FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT
มิเตอร์วัดอัตราการไหลมวล TMFM5000 MEMS ทำงานร่วมกับวาล์วแบบเข็มเพื่อปลดล็อกการควบคุมการไหลที่แม่นยำ

FGT ปล่อยช่วงการไหล [เครื่องวัดอัตราการไหลมวล TMFM5000]: จากอัตราการไหลขั้นต่ำ 10 sccm (ลูกบาศก์เซนติเมตรมาตรฐานต่อนาที) ถึง 1200SLM (ลิตรมาตรฐานต่อนาที) ซึ่งหมายความว่าสามารถใช้สำหรับการวัดตั้งแต่การไหลขนาดเล็กมากไปจนถึงการไหลที่ค่อนข้างใหญ่