FGT pikirkan pilihan terbaik Anda di masa depan
Desainer Integrasi Sistem di FGT
Tipe TMFM1500: Pengukur Aliran Massa
Dengan asumsi Anda ingin menyediakan gas untuk proses pencampuran gas kimia, pengontrol aliran massa adalah perangkat yang tepat. Mereka digunakan dalam proses berikut:
Tambahkan gas ke pipa pencampur untuk memudahkan penyesuaian rasio
- Perpipaan pencampur gas industri atau pemantauan aliran generator gas
- Menambahkan gas campuran ke pasokan pembangkit plasma
Dalam semua contoh di atas, prosesnya memerlukan pasokan senyawa gas yang berulang dan akurat. Dengan cara ini Anda dapat melanjutkan dengan cara yang terkendali dan mencapai hasil produk yang optimal dengan risiko minimal terhadap kinerja proses yang buruk atau berlebihan, seperti pemborosan reaktan gas yang tidak terpakai atau kehilangan kendali atas proses. Pengontrol aliran massa digunakan untuk tujuan ini.
- Deskripsi
- Spesifikasi teknis
- aplikasi
- Rentang aliran
- Meminta informasi
- perangkat lunak IoT
- Sertifikasi
- Kebutuhan khusus
- Tanyakan sekarang
Pengukur aliran massa TMFM1500 |
- Kinerja presisi tinggi pada laju aliran rendah
- Kecepatan respons (≦1.0)
- Kompatibilitas koneksi tinggi
- Stabilitas tinggi
- Nilai ketahanan korosi
- Linearitas yang luar biasa
- Stabilitas jangka panjang yang sangat baik
- Desain modular
- Sistem kontrol aliran kompak
Apa itu pengukur aliran massa termal?
Pengukur aliran massa termalIni adalah pengukur aliran penurunan tekanan rendah yang akurat dan mudah dipasang. Sangat cocok untuk pengukuran aliran dan kontrol aplikasi gas kering. OKEBerdasarkan jenis gasTautan referensiLamaran datangDapatkan pengukur aliran massa termal. Pengukur aliran massa mengamati efek pendinginan pada transduser yang dipanaskan seiring perubahan aliran udara. Hasilnya adalah tingkat akurasi yang tinggi dengan biaya rendah dibandingkan alat pengukur aliran gas lainnya.
keuntungan:
- · Akurasi tinggi
- ·Berbagai laju aliran, termasuk laju aliran rendah
- ·Konstruksi sederhana dan tahan lama
- ·Mudah dipasang dan dirawat
- ·Koneksi fleksibel pengukur aliran untuk kontrol aliran
- ·Berbagai koneksi proses
- · Rasio penyesuaian 100:1
- ·Penurunan tekanan rendah pada flow meter
- ·Menyediakan keluaran sinyal yang nyaman
Prinsip pengukur aliran massa termal
Pengukur aliran massa termalGunakan sifat termal fluida untuk mengukur pergerakan fluida dalam pipa atau tabung. Dalam pengukur aliran energi panas, panas yang diukur diterapkan ke pemanas sensor. Sejumlah energi tertentu hilang selama aliran, dan semakin besar aliran, semakin banyak energi yang hilang. Jumlah energi yang hilang oleh sensor bergantung pada sifat termal fluida dan desain sensor. Sifat termobarik fluida dapat bervariasi terhadap suhu dan tekanan, meskipun perubahan ini umumnya tidak signifikan pada sebagian besar aplikasi. Karena pengukuran aliran panas tidak bergantung pada suhu atau tekanan fluida, pengukur aliran energi panas dapat digunakan untuk memperkirakan laju aliran massa fluida.
Dengan kata lain, dalam sebagian besar aplikasi, sifat suatu fluida mungkin bergantung pada komposisinya. Untuk aplikasi ini, komposisi fluida yang berbeda dapat mengganggu dimensi aliran panas selama pengoperasian sebenarnya. Oleh karena itu, untukPengukur aliran massa termalPenting bagi penyedia layanan untuk memahami komposisi cairan sehingga faktor normalisasi yang tepat dapat diproses untuk menentukan laju aliran secara akurat. Karena keterbatasan ini,Pengukur aliran massa termalBiasanya digunakan untuk mengukur laju aliran gas murni. Produsen dapat memberikan informasi standar yang sesuai untuk kombinasi gas lainnya, namunPengukur aliran massa termalKeakuratan tergantung pada apakah campuran gas sebenarnya sama dengan campuran gas yang digunakan untuk tujuan standardisasi.
