TMFM6000 類型:質量流量計

TMFM6000 類型:質量流量計

TMFM6000質量流量計|氣體流量控制應用:電漿清洗機|氣體分流閥箱/盤|氣瓶櫃輸出流量控制|氣體產生機輸出控制|火焰焊接控制|氣體源頭配管計量

TMFM6000質量流量計|氣體流量控制

  • 低流量時高精度表現
  • 反應速度(≦1.0)
  • 連接兼容性高
  • 高穩定度
  • 耐蝕值
  • 出色的線性度
  • 出色的長期穩定性
  • 模塊化設計
  • 緊湊型流量控制系統

什麼是熱質量流量計?

熱質量流量計是一種精確,易於安裝的低壓降型流量計。它適用於流量測量和控制干燥氣體應用。也可以通過氣體類型參考鏈接應用程序來獲得熱質量流量計。質量流量計觀察其加熱的換能器上的冷卻效果隨氣流的變化。與其他氣體流量測量設備相比,其結果以低成本實現了高水平的精度。

好處

  • ·準確度高
  • ·流量範圍廣,包括低流量
  • ·簡單,耐用的結構
  • ·易於安裝和維護
  • ·靈活連接流量儀表以進行流量控制
  • ·各種過程連接
  • ·調節比100:1
  • ·流量計上的低壓降
  • ·提供方便的信號輸出

熱質量流量計原理

熱質量流量計使用流體的熱性質來測量在管道或管中的流體的運動。在熱能流量計中,將測得的熱量施加到傳感器的加熱器上。在流動過程中會損失一定數量的能量,並且隨著流動的增加,會損失更多的能量。傳感器損失的能量取決於流體的熱特性和傳感器設計。流體的熱壓特性可能會隨溫度和壓力而變化,儘管這些變化在大多數應用中通常無關緊要。由於熱流量測量不取決於流體的溫度或壓力,因此可以使用熱能流量計來估計流體的質量流量。

換句話說,在大多數應用中,流體的性質可能取決於其成分。對於這些應用,在實際操作期間流體的不同成分可能會干擾熱流尺寸。因此,對於熱質量流量計提供商來說,了解流體的成分非常重要,這樣就可以處理合適的標準化因子來精確地確定流量。由於該限制,熱質量流量計通常用於測量純淨氣體的流量。製造商可以為其他氣體組合提供適當的標準化信息,但是熱質量流量計的精度取決於實際氣體混合物與用於標準化目的的氣體混合物是否相同。

質量流量控制器應用

  • 電漿清洗機
  • 氣體分流閥箱/盤
  • 氣瓶櫃輸出流量控制
  • 氣體產生機輸出控制
  • 火焰焊接控制
  • 氣體源頭配管計量

假設您想為化學氣體混和過程提供氣體,那麼質量流量控制器是合適的設備。它們用於以下過程:

將氣體加入混和配管以促進比例調整

  • 工業混氣配管或氣體產生機流量監測
  • 向電漿產生供應加入混和氣體

在所有這些示例中,該過程需要可重複且準確的氣體化合物供應。這樣您就可以以可控的方式進行,並達到最佳的產品產量和最小的過程性能不佳或過高的風險,例如浪費未使用的氣體反應物或過程失控。質量流量控制器用於此目的。

TMFM/TMFC系列存在哪些類型的質量流量控制器?

熱質量流量控制器使用氣體的熱質感測技術來控制它們的質量流量。在 TMFC產品組合中,我們有多個熱質量流量控制器,每個控制器都有自己的傳感器技術:

使用旁路傳感器的質量流量控制器。這些設備(如TMFC和TMFM)非常適合清潔和乾燥氣體應用,在這些應用中需要更高的精度和可重複性。
使用在線原理的質量流量控制器。如果您的應用具有99.9%以上高純度的氣體,或者當高重複性和穩健性比精度更重要時,TMFC 和TMFM系列等系列是完美的選擇。
使用配管控制技術的氣體質量流量控制器。這些系列脫穎而出,因為它們可以測量氣體流量和控制。
只要您的質量流量需要顯示並流量範圍很大時,那麼使用 MEMS 芯片傳感器技術(例如TMFM6000)的氣體系列就是完美的選擇。
使用在線 (CMOS) 技術的氣體質量流量控制器。

