أعتقد أن FGT هو خيارك الأفضل في المستقبل
مصممو تكامل الأنظمة في FGT
- وصف
- معلومات إضافية
- المواصفات الفنية
- طلب
- نطاق التدفق
- معلومات الطلب
- شهادة
- ذوي الاحتياجات الخاصة
- استفسر الآن
TMFC300質量流量控制器特性|氣體流量控制
- دقة عالية في ظل معدل تدفق منخفض
- استجابة سريعة (≤1.0)
- يوفر نطاق ضغط واسع (1300 رطل لكل بوصة مربعة)
- لا يوجد تسريب
- لا حاجة لدرجة حرارة أو ضغط
- توافق الاتصال
- مستشعر قابل للفصل عالي الثبات
- مقاومة التآكل
- خطية ممتازة
- استقرار ممتاز على المدى الطويل
- تصميم معياري
- نظام التحكم في التدفق المدمج
فيديو المنتج
فائدة:
تطبيقات وحدة التحكم في تدفق الكتلة
- آلة تنظيف البلازما
- صندوق/لوحة صمام تحويل الغاز
- التحكم في تدفق الغاز الخارج من خزانة أسطوانة الغاز
- التحكم في خرج مولد الغاز
- التحكم في لحام اللهب
ما هي أنواع أجهزة التحكم في تدفق الكتلة المتوفرة في سلسلة TMFM/TMFC؟
تستخدم وحدات التحكم في التدفق الكتلي الحراري تقنية استشعار الكتلة الحرارية للغازات للتحكم في معدل تدفقها. ضمن مجموعة منتجات TMFC، نقدم العديد من وحدات التحكم في التدفق الكتلي الحراري، كل منها مزود بتقنية استشعار خاصة به.
أجهزة التحكم في التدفق الكتلي التي تستخدم مستشعرات التجاوز. تُعد هذه الأجهزة (مثل TMFC وTMFM) مثالية لتطبيقات الغاز النظيف والجاف التي تتطلب دقة وتكرارية أعلى.
وحدات تحكم في تدفق الكتلة تعتمد على مبدأ التشغيل المباشر. إذا كان تطبيقك يتضمن غازات بنقاوة 99.91 TP3T أو أعلى، أو عندما تكون قابلية التكرار العالية والمتانة أهم من الدقة، فإن سلسلتي TMFC وTMFM هما الخيار الأمثل.
أجهزة التحكم في تدفق الغاز التي تستخدم تقنية التحكم في الأنابيب. تتميز هذه السلسلة بقدرتها على قياس تدفق الغاز والتحكم فيه.
إذا كنت بحاجة إلى عرض معدل تدفق الكتلة وكان نطاق معدل التدفق كبيرًا، فإن سلسلة الغاز التي تستخدم تقنية مستشعر رقاقة MEMS (مثل TMFM6000) هي الخيار الأمثل.
جهاز تحكم في تدفق كتلة الغاز باستخدام تقنية (CMOS) عبر الإنترنت.
مبدأ عمل جهاز التحكم في التدفق الكتلي (MFC) / مبدأ عمل جهاز التحكم في التدفق
جهاز التحكم في التدفق الكتلي (MFC) هو جهاز يُستخدم لقياس معدل تدفق السوائل والغازات والتحكم فيه. [1] يُصمم جهاز التحكم في التدفق الكتلي ويُعاير للتحكم في نوع محدد من السوائل أو الغازات ضمن نطاق تدفق محدد. يمكن ضبط جهاز التحكم في التدفق الكتلي على نقطة ضبط بين 0.1 TP3T و100 TP3T من نطاقه الكامل، ولكنه يعمل عادةً بين 10 TP3T و90 TP3T من النطاق الكامل لتحقيق الدقة المثلى. ثم يتحكم الجهاز في معدل التدفق إلى نقطة الضبط المحددة. يمكن أن تكون أجهزة التحكم في التدفق الكتلي تناظرية أو رقمية. تتميز أجهزة التحكم الرقمية في التدفق بقدرتها على التحكم في أكثر من نوع واحد من السوائل، بينما تقتصر أجهزة التحكم التناظرية على السوائل التي تمت معايرتها من أجلها.