Aplikasi pengontrol aliran massa
- Mesin pembersih plasma
- Kotak/panci katup pengalih gas
- Kontrol aliran keluaran kabinet tabung gas
- Kontrol keluaran generator gas
- Kontrol pengelasan api
- Pengukuran pipa sumber gas
Jenis pengontrol aliran massa apa yang ada di seri TMFM/TMFC?
Pengontrol aliran massa termal menggunakan teknologi penginderaan massa termal gas untuk mengontrol aliran massanya. Dalam portofolio produk TMFC kami memiliki beberapa pengontrol aliran massa termal, masing-masing dengan teknologi sensornya sendiri:
Pengontrol aliran massa menggunakan sensor bypass. Perangkat ini, seperti TMFC dan TMFM, ideal untuk aplikasi gas bersih dan kering yang memerlukan akurasi dan kemampuan pengulangan yang lebih tinggi.
Pengontrol aliran massa menggunakan prinsip online. Jika aplikasi Anda memiliki gas dengan kemurnian tinggi di atas 99,9%, atau ketika kemampuan pengulangan dan ketahanan yang tinggi lebih penting daripada akurasi, seri seperti seri TMFC dan TMFM adalah pilihan yang tepat.
Pengontrol aliran massa gas menggunakan teknologi kontrol perpipaan. Seri ini menonjol karena memungkinkan pengukuran dan kontrol aliran gas.
Kapan pun aliran massa Anda perlu ditampilkan pada rentang aliran yang luas, seri gas yang menggunakan teknologi sensor chip MEMS (seperti TMFM6000) adalah pilihan yang tepat.
Pengontrol aliran massa gas menggunakan teknologi in-line (CMOS).
Prinsip Pengontrol Aliran Massa (MFC)/Prinsip Pengontrol Aliran
Pengontrol aliran massa (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran cairan dan gas. [1] Pengontrol aliran massa dirancang dan dikalibrasi untuk mengontrol jenis cairan atau gas tertentu dalam rentang aliran tertentu. MFC dapat memiliki titik setel dalam rentang skala penuh 0% hingga 100%, namun biasanya beroperasi dalam rentang skala penuh 10% hingga 90% untuk akurasi terbaik. Perangkat kemudian akan mengontrol laju aliran ke tekanan yang ditentukan. MFC dapat berupa analog atau digital. Pengontrol aliran digital seringkali mampu mengendalikan lebih dari satu fluida, sedangkan pengontrol analog terbatas pada fluida yang dikalibrasi.
Semua pengontrol aliran massa memiliki port masuk, port outlet, sensor aliran massa, dan katup kontrol proporsional. MFC dilengkapi dengan sistem kontrol loop tertutup di mana operator (atau sirkuit/komputer eksternal) memberikan sinyal input yang dibandingkan dengan nilai sensor aliran massa dan katup proporsional disesuaikan untuk mencapai laju aliran yang diinginkan. Laju aliran ditentukan sebagai persentase dari laju aliran skala penuh yang dikalibrasi dan diberikan ke MFC sebagai sinyal tegangan.
Pengontrol aliran massa mengharuskan pasokan gas atau cairan berada dalam kisaran tekanan tertentu. Tekanan rendah akan menghabiskan cairan MFC dan mencegahnya mencapai titik setel. Tekanan tinggi dapat menyebabkan laju aliran tidak stabil. Ada banyak teknologi berbeda yang dapat membantu mengukur aliran suatu fluida dan pada akhirnya membantu mengontrol aliran. Teknologi ini menentukan jenis pengontrol aliran massa dan mencakup tekanan diferensial (ΔP), perbedaan suhu (ΔT), gaya Coriolis, ultrasonik, elektromagnetik, turbin, dll.

