FGT는 미래에 최선의 선택이라고 생각합니다.
FGT의 시스템 통합 디자이너
설명
3200 시리즈 질량 유량 컨트롤러는 3910 시리즈의 후속 제품으로 설계된 새로운 모델입니다.
그들은 반도체 제조, LCD, 연소 장비, 분석 장비 및 생명 공학의 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 고성능은 질량 유량 컨트롤러의 새로운 표준과 동일합니다.
특징
・고정밀도, 고속 응답성을 확보하기 위한 온도 추종형 전류차 검출 유량 센서(특허 출원 중)를 탑재
・Normal Closed 밸브를 사용하여 안전성 확보
・다이어프램 시트 밸브로 인한 데드 볼륨 감소
・최대 1 SCCM 풀 스케일까지의 소량 유량 제어(SR 옵션)
가연성 가스의 저차압 제어에 사용 가능(LP 옵션)
표준 사양
! ! 주목! !
유량 범위와 관련된 사양(예: 유량 범위, 정확도 및 응답)은 N2 또는 이에 상응하는 공기로 표시됩니다. 1차측 압력 300kPa 이하, 2차측 대기 개방으로 제품을 제작합니다. 압력 요구 사항에 대한 자세한 내용은 당사에 문의하십시오.
애플리케이션
공기 샘플링
분석기 구성 요소
생물반응기
생명 공학 과정
연소 제어
CCFL에서 만든
챔버 압력 제어
화학 공정
환경 모니터링
전자 장비 제조
식품 생산
연료 전지 테스트
발효 과정
가스 믹스
가스 분배
기류 모니터링
가스 발생
공업로
누수 시험
제약 공정
오염 모니터링
프로세스 흐름 제어
연구개발
태양광 부품 제조
