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System Integration Designers in FGT
描述
3660 型系列質量流量控制器以緊湊性和低成本為中心開發,在各種應用中受到廣泛用戶的好評,包括從實驗室研究和開發活動到用作標準質量流量生產線中各類分析儀和真空裝置的控制模型。提供各種派生模型和選項。
特徵
・搭載先進的穩流量偏差溫檢測式流量感測器,確保高速響應
・使用常閉閥確保安全
・使用電磁執行器確保高可靠性
・可用於可燃物的低差壓式控制氣體(LP 選項)
標準規格書
!!備註!!
與流量範圍相關的規格(例如,流量範圍、精度和響應)以 N2 或空氣當量表示。該產品將在一次壓力為 300 kPa 或更低且二次側向大氣開放的情況下建造。有關壓力要求的詳細信息,請與我們聯繫。
應用
空氣採樣
分析器組件
生物技術過程
燃燒控制
CCFL製造
腔室壓力控制
化學過程
環境監測
電子器件製造
食品生產
燃料電池測試
發酵過程
氣體混合
氣體分配
氣流監控
燃氣產生
工業爐
洩漏檢測
製藥過程
污染監測
工藝流程控制
研發
太陽能電池製造
二次校準參考
半導體工藝
表面處理工藝
熱火焰噴塗
薄膜製造
氣相沉積