描述

3660 型系列質量流量控制器以緊湊性和低成本為中心開發，在各種應用中受到廣泛用戶的好評，包括從實驗室研究和開發活動到用作標準質量流量生產線中各類分析儀和真空裝置的控制模型。提供各種派生模型和選項。

特徵

・搭載先進的穩流量偏差溫檢測式流量感測器，確保高速響應
・使用常閉閥確保安全
・使用電磁執行器確保高可靠性
・可用於可燃物的低差壓式控制氣體（LP 選項）

標準規格書

！！備註！！
與流量範圍相關的規格（例如，流量範圍、精度和響應）以 N2 或空氣當量表示。該產品將在一次壓力為 300 kPa 或更低且二次側向大氣開放的情況下建造。有關壓力要求的詳細信息，請與我們聯繫。

應用

空氣採樣
分析器組件

生物技術過程
燃燒控制
CCFL製造
腔室壓力控制
化學過程
環境監測
電子器件製造
食品生產
燃料電池測試
發酵過程
氣體混合
氣體分配
氣流監控
燃氣產生
工業爐
洩漏檢測
製藥過程
污染監測
工藝流程控制
研發
太陽能電池製造
二次校準參考
半導體工藝
表面處理工藝
熱火焰噴塗
薄膜製造
氣相沉積

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