質量流量控制器( MFC )原理/流量控制器原理

質量流量控制器( MFC )是一種用於測量和控制液體和氣體流量的設備。[1]質量流量控制器經過設計和校準,可在特定流量範圍內控制特定類型的液體或氣體。MFC 可以在其滿量程範圍的 0% 到 100% 之間設定一個設定點,但通常在滿量程的 10% 到 90% 範圍內運行,從而獲得最佳精度。然後,該設備將控制流速至給定的設定值。MFC 可以是模擬的或數字的. 數字流量控制器通常能夠控制一種以上的流體,而模擬控制器僅限於其校準的流體。

所有質量流量控制器都有一個入口端口、一個出口端口、一個質量流量傳感器和一個比例控制閥。MFC 配備了一個閉環控制系統,該系統由操作員(或外部電路/計算機)提供一個輸入信號,該信號與質量流量傳感器的值進行比較,並相應地調整比例閥以達到所需的流量。流量指定為其校準滿量程流量的百分比,並作為電壓信號提供給 MFC。

質量流量控制器要求供應氣體或液體處於特定壓力範圍內。低壓將使 MFC 的流體耗盡並導致其無法達到其設定點。高壓可能導致流速不穩定。有許多不同的技術可以幫助測量流體的流量並最終幫助控制流量。這些技術定義了質量流量控制器的類型,它們包括壓差(ΔP)、溫差 (ΔT)、科里奧利力、超聲波、電磁、渦輪等。

mass flow controller,質量流量控制器
mass flow controller,質量流量控制器,mfc原理結構說明

質量流量計安裝

現在質量流量計的應用場合越來越多,而一些初次安裝質量流量計的場合因為不清楚質量流量計的安裝方式,裝反、裝錯等現象,影響設備的正常使用,本文就這種問題詳細介紹一下質量流量計的安裝方式。

在傳感器安裝時過大的機械應力會影響質量流量計的零點,如果這些應力是不斷變化的,儀表將出現零點漂移進而導致儀表測量不準,無法正常工作。因此質量流量計的正確安裝,是保證設備正常運行的重要一環。

一,安裝方式選擇

傳感器的安裝方式主要根據流體的相別及其工藝情況確定,有三種安裝方式。

1、若被測流體是液體,一般採用外殼朝下安裝傳感器,避免空氣聚積在傳感器振動管內,從而達到準確測量質量流量的目的。

2、如果被測流體是氣體,一般採用外殼朝上安裝傳感器,避免冷凝液聚積在傳感器振動管內。

3、如果被測流體是液固體的混合漿液時,將傳感器安裝在垂直官道上,這可避免微粒聚積在傳感器科氏力測量管內。此外,如果工藝管線需要用氣體和蒸汽清掃,這種安裝方式還可以便於清掃,但這種安裝方式較前兩種難於固定,且壓損較大。

質量流量計安裝方式
質量流量計概念安裝

 

 

 

 

 

氣體流量控制器

氣體質量流量控制器 gas mass flow controllers

質量流量公式

質量流量計種類

質量流量計英文

三度漢語網.多種解釋 mass flowmeter【電子計算機名詞】mass flow meter【機械工程】mass flowmeter sensor【海洋科學名詞-水下工程】thermal mass flow【電子工程】mass flow measurement【電機工程】

技術規格

系列 TMFM6012 TMFM6019
流量範圍(N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
量程比 100:1
精度 ±1.5 % FS
再顯精度 ±0.75 % FS
耐壓 1.0Mpa
洩漏率 1 x 10-9 atm.cc/sec or less
工作溫度範圍 -10~55℃,<95%RH
帶有氣體的接觸零件的材料 Body:SUS316
接續尺寸 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
接口方式 NPT,BSPT,或客戶指定
Option: 1/2″,3/4″ compression,VCR™
流量輸出訊號 4~20mA or RS-485
需求電壓 +8~24 Vdc/35mA

應用

什麼是MFM

質量流量計,也稱為慣性流量計,是一種測量通過管道的流體質量流量的設備。 質量流率是每單位時間經過固定點的流體的質量。
質量流量計不會測量通過設備的每單位時間的體積(例如每秒立方米); 它測量流過設備的單位時間的質量(例如,每秒千克)。 體積流量是質量流量除以流體密度。 如果密度恆定,則關係很簡單。 如果流體具有變化的密度,則關係不簡單。 流體的密度可能會隨溫度,壓力或成分的變化而變化。 流體也可以是相的組合,例如帶有夾帶氣泡的流體。 由於聲速取決於受控液體濃度,可以確定實際密度。[1]

