暴露於一種或多種易揮發的前體中,該前體在基材表面上發生反應和/或分解以產生所需的沉積物。通常還會產生揮發性副產物,這些副產物會被流過反應室的氣流除去。

    微加工工藝廣泛使用CVD沉積各種形式的材料,包括:單晶,多晶,非晶和外延。這些材料包括:矽(二氧化碳,碳化物,氮化物,氮氧化物),碳(纖維,納米纖維,納米管,金剛石和石墨烯),碳氟化合物,細絲,鎢,氮化鈦和各種高k電介質。

     

    2.閥箱/面板(VMB / VMP)

    什麼是VMB / VMP

    通過我們在處理氣體方面的經驗,我們獲得了設計和製造EPI系統,MOCVD,材料供應系統等的面板(氣箱)的知識。
    在我們的業務成就中,我們能夠設計和製造滿足客戶要求(價格和規格)的產品。我們不僅可以處理普通氣體,還可以處理輪轂環的液化氣供應。我們還支持各種法律申請。

     

  • 型號

    TMFC500V

    TMFC500VD

    TMFC500A

    TMFC500AD

    流量範圍(氮氣)

    300~1000SLM

    300~1000SLM

    300~1000SLM

    300~1000SLM

    反應速度

    ≦2.0 sec

    精度

    ±1.0 % FS

    重覆精度

    ±0.25 % FS

    耐壓

    1500 PSIG

    洩漏率

    1 x 10-9 atm.cc/sec or less

    操作溫度

    0~50

     

    本體 SUS316

    配件材質

    閥體墊片 Vition™(Option Bura™ or Kalrez™ or Teflon™)

     

    標準:1/2" compression

    接續方式

    選購: 1/4" Compression or VCR™,3/8" Compression or VCR™

    電氣接線

    Dsub 15-pin 公接頭單出線

    流量訊號輸入

    0~5 Vdc

    0~5 Vdc+RS-485

    4~20mA

    4~20mA+RS-485

    流量訊號輸出

    0~5 Vdc

    0~5 Vdc+RS-485

    4~20mA

    4~20mA+RS-485

    供應電壓

    +15~28 Vdc/350mA

     

    適用類型

    ◎支援

    ◎支援

     

    顯示板類型

    選購:一體型 or 分離型(介面連接線 1 米 或 3 米) 只針對 TMFC500V/A 應用

    選購顯示板

    顯示通訊介面

    數位通訊: RS485 (default) / DeviceNet™ 只針對 TMFC500V/A 應用

     

    供應電壓

    AC110~240 V 只針對 TMFC500V/A 應用

  • 訂購型號

                     

    TMFC

    編碼

    流量範圍

     

     

     

     

     

     

     

     

    125

    30~100SLM

     

    300

    100~300SLM

     

    500

    300~1000SLM

     

     

    編碼

    輸入/輸出訊號

     

     

    V

    0~5Vdc(標準型)

     

     

    A

    4~20mA

     

     

    VD

    0~5Vdc+RS-485(無法使用在搭配選購面板類)

     

     

    AD

    4~20mA+RS-485(無法使用在搭配選購面板類)

     

     

     

    編碼

    接續方式

     

     

     

    2

    1/8"

     

     

     

    4

    1/4"

     

     

     

    6

    3/8"(標準型 :適用TMFC125/300)

     

     

     

    8

    1/2"(標準型 :適用 TMFC500)

     

     

     

     

    編碼

    接續類型

     

     

     

     

    A

    Compression SWL

     

     

     

     

    V

    Male VCR

     

     

     

     

     

    編碼

    閥體墊片

     

     

     

     

     

    V

    Viton(標準型)

     

     

     

     

     

    B

    Buna

     

     

     

     

     

    K

    Kalrez

     

     

     

     

     

    T

    Teflon

     

     

     

     

     

     

    編碼

    選購顯示面板功能#1

     

     

     

     

     

     

    N

    無(標準型)

     

     

     

     

     

     

    I

    一體型

     

     

     

     

     

     

    D

    分離型帶1米連接線

     

     

     

     

     

     

    E

    分離型帶3米連接線

     

     

     

     

     

     

     

    Code

    選購顯示面板功能#2

     

     

     

     

     

     

     

    F

    數位:Rs-485(標準型)

     

     

     

     

     

     

     

    C

    DeviceNet

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    TMFC

     

     

     

     

     

     

     

    完整下單型號

    *注意:全部系列型號採用供應電壓(+15~28 Vdc/350mA)

             

    *注意:使用客制化廠牌年購單需達100組以上