Pemasangan pengukur aliran massa
Saat ini, pengukur aliran massa semakin banyak digunakan dalam aplikasi.Dalam beberapa kasus di mana pengukur aliran massa dipasang untuk pertama kalinya, metode pemasangan pengukur aliran massa tidak jelas, dan pemasangannya terbalik atau salah dipasang, yang mempengaruhi penggunaan normal peralatan. Artikel ini akan fokus pada masalah ini. Mari kita perkenalkan metode pemasangan pengukur aliran massa secara detail.
Tekanan mekanis yang berlebihan pada saat sensor dipasang akan mempengaruhi titik nol meter aliran massa.Jika tegangan ini terus berubah maka meteran akan mengalami penyimpangan titik nol, yang akan menyebabkan meteran mengukur secara tidak akurat dan gagal bekerja dengan baik. Oleh karena itu, pemasangan pengukur aliran massa yang benar merupakan bagian penting untuk memastikan pengoperasian normal peralatan.
1. Pemilihan metode instalasi
Metode pemasangan sensor terutama ditentukan berdasarkan fase fluida dan kondisi prosesnya.Ada tiga metode pemasangan.
1. Jika fluida yang akan diukur adalah cairan, sensor umumnya dipasang dengan cangkang menghadap ke bawah untuk menghindari penumpukan udara di dalam tabung getaran sensor, sehingga mencapai tujuan pengukuran aliran massa secara akurat.
2. Jika fluida yang akan diukur berupa gas, umumnya sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke atas untuk mencegah terjadinya pengembunan pada tabung getaran sensor.
3. Jika fluida yang akan diukur merupakan campuran bubur cair dan padat, pasang sensor pada saluran vertikal, yang dapat mencegah partikel terakumulasi dalam tabung pengukur gaya Coriolis pada sensor. Selain itu, jika pipa proses perlu dibersihkan dengan gas dan uap, metode pemasangan ini juga dapat memudahkan pembersihan, namun metode pemasangan ini lebih sulit diperbaiki dibandingkan dua metode sebelumnya, dan kehilangan tekanan lebih besar.

pengontrol aliran gas
pengontrol aliran massa gaspengontrol aliran massa gas
Rumus aliran massa
Jenis pengukur aliran massa
Pengukur aliran massa dalam bahasa Inggris
berdasarkanJaringan Sandu Cina.Beberapa interpretasi pengukur aliran massa [kata benda komputer elektronik] pengukur aliran massa [teknik mesin] sensor pengukur aliran massa [kata benda ilmu kelautan - teknik bawah air] aliran massa termal [teknik elektronik] pengukuran aliran massa [teknik elektro]
Spesifikasi teknis
seri | TMFM15F | TMFM15N | TMFM15B | TMFM15S |
Rentang aliran (N2) | 1,0~1600Nm3/jam | 1,0~1600Nm3/jam | 1,0~1600Nm3/jam | 1000~400000Nm3/jam |
kecepatan reaksi | ≦1,0 detik | |||
Ketepatan | ±1,5 % FS | |||
Akurasi reproduksi | ±0,75 % FS | |||
Tahan tekanan | 0,1~1,5 MPa | |||
Tingkat kebocoran | 1 x 10-9 atm.cc/detik atau kurang | |||
Suhu Operasional | -20~65℃;<95%RH | |||
Bahan untuk bagian kontak gas | Badan: SUS316 | |||
Metode koneksi | Penghubung jalur pipa | NPT | BSPT | menyisipkan |
katup bola | tidak ada | memiliki | ||
Koneksi wifi | Modbus Zigbee Wifi RS485 | |||
Sinyal keluaran aliran | 0~5 Vdc;4~20mA,:Pulsa;RS-485;RS-232 | |||
perangkat lunak aplikasi | Dukungan: iOS/Android | |||
Tegangan suplai | +8~24VDC |
aplikasi
Apa itu MFM
Pengukur aliran massa, juga dikenal sebagai pengukur aliran inersia, adalah alat yang mengukur aliran massa fluida melalui pipa. Laju aliran massa adalah massa fluida yang melewati suatu titik tetap per satuan waktu.