تحتوي جميع وحدات التحكم في التدفق الكتلي (MFCs) على منفذ دخول، ومنفذ خروج، ومستشعر تدفق كتلي، وصمام تحكم تناسبي. تُجهز وحدة التحكم بنظام تحكم ذي حلقة مغلقة، حيث يُدخل المشغل (أو دائرة خارجية/حاسوب) إشارة دخل، تُقارن بقيمة مستشعر التدفق الكتلي، ويُضبط الصمام التناسبي وفقًا لذلك لتحقيق معدل التدفق المطلوب. يُحدد معدل التدفق كنسبة مئوية من معدل التدفق الكامل المُعاير، ويُرسل إلى وحدة التحكم كإشارة جهد.
تتطلب أجهزة التحكم في التدفق الكتلي أن يكون ضغط الغاز أو السائل المُزوَّد ضمن نطاق ضغط محدد. يؤدي انخفاض الضغط إلى استنزاف السائل في جهاز التحكم ومنعه من الوصول إلى نقطة الضبط المطلوبة. بينما قد يتسبب ارتفاع الضغط في عدم استقرار معدل التدفق. تتوفر العديد من التقنيات المختلفة التي تساعد في قياس معدل تدفق السائل والتحكم فيه. وتُحدد هذه التقنيات أنواع أجهزة التحكم في التدفق الكتلي، بما في ذلك فرق الضغط (ΔP)، وفرق درجة الحرارة (ΔT)، وقوة كوريوليس، والموجات فوق الصوتية، والموجات الكهرومغناطيسية، والتوربينات، وغيرها.
تركيب مقياس تدفق الكتلة
تُستخدم عدادات التدفق الكتلي بشكل متزايد في تطبيقات متنوعة. مع ذلك، قد لا يكون تركيبها واضحًا لدى بعض المستخدمين الجدد، مما يؤدي إلى تركيبها بشكل خاطئ أو معكوس، الأمر الذي يؤثر على التشغيل السليم للجهاز. ستقدم هذه المقالة شرحًا مفصلًا لطريقة تركيب عدادات التدفق الكتلي لمعالجة هذه المشكلة.
قد يؤثر الإجهاد الميكانيكي المفرط أثناء تركيب الحساس على نقطة الصفر لمقياس تدفق الكتلة. إذا كان هذا الإجهاد يتغير باستمرار، فسيتعرض الجهاز لانحراف في نقطة الصفر، مما يؤدي إلى قياسات غير دقيقة وتعطل في الجهاز. لذلك، يُعد التركيب الصحيح لمقياس تدفق الكتلة أمرًا بالغ الأهمية لضمان التشغيل السليم للجهاز.
1. اختيار طريقة التركيب
يتم تحديد طريقة تركيب المستشعر بشكل أساسي وفقًا لحالة السائل وظروف تشغيله، وهناك ثلاث طرق للتركيب.
1. إذا كان السائل المراد قياسه سائلاً، يتم تركيب المستشعر بشكل عام مع توجيه الغلاف الخارجي لأسفل لمنع تراكم الهواء داخل أنبوب المستشعر المهتز، وبالتالي تحقيق الغرض من قياس معدل تدفق الكتلة بدقة.
2. إذا كان السائل المراد قياسه غازًا، يتم تركيب المستشعر بشكل عام مع توجيه الغلاف الخارجي لأعلى لمنع تراكم المكثفات داخل أنبوب المستشعر المهتز.
3. إذا كان السائل المراد قياسه خليطًا من سائل ومادة صلبة، فإن تركيب الحساس على خط أنابيب رأسي يمنع تراكم الجزيئات داخل أنبوب قياس قوة كوريوليس الخاص به. علاوة على ذلك، تُسهّل هذه الطريقة عملية التنظيف إذا تطلّب خط الأنابيب تطهيره بالغاز والبخار؛ إلا أنها أكثر صعوبة في التثبيت من الطريقتين السابقتين، وتؤدي إلى فقدان أكبر في الضغط.
