RK1500系列浮子流量計配有密封式針閥，可承受高真空、高壓、高溫和有毒氣體。

特徵

･由於在發貨前使用氦檢漏儀進行了 100% 的洩漏測試，因此確保了高度的洩漏可靠性。
･ 波紋管密封型針閥完美地消除了閥桿的洩漏。
･僅在接液部件和接觸其他
流體的部件中使用SUS 316、FKM、氟碳樹脂和派熱克斯玻璃，確保優異的耐腐蝕性 。
･ 使用由精密成形的試平、肋引導玻璃管和超精密浮球與精密針閥組成的流量計，確保了更高的穩定性和可重複性。

應用

･真空系統用
･半導體生產線用

標準規格書

流量範圍尺寸表

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