FGT pikirkan pilihan terbaik Anda di masa depan
Desainer Integrasi Sistem di FGT
Tipe TMFC300: Pengontrol Aliran Massa
Karakteristik pengontrol aliran massa TMFC300 | aplikasi kontrol aliran gas: mesin pembersih plasma | kotak/panci katup pengalih gas | kontrol aliran keluaran kabinet tabung gas | kontrol keluaran generator gas | kontrol pengelasan api | pengukuran perpipaan sumber gas
- Deskripsi
- Informasi Tambahan
- Spesifikasi teknis
- aplikasi
- Rentang aliran
- Meminta informasi
- Sertifikasi
- Kebutuhan khusus
- Tanyakan sekarang
Karakteristik pengontrol aliran massa TMFC300 | kontrol aliran gas
- Akurasi tinggi pada laju aliran rendah
- Respon cepat (≦1.0)
- Tersedia dalam rentang tekanan luas (1300 PSIG)
- Tidak ada kebocoran
- Tidak diperlukan suhu atau tekanan
- Kompatibel dengan konektivitas
- Sensor yang dapat dilepas dengan stabilitas tinggi
- Nilai ketahanan korosi
- Linearitas yang luar biasa
- Stabilitas jangka panjang yang sangat baik
- Desain modular
- Sistem kontrol aliran kompak
video produk
keuntungan:
Aplikasi pengontrol aliran massa
- Mesin pembersih plasma
- Kotak/panci katup pengalih gas
- Kontrol aliran keluaran kabinet tabung gas
- Kontrol keluaran generator gas
- Kontrol pengelasan api
Jenis pengontrol aliran massa apa yang ada di seri TMFM/TMFC?
Pengontrol aliran massa termal menggunakan teknologi penginderaan massa termal gas untuk mengontrol aliran massanya. Dalam portofolio produk TMFC kami memiliki beberapa pengontrol aliran massa termal, masing-masing dengan teknologi sensornya sendiri:
Pengontrol aliran massa menggunakan sensor bypass. Perangkat ini, seperti TMFC dan TMFM, ideal untuk aplikasi gas bersih dan kering yang memerlukan akurasi dan kemampuan pengulangan yang lebih tinggi.
Pengontrol aliran massa menggunakan prinsip online. Jika aplikasi Anda memiliki gas dengan kemurnian tinggi di atas 99,9%, atau ketika kemampuan pengulangan dan ketahanan yang tinggi lebih penting daripada akurasi, seri seperti seri TMFC dan TMFM adalah pilihan yang tepat.
Pengontrol aliran massa gas menggunakan teknologi kontrol perpipaan. Seri ini menonjol karena memungkinkan pengukuran dan kontrol aliran gas.
Kapan pun aliran massa Anda perlu ditampilkan pada rentang aliran yang luas, seri gas yang menggunakan teknologi sensor chip MEMS (seperti TMFM6000) adalah pilihan yang tepat.
Pengontrol aliran massa gas menggunakan teknologi in-line (CMOS).
Prinsip Pengontrol Aliran Massa (MFC)/Prinsip Pengontrol Aliran
Pengontrol aliran massa (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran cairan dan gas. [1] Pengontrol aliran massa dirancang dan dikalibrasi untuk mengontrol jenis cairan atau gas tertentu dalam rentang aliran tertentu. MFC dapat memiliki titik setel dalam rentang skala penuh 0% hingga 100%, namun biasanya beroperasi dalam rentang skala penuh 10% hingga 90% untuk akurasi terbaik. Perangkat kemudian akan mengontrol laju aliran ke tekanan yang ditentukan. MFC dapat berupa analog atau digital. Pengontrol aliran digital seringkali mampu mengendalikan lebih dari satu fluida, sedangkan pengontrol analog terbatas pada fluida yang dikalibrasi.
Semua pengontrol aliran massa memiliki port masuk, port outlet, sensor aliran massa, dan katup kontrol proporsional. MFC dilengkapi dengan sistem kontrol loop tertutup di mana operator (atau sirkuit/komputer eksternal) memberikan sinyal input yang dibandingkan dengan nilai sensor aliran massa dan katup proporsional disesuaikan untuk mencapai laju aliran yang diinginkan. Laju aliran ditentukan sebagai persentase dari laju aliran skala penuh yang dikalibrasi dan diberikan ke MFC sebagai sinyal tegangan.
