描述

5100型系列質量流量控制器/儀表具有無焊結構、金屬密封、精度≤±1%、響應≤±1秒等半導體過程控制所需的基本性能條件，並實現了大幅降價

特徵

・帶有溫度跟隨電流差檢測的流量傳感器實現了高精度和高響應。
・採用常閉電磁閥。
・無焊接結構和金屬密封實現了低洩漏率。
・死體積由於隔膜座閥，減少了。
・面對面和主體尺寸以及接線連接點的設計便於更換其他公司製造的設備。

標準規格書

！！備註！！
與流量範圍相關的規格（例如，流量範圍、精度和響應）以 N2 或空氣當量表示。該產品將在一次壓力為 300 kPa 或更低且二次側向大氣開放的情況下建造。有關壓力要求的詳細信息，請與我們聯繫。

Applications

・空氣採樣
・分析儀部件
・生物反應器
・生物技術過程
・燃燒控制
・CCFL製造
・室壓控制
・化學過程
・環境監測
・電子設備製造
・食品生產
・燃料電池測試
・發酵過程
・氣體混合
・氣體分配
・氣流監測
·氣體發生
·工業爐
·洩漏檢測
·製藥過程
·污染監測
·工藝流程控制
·研發
·太陽能電池製造
·二次校準參考
・半導體工藝
・表面處理工藝
・熱火焰噴塗
・薄膜製造
・氣相沉積