جهاز التحكم في تدفق الغاز
أجهزة التحكم في تدفق كتلة الغاز
معادلة تدفق الكتلة
أنواع عدادات التدفق الكتلي
مقياس تدفق الكتلة (الإنجليزية)
وفقSanDuHanyu.netتفسيرات متعددة: مقياس تدفق الكتلة (مصطلح علوم الحاسوب)، مقياس تدفق الكتلة (الهندسة الميكانيكية)، مستشعر مقياس تدفق الكتلة (مصطلح علوم البحار - الهندسة تحت الماء)، تدفق الكتلة الحرارية (الهندسة الإلكترونية)، قياس تدفق الكتلة (الهندسة الكهربائية).
| يتحكم | IOT, MCU, PLC |
|---|---|
| طلب | تدفق |
| يكتب | إلكتروني |
| طريقة التركيب | أسنان |
| طريقة الإخراج | رقمي، تناظري |
المواصفات الفنية
| نموذج | TMFC300V | TMFC300VD | TMFC300A | TMFC300A | |
| نطاق التدفق (N2) | 100~300SLM | 100~300SLM | 100~300SLM | 100~300SLM | |
| زمن الاستجابة | ≦2.0 sec | ||||
| دقة | ±1.0 % FS | ||||
| قابلية التكرار | ±0.25 % FS | ||||
| ضغط الإثبات | 1500 PSI | ||||
| معدل التسرب | 1 × 10⁻⁹ ضغط جوي.سم مكعب/ثانية أو أقل | ||||
| نطاق درجة حرارة التشغيل | 0~50 درجة مئوية | ||||
|
مواد الأجزاء الملامسة للغازات |
الهيكل: SUS316 | ||||
| Valve seat:Vition(Option Bura or Kalrez or Teflon) | |||||
|
مشترك |
Standard:3/8″ compression | ||||
| Option: 1/8″Compression or VCR,1/4″Compression or VCR VCR,3/8″ VCR | |||||
| التوصيلات الكهربائية | موصل ذكر Dsub ذو 15 سنًا وفقًا للمعايير | ||||
| إشارات إدخال معدل التدفق | 0~5 فولت تيار مستمر | 0~5 Vdc+RS-485 | 4~20 مللي أمبير | 4~20mA+RS-485 | |
| إشارات خرج معدل التدفق | 0~5 فولت تيار مستمر | 0~5 Vdc+RS-485 | 4~20 مللي أمبير | 4~20mA+RS-485 | |
| مصدر الطاقة المطلوب | +15~28 فولت تيار مستمر / 350 مللي أمبير | ||||
|
Option display |
Use to Type | ◎Yes | لا | ◎Yes | لا |
| Display interface | Option:Interface or Separate Type(With Cable Line 1M or 3M) for TMFC300V/A only | ||||
| communication Interface | Digital: RS485 (default) / DeviceNet for TMFC300V/A only | ||||
| Power supply | AC110~240 V for TMFC300V/A only | ||||
|
Coming Soon Function |
|||||
طلب
ما هو MFC؟
جهاز التحكم في التدفق الكتلي (MFC) هو جهاز يُستخدم لقياس معدل تدفق الغاز والتحكم فيه. [1] يُصمم جهاز التحكم في التدفق الكتلي ويُعاير للتحكم في نوع معين من السوائل أو الغازات ضمن نطاق تدفق محدد. يمكن ضبط جهاز التحكم في التدفق الكتلي على نقطة ضبط بين 0.1 TP3T و100 TP3T من نطاقه الكامل، ولكنه يعمل عادةً بين 10.1 TP3T و90 TP3T من النطاق الكامل للحصول على دقة مثلى. ثم يتحكم الجهاز في معدل التدفق إلى نقطة الضبط المحددة. يمكن أن تكون أجهزة التحكم في التدفق الكتلي تناظرية أو رقمية. تتميز أجهزة التحكم الرقمية في التدفق بقدرتها على التحكم في أكثر من نوع واحد من السوائل، بينما تقتصر أجهزة التحكم التناظرية على السوائل التي تمت معايرتها من أجلها.