Pengontrol aliran massa mengharuskan pasokan gas atau cairan berada dalam kisaran tekanan tertentu. Tekanan rendah akan menghabiskan cairan MFC dan mencegahnya mencapai titik setel. Tekanan tinggi dapat menyebabkan laju aliran tidak stabil. Ada banyak teknologi berbeda yang dapat membantu mengukur aliran suatu fluida dan pada akhirnya membantu mengontrol aliran. Teknologi ini menentukan jenis pengontrol aliran massa dan mencakup tekanan diferensial (ΔP), perbedaan suhu (ΔT), gaya Coriolis, ultrasonik, elektromagnetik, turbin, dll.

Pemasangan pengukur aliran massa
Saat ini, pengukur aliran massa semakin banyak digunakan dalam aplikasi.Dalam beberapa kasus di mana pengukur aliran massa dipasang untuk pertama kalinya, metode pemasangan pengukur aliran massa tidak jelas, dan pemasangannya terbalik atau salah dipasang, yang mempengaruhi penggunaan normal peralatan. Artikel ini akan fokus pada masalah ini. Mari kita perkenalkan metode pemasangan pengukur aliran massa secara detail.
Tekanan mekanis yang berlebihan pada saat sensor dipasang akan mempengaruhi titik nol meter aliran massa.Jika tegangan ini terus berubah maka meteran akan mengalami penyimpangan titik nol, yang akan menyebabkan meteran mengukur secara tidak akurat dan gagal bekerja dengan baik. Oleh karena itu, pemasangan pengukur aliran massa yang benar merupakan bagian penting untuk memastikan pengoperasian normal peralatan.
1. Pemilihan metode instalasi
Metode pemasangan sensor terutama ditentukan berdasarkan fase fluida dan kondisi prosesnya.Ada tiga metode pemasangan.
1. Jika fluida yang akan diukur adalah cairan, sensor umumnya dipasang dengan cangkang menghadap ke bawah untuk menghindari penumpukan udara di dalam tabung getaran sensor, sehingga mencapai tujuan pengukuran aliran massa secara akurat.
2. Jika fluida yang akan diukur berupa gas, umumnya sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke atas untuk mencegah terjadinya pengembunan pada tabung getaran sensor.
3. Jika fluida yang akan diukur merupakan campuran bubur cair dan padat, pasang sensor pada saluran vertikal, yang dapat mencegah partikel terakumulasi dalam tabung pengukur gaya Coriolis pada sensor. Selain itu, jika pipa proses perlu dibersihkan dengan gas dan uap, metode pemasangan ini juga dapat memudahkan pembersihan, namun metode pemasangan ini lebih sulit diperbaiki dibandingkan dua metode sebelumnya, dan kehilangan tekanan lebih besar.

pengontrol aliran gas
pengontrol aliran massa gaspengontrol aliran massa gas
Rumus aliran massa
Jenis pengukur aliran massa
Pengukur aliran massa dalam bahasa Inggris
berdasarkanJaringan Sandu Cina.Beberapa interpretasi pengukur aliran massa [kata benda komputer elektronik] pengukur aliran massa [teknik mesin] sensor pengukur aliran massa [kata benda ilmu kelautan - teknik bawah air] aliran massa termal [teknik elektronik] pengukuran aliran massa [teknik elektro]
kontrol | IoT, MCU, PLC |
---|---|
aplikasi | mengalir |
jenis | elektronik |
Metode instalasi | Yakou |
metode keluaran | digital, analog |
Spesifikasi teknis
Model | TMFC300V | TMFC300VD | TMFC300A | TMFC300A | |
Rentang Aliran (N2) | 100~300SL | 100~300SL | 100~300SL | 100~300SL | |
Waktu merespon | ≦2,0 detik | ||||
Ketepatan | ±1,0 % FS | ||||
Pengulangan | ±0,25 % FS | ||||
Tekanan Bukti | 1500PSI | ||||
Tingkat kebocoran | 1 x 10-9 atm.cc/detik atau kurang | ||||
Kisaran suhu kerja | 0~50℃ | ||||
Bahan bagian yang bersentuhan dengan gas |
Badan: SUS316 | ||||
