고정밀 금속 밀폐형 질량 유량 컨트롤러 모델 5100 시리즈

5100 시리즈 질량 유량 컨트롤러/기기는 무납땜 구조, 메탈 씰, 정확도 ≤±1%, 응답 ≤±1초 등 반도체 공정 제어에 필요한 기본 성능 조건을 갖추고 있으며 상당한 가격 절감을 달성했습니다.

설명

특징

・온도 추종 전류차 검출 기능이 있는 유량 센서로 고정밀도, 고응답성을 실현.
・Normal Closed 전자 밸브를 사용합니다.
・무용접 구조와 메탈 씰로 누설률이 낮습니다.
・ 다이어프램 시트 밸브에 의해 Dead Volume이 감소합니다.
・ 대면 및 본체 치수 및 배선 연결 지점은 타사 장비의 교체를 용이하게 하도록 설계되었습니다.

표준 사양

! ! 주목! !
유량 범위와 관련된 사양(예: 유량 범위, 정확도 및 응답)은 N2 또는 이에 상응하는 공기로 표시됩니다. 1차측 압력 300kPa 이하, 2차측 대기 개방으로 제품을 제작합니다. 압력 요구 사항에 대한 자세한 내용은 당사에 문의하십시오.

애플리케이션

・에어 샘플링
・분석기 부품
·생물반응기
・생명공학 공정
・연소 제어
・CCFL제
・실압 조절
・화학 공정
・환경 모니터링
・전자기기 제조
·식품 생산
・연료전지 시험
・발효과정
・가스 혼합
・가스 분배
・기류 모니터링
·가스 발생
·공업로
·누수 탐지
·제약 공정
·오염 모니터링
·공정 제어
·R&D
·태양전지 제조
· 2차 교정 기준
・반도체 공정
・표면 처리 공정
・열 화염 살포
・필름 제조
・증착