Pengukur aliran massa tidak mengukur volume per satuan waktu yang mengalir melalui suatu perangkat (misalnya, meter kubik per detik); ia mengukur massa per satuan waktu yang mengalir melalui perangkat (misalnya, kilogram per detik). Laju aliran volume adalah laju aliran massa dibagi densitas fluida. Jika massa jenisnya konstan, maka hubungannya sederhana. Jika fluida mempunyai massa jenis yang bervariasi, hubungannya tidak sederhana. Kepadatan suatu fluida dapat berubah seiring dengan perubahan suhu, tekanan, atau komposisi. Fluida juga dapat berupa kombinasi fase, misalnya fluida dengan gelembung udara yang tertahan. Karena kecepatan suara bergantung pada konsentrasi cairan yang dikontrol, kepadatan sebenarnya dapat ditentukan. [1]
aplikasi MFM
1. Monitor saluran pipa yang cerdas
Alasan utama mengapa pengukur aliran massa termal populer dalam aplikasi industri adalah cara mereka dirancang dan diproduksi. Mereka tidak memiliki bagian yang bergerak, hampir tidak ada halangan pada jalur aliran lurus, tidak memerlukan koreksi suhu atau tekanan, dan menjaga akurasi pada rentang aliran yang luas. Dengan menggunakan elemen pengatur aliran pelat ganda, aliran pipa yang lurus dapat dikurangi dan pemasangannya sangat sederhana serta tidak menyebabkan intrusi pipa.
Namun, dalam banyak aplikasi, sifat termal suatu fluida mungkin bergantung pada komposisi fluida. Dalam aplikasi tersebut, perubahan komposisi fluida selama operasi sebenarnya dapat mempengaruhi pengukuran aliran panas. Oleh karena itu, penting bagi pemasok pengukur aliran termal untuk memahami komposisi fluida sehingga laju aliran dapat ditentukan secara akurat menggunakan faktor kalibrasi yang tepat. Pemasok dapat memberikan informasi kalibrasi yang sesuai untuk campuran gas lainnya, namun keakuratan pengukur aliran termal bergantung pada campuran gas sebenarnya yang sama dengan yang digunakan untuk tujuan kalibrasi. Dengan kata lain, keakuratan pengukur aliran termal yang dikalibrasi untuk campuran gas tertentu akan berkurang jika gas yang mengalir sebenarnya memiliki komposisi berbeda. [2]
2.mesin CVD
Apa itu CVD
Deposisi fase uap (CVD) adalah metode deposisi vakum yang digunakan untuk menghasilkan material padat berkualitas tinggi dan berkinerja tinggi. Proses ini biasa digunakan dalam industri semikonduktor untuk menghasilkan film tipis.
Dalam CVD tipikal, wafer (substrat) terkena satu atau lebih prekursor yang mudah menguap yang bereaksi dan/atau terurai pada permukaan substrat untuk menghasilkan endapan yang diinginkan. Produk sampingan yang mudah menguap juga biasanya diproduksi dan dihilangkan oleh aliran gas melalui ruang reaksi.
Proses pemesinan mikro secara ekstensif menggunakan CVD untuk menyimpan berbagai bentuk material, termasuk: monokristalin, polikristalin, amorf, dan epitaksial. Bahan-bahan ini meliputi: silikon (karbon dioksida, karbida, nitrida, nitrogen oksida), karbon (serat, serat nano, tabung nano, berlian dan graphene), fluorokarbon, filamen, tungsten, titanium nitrida dan berbagai dielektrik High-k.
3. Kotak/panel katup (VMB/VMP)
Apa itu VMB/VMP
Melalui pengalaman kami dalam menangani gas, kami memperoleh pengetahuan untuk merancang dan memproduksi panel (kotak gas) untuk sistem EPI, MOCVD, sistem pasokan material, dll.
Di antara pencapaian bisnis kami, kami mampu merancang dan memproduksi produk yang memenuhi kebutuhan pelanggan (harga dan spesifikasi). Kami tidak hanya dapat menangani gas biasa, namun kami juga dapat menangani pasokan gas cair untuk cincin hub. Kami juga mendukung berbagai aplikasi hukum.