Kursi katup:Vition™(Opsi Bura™ atau Kalrez™ atau Teflon™) | |||||
Persendian |
Standar: kompresi 3/8″ | ||||
Opsi: 1/8″Kompresi atau VCR™,1/4″Kompresi atau VCR™ VCR™,3/8″ VCR™ | |||||
Sambungan listrik | Konektor jantan Dsub 15-pin sesuai standar | ||||
Sinyal masukan laju aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
Sinyal keluaran laju aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
pasokan listrik yang diperlukan | +15~28Vdc/350mA | ||||
Tampilan opsi |
Gunakan untuk Mengetik | ◎Ya | TIDAK | ◎Ya | TIDAK |
Antarmuka tampilan | Opsi: Antarmuka atau Tipe Terpisah (Dengan Jalur Kabel 1M atau 3M) hanya untuk TMFC300V/A | ||||
antarmuka komunikasi | Digital: RS485 (default) / DeviceNet™ hanya untuk TMFC300V/A | ||||
Sumber Daya listrik | AC110~240 V hanya untuk TMFC300V/A | ||||
Fungsi Segera Hadir |
aplikasi
Apa itu MFC
Pengontrol aliran massa (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran gas. [1] Pengontrol aliran massa dirancang dan dikalibrasi untuk mengontrol jenis cairan atau gas tertentu dalam rentang aliran tertentu. MFC dapat memiliki titik setel dalam rentang skala penuh 0% hingga 100%, namun biasanya beroperasi dalam rentang skala penuh 10% hingga 90% untuk akurasi terbaik. Perangkat kemudian akan mengontrol laju aliran ke tekanan yang ditentukan. MFC bisa analog atau digital. Pengontrol aliran digital biasanya mampu mengendalikan lebih dari satu fluida, sedangkan pengontrol analog terbatas pada fluida yang dikalibrasi.
Semua pengontrol aliran massa memiliki port masuk, port outlet, sensor aliran massa, dan katup kontrol proporsional. MFC dilengkapi dengan sistem kontrol loop tertutup di mana operator (atau sirkuit/komputer eksternal) memberikan sinyal input yang dibandingkan dengan nilai sensor aliran massa dan katup proporsional disesuaikan untuk mencapai laju aliran yang diinginkan. Laju aliran ditentukan sebagai persentase dari laju aliran skala penuh yang dikalibrasi dan diberikan ke MFC sebagai sinyal tegangan.
Pengontrol aliran massa mengharuskan pasokan gas atau cairan berada dalam kisaran tekanan tertentu. Tekanan rendah akan menghabiskan cairan MFC dan mencegahnya mencapai titik setel. Tekanan tinggi dapat menyebabkan laju aliran tidak stabil.
aplikasi MFC
1.mesin CVD
Apa itu deposisi uap kimia
Deposisi uap kimia (CVD) adalah metode deposisi vakum yang digunakan untuk menghasilkan material padat berkualitas tinggi dan berkinerja tinggi. Proses ini biasa digunakan dalam industri semikonduktor untuk menghasilkan film tipis.
Dalam CVD tipikal, wafer (substrat) terkena satu atau lebih prekursor yang mudah menguap yang bereaksi dan/atau terurai pada permukaan substrat untuk menghasilkan endapan yang diinginkan. Biasanya, produk sampingan yang mudah menguap juga dihasilkan, yang dihilangkan oleh aliran gas melalui ruang reaksi.
Proses pemesinan mikro secara ekstensif menggunakan CVD untuk menyimpan berbagai bentuk material, termasuk: monokristalin, polikristalin, amorf, dan epitaksial. Bahan-bahan tersebut meliputi: silikon (silika, karbida, nitrida, oksinitrida), karbon (serat, serat nano, tabung nano, berlian dan graphene), fluorokarbon, filamen, tungsten, titanium nitrida dan berbagai dielektrik k tinggi.
2. Kotak/panel manifold katup (VMB/VMP)
Apa itu VMB/VMP
Melalui pengalaman kami dalam menangani gas, kami memperoleh pengetahuan untuk merancang dan memproduksi panel gas (kotak gas), sistem pasokan material, dll untuk sistem EPI dan MOCVD.
