描述

3200 系列質量流量控制器是作為 3910 系列的後繼產品而設計的新型號

廣泛用於半導體製造、LCD、燃燒設備、分析設備和生物技術領域等各種應用。其高性能等同於質量流量控制器的新標準

特徵

・配備溫度跟踪型電流差檢測流量感測器（已申請專利），確保高精度和高速響應
・使用常閉閥確保安全
・由於隔膜座閥減少死體積
・小流量控制可達到1 SCCM全量程（SR選項）
·可用於可燃氣體的低壓差控制（LP選項）

標準規格書

！！備註 ！！
與流量範圍相關的規格（例如，流量範圍、精度和響應）以 N2 或空氣當量表示。該產品將在一次壓力為 300 kPa 或更低且二次側向大氣開放的情況下建造。有關壓力要求的詳細信息，請與我們聯繫。

應用

空氣採樣
分析儀組件
生物反應器
生物技術過程
燃燒控制
CCFL 製造
腔室壓力控制
化學過程
環境監測
電子設備製造
食品生產
燃料電池測試
發酵過程
氣體混合
氣體分配
氣流監測
氣體生成
工業爐
洩漏測試
製藥過程
污染監測
過程流量控制
R&D
Solar功率元件製造

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