تحتوي جميع وحدات التحكم في التدفق الكتلي (MFCs) على منفذ دخول، ومنفذ خروج، ومستشعر تدفق كتلي، وصمام تحكم تناسبي. تُجهز وحدة التحكم بنظام تحكم ذي حلقة مغلقة، حيث يُدخل المشغل (أو دائرة خارجية/حاسوب) إشارة دخل، تُقارن بقيمة مستشعر التدفق الكتلي، ويُضبط الصمام التناسبي وفقًا لذلك لتحقيق معدل التدفق المطلوب. يُحدد معدل التدفق كنسبة مئوية من معدل التدفق الكامل المُعاير، ويُرسل إلى وحدة التحكم كإشارة جهد.
تتطلب أجهزة التحكم في التدفق الكتلي أن يكون ضغط الغاز أو السائل المُزوَّد ضمن نطاق ضغط محدد. يؤدي انخفاض الضغط إلى استنزاف السائل في جهاز التحكم ومنعه من الوصول إلى نقطة الضبط المطلوبة. أما ارتفاع الضغط فقد يتسبب في عدم استقرار معدل التدفق.
تطبيقات خلايا الوقود الميكروبية
1. آلة الترسيب الكيميائي للبخار
ما هو الترسيب الكيميائي للبخار؟
الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) هو أسلوب ترسيب فراغي يُستخدم لإنتاج مواد صلبة عالية الجودة والأداء. تُستخدم هذه العملية بشكل شائع في صناعة أشباه الموصلات لإنتاج الأغشية الرقيقة.
في عملية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) النموذجية، تُعرَّض رقاقة السيليكون (الركيزة) لمادة أولية متطايرة واحدة أو أكثر تتفاعل و/أو تتحلل على سطح الركيزة لإنتاج الطبقة المطلوبة. وعادةً ما تتولد أيضًا نواتج ثانوية متطايرة، تُزال بواسطة تدفق الغاز المار عبر حجرة التفاعل.
تستخدم عمليات التصنيع الدقيق على نطاق واسع تقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) لترسيب أشكال متنوعة من المواد، بما في ذلك البلورات الأحادية، والمواد متعددة البلورات، والمواد غير المتبلورة، والمواد المترسبة فوق بعضها البعض. تشمل هذه المواد السيليكون (ثاني أكسيد السيليكون، والكربيدات، والنيتريدات، وأوكسي نيتريدات)، والكربون (الألياف، والألياف النانوية، والأنابيب النانوية، والماس، والجرافين)، ومركبات الفلوروكربون، والخيوط، والتنغستن، ونيتريد التيتانيوم، والعديد من المواد العازلة ذات ثابت العزل الكهربائي العالي.
2. صندوق/لوحة مشعب الصمامات (VMB/VMP)
ما هو VMB/VMP؟
من خلال خبرتنا في التعامل مع الغازات، اكتسبنا معرفة بتصميم وتصنيع لوحات الغاز (صناديق الغاز) لأنظمة EPI و MOCVD وأنظمة إمداد المواد، وغير ذلك.
من بين إنجازاتنا التجارية، قدرتنا على تصميم وتصنيع وحدات تزويد الهواء لحلقات المحاور بما يلبي متطلبات العملاء (السعر والمواصفات). نستطيع التعامل مع الغازات العادية والغازات المسالة على حد سواء. كما ندعم مختلف التطبيقات القانونية.