Di antara pencapaian bisnis kami, kami mampu merancang dan memproduksi untuk memenuhi kebutuhan (harga dan spesifikasi) pelanggan kami. Kami tidak hanya dapat menangani gas biasa tetapi juga pasokan udara hub ring dari gas cair. Kami juga mendukung berbagai aplikasi hukum.
Rentang aliran
Model | TMFC300V | TMFC300VD | TMFC300A | TMFC300A | |
Rentang Aliran (N2) | 100~300SL | 100~300SL | 100~300SL | 100~300SL | |
Waktu merespon | ≦2,0 detik | ||||
Ketepatan | ±1,0 % FS | ||||
Pengulangan | ±0,25 % FS | ||||
Tekanan Bukti | 1500PSI | ||||
Tingkat kebocoran | 1 x 10-9 atm.cc/detik atau kurang | ||||
Kisaran suhu kerja | 0~50℃ | ||||
Bahan bagian yang bersentuhan dengan gas |
Badan: SUS316 | ||||
Kursi katup:Vition™(Opsi Bura™ atau Kalrez™ atau Teflon™) | |||||
Persendian |
Standar: kompresi 3/8″ | ||||
Opsi: 1/8″Kompresi atau VCR™,1/4″Kompresi atau VCR™ VCR™,3/8″ VCR™ | |||||
Sambungan listrik | Konektor jantan Dsub 15-pin sesuai standar | ||||
Sinyal masukan laju aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
Sinyal keluaran laju aliran | 0~5VDC | 0~5Vdc+RS-485 | 4~20mA | 4~20mA+RS-485 | |
pasokan listrik yang diperlukan | +15~28Vdc/350mA | ||||
Tampilan opsi |
Gunakan untuk Mengetik | ◎Ya | TIDAK | ◎Ya | TIDAK |
Antarmuka tampilan | Opsi: Antarmuka atau Tipe Terpisah (Dengan Jalur Kabel 1M atau 3M) hanya untuk TMFC300V/A | ||||
antarmuka komunikasi | Digital: RS485 (default) / DeviceNet™ hanya untuk TMFC300V/A | ||||
Sumber Daya listrik | AC110~240 V hanya untuk TMFC300V/A | ||||
Fungsi Segera Hadir |
Meminta informasi
informasi pemesanan | |||||||||||
TMFC | Kode | Rentang Aliran | |||||||||
|
125 | 30~100SL | |||||||||
300 | 100~300SL | ||||||||||
500 | 300~1000SLM | ||||||||||
|
Kode | Sinyal Masuk/Keluar | |||||||||
V | 0~5Vdc (Tipe Standar) | ||||||||||
A | 4~20mA | ||||||||||
VD | 0~5Vdc+RS-485(Tidak dapat menggunakan tipe tampilan opsi) | ||||||||||
|
4~20mA+RS-485 (Tidak dapat digunakan untuk tipe tampilan opsi) | ||||||||||
Kode | Ukuran Pas | ||||||||||
2 | 1/8″ | ||||||||||
4 | 1/4″ | ||||||||||
6 | 3/8″(Tipe Standar untuk TMFC125/300) | ||||||||||
8 | 1/2″(Tipe Standar untuk TMFC500) | ||||||||||
|
Kode | Tipe Pemasangan | |||||||||
A | Kompresi SWL | ||||||||||
V | VCR laki-laki | ||||||||||
|
Kode | Segel | |||||||||
V | Viton (Tipe Standar) | ||||||||||
B | Buna | ||||||||||
K | Kalrez | ||||||||||
T | Teflon | ||||||||||
Kode | Fungsi Tampilan Opsi#1 | ||||||||||
N | Tanpa (Tipe Standar) | ||||||||||
SAYA | Tipe Antarmuka | ||||||||||
D | Tipe Terpisah dengan Jalur Kabel 1M | ||||||||||
E | Tipe Terpisah dengan Jalur Kabel 1M | ||||||||||
Kode | Tampilan Opsi Hapus#2 | ||||||||||
R | RS485 Digital (Tipe Standar) | ||||||||||
D | Perangkat Bersih | ||||||||||
|
|||||||||||
TMFC | Kode Pemesanan Lengkap | ||||||||||
*Catatan: Semua Model dilengkapi dengan Catu Daya (+15~28 Vdc/350mA) | |||||||||||
*Catatan: Menggunakan Logo pelanggan yang diluncurkan lebih dari 100 unit selama satu tahun |