MFM應用
1.智能管道監控器
熱質量流量計在工業應用中很受歡迎的主要原因是其設計和製造方式。它們沒有運動部件,幾乎沒有阻礙直通的流路,不需要溫度或壓力校正,並在很寬的流量範圍內保持精度。通過使用雙板流量調節元件可以減少直管段,並且安裝非常簡單,並且不會造成管道侵入。

但是,在許多應用中,流體的熱性能可能取決於流體成分。在此類應用中,實際操作期間流體成分的變化會影響熱流測量。因此,對於熱流量計供應商而言,重要的是要了解流體的成分,以便可以使用適當的校準係數來準確確定流量。供應商可以為其他氣體混合物提供適當的校准信息,但是熱流量計的精度取決於實際的氣體混合物與用於校準目的的氣體混合物相同。換句話說,如果實際流動的氣體具有不同的成分,則針對給定的氣體混合物校準的熱流量計的精度將會降低。[2]

2.CVD機
什麼是CVD

氣相沉積(CVD)是一種真空沉積方法,用於生產高質量,高性能的固體材料。該工藝通常在半導體工業中用於生產薄膜。

在典型的CVD中,晶片(基材)暴露於一種或多種易揮發的前體中,該前體在基材表面上反應和/或分解以產生所需的沉積物。通常還會產生揮發性副產物,這些副產物會被流過反應室的氣流除去。

微加工工藝廣泛使用CVD沉積各種形式的材料,包括:單晶,多晶,非晶和外延。這些材料包括:矽(二氧化碳,碳化物,氮化物,氮氧化物),碳(纖維,納米纖維,納米管,金剛石和石墨烯),碳氟化合物,細絲,鎢,氮化鈦和各種高k電介質。

 

3.閥箱/面板(VMB / VMP)
什麼是VMB / VMP

通過我們在處理氣體方面的經驗,我們獲得了設計和製造EPI系統,MOCVD,材料供應系統等的面板(氣箱)的知識。
在我們的業務成就中,我們能夠設計和製造滿足客戶要求(價格和規格)的產品。我們不僅可以處理普通氣體,還可以處理輪轂環的液化氣供應。我們還支持各種法律申請。

流量範圍

系列 TMFM6012 TMFM6019
流量範圍(N2) 0.3~200,300SLM 0.8~600,800SLM
量程比 100:1
精度 ±1.5 % FS
再顯精度 ±0.75 % FS
耐壓 1.0Mpa
洩漏率 1 x 10-9 atm.cc/sec or less
工作溫度範圍 -10~55℃,<95%RH
帶有氣體的接觸零件的材料 Body:SUS316
接續尺寸 1/2″(DN12mm) 3/4″(DN19mm)
接口方式 NPT,BSPT,或客戶指定
Option: 1/2″,3/4″ compression,VCR™
流量輸出訊號 4~20mA or RS-485
需求電壓 +8~24 Vdc/35mA

訂購資訊

訂購型號
TMFM60 編碼 子編碼 流量範圍
 

12 20 0.3~200SLM(標準類型)
12 30 0.9~300SLM
19 60 0.8~600SLM(標準類型)
19 80 1.12~800SLM
 

編碼 流體類型
A 空氣
N 氮氣(N2)
O 氧氣(O2)
C 氬氣(Ar)
E 二氧化碳(CO2)
H 氦氣(He)
S 特殊氣體(其他氣體請聯繫客服中心)
 

編碼 壓力範圍
XXX XXX Mpa e,g.03.0Mpa->填寫030(最大工作壓力)
 

編碼 輸出訊號
A 4~20mA
B RS-485
 

編碼 接續尺寸
12 1/2″(適用於TMFM6012)
19 3/4″(適用於TMFM6019)
編碼 接口方式
N NPT
B BSPT
A Compression SWL
V Male VCR
編碼 顯示器
D 帶顯示器
N 無待顯示器
編碼 廠牌
E FGT商標
X 客制化商標
 

TMFM60 完整下單型號
*注:所有型號均配有電源(+ 8〜24 Vdc / 35mA)
*注:下單數量滿100可接受OEM訂製

IoT軟體

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認證

tmfm6000 類型:質量流量計 第一通用科技有限公司|first general technology inc.歐洲合格認證- 维基百科,自由的百科全书

特殊需求

流量計需求內容

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管路單位
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