نطاق التدفق
| نموذج | TMFC300V | TMFC300VD | TMFC300A | TMFC300A | |
| نطاق التدفق (N2) | 100~300SLM | 100~300SLM | 100~300SLM | 100~300SLM | |
| زمن الاستجابة | ≦2.0 sec | ||||
| دقة | ±1.0 % FS | ||||
| قابلية التكرار | ±0.25 % FS | ||||
| ضغط الإثبات | 1500 PSI | ||||
| معدل التسرب | 1 × 10⁻⁹ ضغط جوي.سم مكعب/ثانية أو أقل | ||||
| نطاق درجة حرارة التشغيل | 0~50 درجة مئوية | ||||
|
مواد الأجزاء الملامسة للغازات |
الهيكل: SUS316 | ||||
| Valve seat:Vition(Option Bura or Kalrez or Teflon) | |||||
|
مشترك |
Standard:3/8″ compression | ||||
| Option: 1/8″Compression or VCR,1/4″Compression or VCR VCR,3/8″ VCR | |||||
| التوصيلات الكهربائية | موصل ذكر Dsub ذو 15 سنًا وفقًا للمعايير | ||||
| إشارات إدخال معدل التدفق | 0~5 فولت تيار مستمر | 0~5 Vdc+RS-485 | 4~20 مللي أمبير | 4~20mA+RS-485 | |
| إشارات خرج معدل التدفق | 0~5 فولت تيار مستمر | 0~5 Vdc+RS-485 | 4~20 مللي أمبير | 4~20mA+RS-485 | |
| مصدر الطاقة المطلوب | +15~28 فولت تيار مستمر / 350 مللي أمبير | ||||
|
Option display |
Use to Type | ◎Yes | لا | ◎Yes | لا |
| Display interface | Option:Interface or Separate Type(With Cable Line 1M or 3M) for TMFC300V/A only | ||||
| communication Interface | Digital: RS485 (default) / DeviceNet for TMFC300V/A only | ||||
| Power supply | AC110~240 V for TMFC300V/A only | ||||
|
Coming Soon Function |
|||||
معلومات الطلب
| معلومات الطلب | |||||||||||
| TMFC | شفرة | نطاق التدفق | |||||||||
|
|
125 | 30~100SLM | |||||||||
| 300 | 100~300SLM | ||||||||||
| 500 | 300~1000SLM | ||||||||||
|
|
شفرة | إشارة الدخول/الخروج | |||||||||
| V | 0~5 فولت تيار مستمر (النوع القياسي) | ||||||||||
| أ | 4~20 مللي أمبير | ||||||||||
| VD | 0~5Vdc+RS-485(Can’t use to option display type) | ||||||||||
|
4~20mA+RS-485(Can’t use to option display type) | ||||||||||
| شفرة | المقاس المناسب | ||||||||||
| 2 | 1/8″ | ||||||||||
| 4 | 1/4″ | ||||||||||
| 6 | 3/8″(Standard Type for TMFC125/300) | ||||||||||
| 8 | 1/2″(Standard Type for TMFC500) | ||||||||||
|
|
شفرة | نوع التركيب | |||||||||
| أ | ضغط SWL | ||||||||||
| V | جهاز فيديو ذكري | ||||||||||
|
|
شفرة | ختم | |||||||||
| V | فيتون (النوع القياسي) | ||||||||||
| ب | بونا | ||||||||||
| ك | كالريز | ||||||||||
| تي | التفلون | ||||||||||
| شفرة | Option Display Function#1 | ||||||||||
| شمال | Without(Standard Type) | ||||||||||
| أنا | Interface Type | ||||||||||
| د | Separate Type with Cable Line 1M | ||||||||||
| هـ | Separate Type with Cable Line 1M | ||||||||||
| شفرة | Option Display Remove#2 | ||||||||||
| R | Digital RS485(Standard Type) | ||||||||||
| د | Device Net | ||||||||||
|
|
|||||||||||
| TMFC | رمز الطلب الكامل | ||||||||||
| *ملاحظة: جميع الموديلات مزودة بمصدر طاقة (+15~28 فولت تيار مستمر/350 مللي أمبير) | |||||||||||
| *ملاحظة: استخدام شعار العميل لإطلاق أكثر من 100 وحدة لمدة عام واحد | |||||||||||
شهادة