Rentang aliran
seri | TMFM15F | TMFM15N | TMFM15B | TMFM15S |
Rentang aliran (N2) | 1,0~1600Nm3/jam | 1,0~1600Nm3/jam | 1,0~1600Nm3/jam | 1000~400000Nm3/jam |
kecepatan reaksi | ≦1,0 detik | |||
Ketepatan | ±1,5 % FS | |||
Akurasi reproduksi | ±0,75 % FS | |||
Tahan tekanan | 0,1~1,5 MPa | |||
Tingkat kebocoran | 1 x 10-9 atm.cc/detik atau kurang | |||
Suhu Operasional | -20~65℃;<95%RH | |||
Bahan untuk bagian kontak gas | Badan: SUS316 | |||
Metode koneksi | Penghubung jalur pipa | NPT | BSPT | menyisipkan |
katup bola | tidak ada | memiliki | ||
Koneksi wifi | Modbus Zigbee Wifi RS485 | |||
Sinyal keluaran aliran | 0~5 Vdc;4~20mA,:Pulsa;RS-485;RS-232 | |||
perangkat lunak aplikasi | Dukungan: iOS/Android | |||
Tegangan suplai | +8~24VDC |
Meminta informasi
Model pesanan | ||||||||||||
TMFM15 | pengkodean | Diameter pipa | ||||||||||
|
F00025 | DN25mm (tipe koneksi pin ke flensa) | ||||||||||
F00032 | DN32mm (tipe sambungan pin ke flensa) | |||||||||||
F00040 | DN40mm (tipe koneksi pin ke flensa) | |||||||||||
F00050 | DN50mm (tipe koneksi pin ke flensa) | |||||||||||
F00065 | DN65mm (tipe koneksi pin ke flensa) | |||||||||||
F00080 | DN80mm (tipe koneksi pin ke flensa) | |||||||||||
F00100 | DN100mm (tipe koneksi pin ke flensa) | |||||||||||
N00025 | DN25mm (pin untuk tipe koneksi NPT) | |||||||||||
N00032 | DN32mm (pin untuk tipe koneksi NPT) | |||||||||||
N00040 | DN40mm (pin untuk tipe koneksi NPT) | |||||||||||
N00050 | DN50mm (pin untuk tipe koneksi NPT) | |||||||||||
B00025 | DN25mm (untuk tipe koneksi BSPT) | |||||||||||
B00032 | DN32mm (untuk tipe koneksi BSPT) | |||||||||||
B00040 | DN40mm (untuk tipe koneksi BSPT) | |||||||||||
B00050 | DN50mm (untuk tipe koneksi BSPT) | |||||||||||
SXXXX | Kode SXXXX untuk DN80~1600mm (pin untuk tipe koneksi plug-in) | |||||||||||
|
pengkodean | katup bola | ||||||||||
N | Tidak tersedia (untuk tipe flensa/NPT/BSPT) | |||||||||||
W | Katup bola (tipe penyisipan) | |||||||||||
|
pengkodean | Tingkat anti huru-hara | ||||||||||
E | Tingkat tahan ledakan | |||||||||||
X | Tidak ada tingkat tahan ledakan | |||||||||||
|
pengkodean | Jenis keluaran | ||||||||||
W | Wifi+RS485 (tipe standar) | |||||||||||
V | 0~5VDC | |||||||||||
A | 4~20mA | |||||||||||
B | RS-485 | |||||||||||
C | RS-232 | |||||||||||
D | Detak | |||||||||||
|
pengkodean | aliran minimum | ||||||||||
XX | Nm3/jam (misalnya 0,5 Nm3/jam =05 | |||||||||||
|
pengkodean | Aliran maksimum | ||||||||||
XXX | Nm3/jam (misal 450 Nm3/jam =450 | |||||||||||
|
pengkodean | Tekanan kerja maksimum | ||||||||||
XX | MPa (misalnya 1,5 MPa=15) | |||||||||||
|
pengkodean | Jenis gas | ||||||||||
A | Udara | |||||||||||
N | Nitrogen (N2) | |||||||||||
HAI | Oksigen (O2) | |||||||||||
R | Argon (Ar) | |||||||||||
C | karbon dioksida (CO2) | |||||||||||
E | Helium (Dia) | |||||||||||
H | Hidrogen (H2) | |||||||||||
S | Gas khusus, silakan hubungi pusat layanan kami | |||||||||||
|
||||||||||||
TMFM15 | Model pesanan lengkap | |||||||||||
*Catatan: Semua model dilengkapi dengan catu daya (+ 8~24 Vdc) | ||||||||||||
*Catatan: Kustomisasi OEM diterima untuk pesanan lebih dari 100 buah |