質量流量控制器 (MFC) 與流量計有什麼不同？

這題問得很到位，因為很多人其實把 MFC 當成只是「比較高級的流量計」，但它們本質差很多 👀
我一樣用「一句話 → 功能 → 表格 → 使用情境」來講。

一句話先分清楚

👉 流量計 = 量多少流過
👉 MFC = 幫你「控制」流量在某個值

量 vs 控，這就是核心差別。

基本功能差異

🔵 流量計（Flow Meter）

  • 功能：測量
  • 告訴你：現在流量是多少
  • 不會自己調整流量
  • 常見輸出：4–20 mA、Pulse、Modbus

就像「碼表」📏

🟢 質量流量控制器（MFC）

  • 功能：測量 + 控制
  • 內建：
    • 質量流量感測器
    • 控制閥
    • PID 控制器
  • 你給它設定值（Setpoint）
  • 它會自動開關閥門，讓流量穩定在目標值

就像「定速巡航」🚗

量「體積」還是「質量」？

這也是重點差異之一 👇

  • 多數傳統流量計：
    • 量 體積流量（m³/h、L/min）
    • 會受 溫度、壓力影響
  • MFC：
    • 量 質量流量（sccm、slm、kg/h）
    • 不需要另外補償 T / P

這也是為什麼 氣體製程超愛用 MFC。

快速對照表（超好記）

項目流量計MFC
功能只量測量測＋控制
能否自動調整❌✅
是否含閥❌✅
控制方式—Setpoint
主要單位L/min、m³/hsccm、slm
常用流體液體 / 氣體多為氣體
價格較低較高

什麼時候一定要用 MFC？<—-了解更多TMFC質量流量控制器

✔ 半導體 / 光電製程
✔ 化學反應氣體配比
✔ 校正、標氣系統
✔ 需要「流量穩住在某一數值」的場合

👉 重點不是「要不要量」，而是「要不要控」。

常見誤會提醒 ⚠️

  • ❌ 用流量計 + 手動閥 ≠ MFC
    → 反應慢、誤差大、重複性差
  • ❌ MFC 不是萬能
    → 高粉塵、高腐蝕、高液體流量都不適合

工程師一句話版

沒有控制需求 → 流量計就好
要穩定配比 / 自動調整 → 一定要 MFC

如果你是遇到實際選型（氣體種類、流量範圍、壓力），直接丟給我，我可以幫你判斷該用流量計、MFC，還是其實該用 MFM + 控制閥更划算 😉